FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI
蛍光X線式測定器による微小構造のウェハーの自動測定システム
半導体産業で高い品質管理のために特別に設計されたFISCHERSCOPE®X-RAY XDV®-μSEMIは、完全に自動的にウエハーを制御し、微細構造部分を精度よく測定します。完全自動のこの測定システムは、クリーンルームでの使用に適しています。FOUPやSMIFのウェハー格納ポッドが利用できます。XDV-μSEMIによるウェハーハンドリングと測定は、オペレーターが常駐することなく自動で測定できます。画像認証機能により、正確に、確実に指定した測定スポットを見つけて測定します。この自動測定プロセスにより、手動で作業することによる異物混入などを除外し、ウェハー測定の信頼性を高めています。
