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最先端のテラヘルツ技術による自動測定システム

非破壊かつ非接触で単層および多層膜の塗装などの膜厚を測定できるテラヘルツ技術によるオートメーション測定システム

アドバンテージ

  • 業界最高レベルの測定性能:比類ない6 THz帯域幅による高精度と繰り返し精度
  • 振動補正機能:1.6 kHzの高サンプリングレートにより、不要な振動を本質的に補正
  • Clean Traceテクノロジー(特許取得):ドライ・エア・フラッシングにより、最適な測定性能と正確な測定結果を実現
  • 統合型3Dスキャナー:高精度位置決めセンサーと様々な形状での距離測定により、丸面や複雑な形状の部品も測定可能
  • 電気光学を用いた測定: 可動機械部品がないため、メンテナ ンス作業が削減され、最大限の稼働時間が確保
  • 柔軟なインテグレーション:柔軟にロボットアームや管理システムに流合できるよう設計されたハードウェアとソフトウェア
  • 高い信頼性:堅牢、低メンテナンスにより長時間運転可能にできるように開発

特長

  • スポットサイズ Ø 1 mm
  • 帯域幅: 0.1 - 6 THz
  • 計測速度 (THz-Tracerate): 1.6 kHz
  • 測定時間: 3 - 5 s
  • 位置決め時間: < 1 - 3 s(アプリケーションによる)、位置決め精度: < 0.05 µm
  • 測定レンジ: 10 μm - 数 mm
  • 計測可能なレイヤー数:最大7層
  • 測定距離: 7 cm
  • 精度: < 1 μmまたは膜厚の1 %(アプリケーションによる)
  • 繰り返し精度:< 0.1 μm(アプリケーションによる)

Applications

テラヘルツ技術は、工業計測において幅広く汎用性に富んでいます。テラヘルツ波がなぜ幅広く適用されるのか?テラヘルツ波は、プラスチック、セラミック、塗装など、幅広い有機材料の基板材上の皮膜厚を非破壊かつ非接触で測定できます。つまり、テラヘルツ技術は、様々な産業における幅広い用途の単層膜及び多層膜システムの膜厚測定に適用します。幅広い膜厚測定のご要望にお応えいたします。

 

1.自動車

単層および多層膜の膜厚測定

  •  é‡‘属、プラスチック、カーボンなど、あらゆる基板材上の塗膜、スポイラーやバンパーなどの外装部品のプラスチック/カーボンを基材上の多層膜システムの測定、エアバッグなどの内装部品、プラスチック複合部品、スラッシュ層、プラスチック複合部品上の有機材料、バッテリーフォイル、燃料電池のバイポーラプレートなどの付属部品、その他

レーダー透過と反射を含む膜厚測定

  • バンパーなどのプラスチック外装部品

 

2.航空宇宙

単層および多層膜の膜厚測定

  • 様々な航空機部品のあらゆる基材上のコーティング

目に見えない欠陥や隠れた腐食の検出

  • 各種複合材、主要部材、主翼、胴体に炭素繊維複合材を使用したもの、タービンブレードの遮熱塗料、その他

 

3.半導体

材料試験と品質管理

  • コンダクタンスプレート、プレートの抵抗、フリーチャージキャリアの移動度(2DEG)、チャージキャリア密度、屈折率、誘電パラメータ、ε'とε''、吸収電力密度、周波数特性。

 

4.ポリマーおよびプラスチック押出成形

単層または多層膜のアプリケーションに適した膜厚測定

  • バッテリーホイル、パッケージング、EVOH層などの機能性樹脂、共押出成形、燃料電池のバイポーラプレート、その他

品質管理の一環として、目に見えない欠陥を発見する

  • プラスチック部品、ポリマー、複合材料は、あらゆる産業で機能性と安全性が重要な部品に使用されています。

 

 5.環境

単層および多層膜の膜厚測定

  • 燃料電池のバイポーラプレート、バッテリーフォイル、太陽光発電、パッケージング、その他

隠れた欠陥の特定や品質の検証

  • 風力タービン、太陽光発電、その他

 

6.素材

単層および多層膜の膜厚測定

  • 耐摩耗DLC(カーボン)、パッケージング、特殊インキ(紙幣印刷用など)、金属シート上の塗装、その他

材料試験や品質管理

  • コンダクタンスプレート、プレートの抵抗、フリーチャージキャリアの移動度(2DEG)、チャージキャリア密度、屈折率、誘電パラメータ、ε'とε''、吸収電力密度、周波数特性
  • 以下のようなアプリケーション
    • 半導体における2次元材料、グラフェン、太陽電池、特殊インク、金属シート上の塗装など

 

7. セラミックス

単層および多層膜の膜厚測定

  • セラミック上のセラミック、例えば衛生分野におけるエナメル、金属上のセラミックス(タービンブレードの遮熱コーティングなど)

目に見えない欠陥の検出や品質管理

  • 歯科用品などのセラミック上のセラミック、金属上のセラミック(タービンブレードの遮熱塗料など)

 

その他のアプリケーションもご要望やニーズに合わせてご相談に応じます。お気軽にお問い合わせください。

contactï¼ fischer-japan.cojp

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テラヘルツ計測の仕組みは?

使用されるテラヘルツ技術は、0.1~10THzの電磁波で構成されています。そのため、周波数がマイクロ波より短く、可視光線より長いです。テラヘルツの特長は何層もの多層膜を透過できることにあります。また、1回の測定で多層膜システム内の各層を個別に測定結果を出すことができます。

テラヘルツ波は、レーザーを備えた電気光学ユニットの測定ヘッドにより生成され、超短波テラヘルツ・パルスが測定サンプルに照射されます。このパルスは様々な皮膜を透過することができます。層間の遷移で波が一部反射されます。このエコーパルスは、各層に固有の時間差が伴い、検出器に入射されます。各層と各材料は固有の吸収スペクトルを発するため、その信号曲線から各層の厚さを正確に変換し、また均質性や空隙率などの他のパラメータも判定することができます。

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