
コリメーターとX線光学系
コリメーターはX線管球とサンプル間に配置され、一次X線のサイズを制御してサンプルの指定面積内に励起します。
測定スポットが必然的に小さいとき、サンプルに達する放射線も減少します。そして、結果として生じる蛍光X線の信号はそれに応じて弱くなります。この場合、信頼できる測定結果を得るには、測定時間を長く設定する必要があります。
ポリキャピラリーレンズの搭載は、この問題を解決します。ポリキャピラリーは、小さなスポットに当てる拡大鏡のように、ほとんど全ての放射エネルギーを小さい点に集中させるグラスファイバーの束です。このようなX線光学系部品は、世界で2社しか製造していません。Fischerは、そのうちの1社です!
検出器
最後の重要な構成要素は、検出器です。そして、それは、蛍光放射線を捉えるパーツです。このパーツは、3つのタイプがあります。
比例計数管(PC)は、検出面積が広いため高いカウントレートが得られます。それは、小さい測定スポットでより厚い層の測定に適しています。ただし、特に軽元素に対しては、比較的低いエネルギー分解能であり、検出感度を限定的です。したがって、汎用性の高い一般的な測定タスクに適しています。
シリコンPINダイオードは、小さな測定エリアに対しては、PC(比例計数管)よりも高い分解能を有した検出器です。小さな測定スポットに対する素材分析および膜厚測定に適していますが、比較的長い測定時間を必要とします。
XRF測定装置で最も高精度なシリコン・ドリフト検出器(SDD)があります。このタイプの検出器は優れたエネルギー分解能を有しており、微量元素や軽元素の測定に優れています。そのうえ、そのような装置はナノメートルレンジの膜厚測定や複雑な多層膜の評価をすることができます。
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