エネルギー分散型蛍光X線分析

過去において、蛍光X線分析 (XRF) は地質学の分野で主に用いられていました。今日では、蛍光X線分析は産業および研究分野におけるキーテクノロジーとして確立されています。この分析法は非常に用途が広く、元素周期律表のナトリウム (11) からウラン (92) までの元素を検出することが可能です。

XRFは、材料分析、例えば宝飾品の貴金属含有率測定や、RoHS指令下の規制対象元素のスクリーニング分析などに用いられています。また、XRFは測定時間がかからず非破壊の膜厚測定が可能です。

ターゲット材からの一次X線はフィルターを透過してからサンプルに照射されます。フィッシャーでは、フィルター材としてアルミニウムやニッケルなどの金属箔を採用しています。これらのフィルターはX線スペクトラム特性を変動させ、バックグラウンド由来のノイズを減少させます。つまり、弱いシグナルに対して十分に高感度なピークを励起させます。例えば、アルミニウムフィルターは非常に低い量のPbを検出させることが可能となります。

コリメーターはX線管球とサンプル間に配置され、一次X線のサイズを制御してサンプルの指定面積内に励起します。

測定スポットが必然的に小さいとき、サンプルに達する放射線も減少します。そして、結果として生じる蛍光X線の信号はそれに応じて弱くなります。この場合、信頼できる測定結果を得るには、測定時間を長く設定する必要があります。

ポリキャピラリーレンズの搭載は、この問題を解決します。ポリキャピラリーは、小さなスポットに当てる拡大鏡のように、ほとんど全ての放射エネルギーを小さい点に集中させるグラスファイバーの束です。このようなX線光学系部品は、世界で2社しか製造していません。Fischerは、そのうちの1社です！