FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD

特長

ISO 3497およびASTM B 568に準拠した、極薄膜（< 0.05 μm）の自動測定とサブパーミルレンジの微細な材料分析に対応したプレミアムユニバーサルな蛍光X線式分析器。
タングステンターゲット、マイクロフォーカスチューブ
4種類のコリメーターで最適な測定条件を実現
6種類のフィルターにより、より複雑なタスクに最適な励起条件を設定可能
強力なシリコンドリフト検出器（SDD）、50 mm²の大きな検出器
デジタルパルスプロセッサDPP+による高いカウントレートを実現し測定時間を短縮、測定結果の再現性向上
Al(13)からU(92)までの元素の分析が可能
サンプルの高さ最大14 cmまで対応
高精度なプログラム可能なXYステージ（位置決め精度<5 µm）により、小さな構造物の自動測定に対応
DCM方式により、測定距離を簡単かつ迅速に調整可能
ドイツ放射線防護法に準拠し型式認証を取得した完全防護装置"

代表的な応用分野

エレクトロニクスおよび半導体産業における機能膜の測定（例：2 nmの金メッキの膜厚測定）
エレクトロニクスおよび半導体産業における極薄膜分析、例：0.1 μm以下の金/パラジウム皮膜の測定
複雑な多層膜システムの測定
硬質材料皮膜の測定
太陽光発電産業における成膜コーティングの膜厚測定
RoHS、WEEE、CPSIA、その他電子機器、パッケージング、消費財などの鉛やカドミウムなど規制対象の有害物質の微量分析
金やその他貴金属および合金の分析
NiP 中のリンの濃度分析

高性能な万能型モデル

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD は、フィッシャーの製品の中で最もパワフルな蛍光X線式測定器の一つです。この蛍光X線式測定器には、高分解能で強力な50 mm² の大きなシリコンドリフト検出器（SDD）が搭載されています。これにより、例えばリードフレーム上のわずか2 nmのメッキ厚のような、極薄膜でも高精度に非破壊で測定することができます。

自社開発のデジタルパルスプロセッサーDPP+との組み合わせで、測定性能を一段と向上しました。カウントレートが高く、測定時間の短縮や測定結果の再現性が向上しました。また、XDV-SDDは非破壊式での素材分析にも最適です。例えば、プラスチック中の微量な鉛の検出感度は約2ppmと、RoHSやCPSIAが要求する値よりも微量な分析が可能です。

XDV-SDDは、蛍光X線による膜厚測定に理想的な条件を作り出すために、コリメーターと一次フィルタが切替可能です。直感的な操作パネルにはジョイスティックとボタンが搭載されており、簡単に操作でき、特に工業用途の連続試験に適しています。