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高性能なハイエンドモデル

XDV®-SDDは、フィッシャーのポートフォリオの中でも高性能なハイエンドの蛍光X線式測定器の一つです。この蛍光X線式測定器は、高いエネルギー分解能を持つシリコン・ドリフト検出器(SDD)搭載モデルです。これにより、リードフレームの厚さ2 nmの金の膜厚測定など極薄の測定ができます。

 

微量元素も検出可能な検出器により、およそ2 ppmほどのプラスチック中の鉛のトレース分析、RoHSやCPSIAによる要求を満たすためのトレース分析ができます。

XDV-SDDは、それぞれの分析において理想的な励起状態を作るために、コリメーターと一次フィルターが交換式になっています。
工業用途で使用できるよう非常に使いやすい設計となっております。プログラム可能な電動式の測定ステージを搭載し、また測定スポットのビデオ画像により、日常的に行う操作を容易にします。

特長

  • ISO 3497とASTM B 568に準拠した蛍光X線式測定器で、薄膜(<0.05 μm)の自動測定が可能
  • 大きなセンシング面積で高いエネルギー分解能を持つシリコン・ドリフト検出器を搭載(SDD 50 mm²)
  • 6種類の一次フィルターと4種類のコリメーターを搭載により、最適な励起状態に設定
  • アルミニウムやリンのような軽元素の分析
  • 最大サンプル高さ14 cmまで対応
  • 高精度でプログラム可能な電動式XY測定ステージ搭載 
  • 堅牢で長期安定性に優れた設計
  • 認証済みの完全防護装置

アプリケーション

  • 電子機器や半導体産業における薄膜の測定(50 nm以下の厚みの金やパラジウムの測定など) 
  • 自動車産業における硬質材皮膜の測定
  • 太陽電池産業における膜厚測定
  • RoHS、WEEE、CPSIAにおける規制対象とする有害物質検査、その他電子機器、包装材やコンシューマ製品の有害物質検査
  • 金、貴金属の高精度分析
  • NiPの組成分析

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