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Ce type d'optique polycapillaire permet de focaliser le rayonnement X. Selon l'application, des paramètres particuliers de l'optique peuvent être optimisés. Il est possible d'atteindre de petites tailles de spots ou des intensités élevées sur la surface de l'échantillon. Une augmentation de la distance de travail entre la sortie de l'optique et la surface de l'échantillon conduit à des tailles de spot plus grandes.

Spécifications

Système de focalisation polycapillaire pour applications XRF et XPS


Grande lentille polycapillaire Mini lentille polycapillaire Micro lentille polycapillaire

Source - distance d'entrée f1 [mm] > 40 > 40 > 30

Longueur L [mm] 150 - 300 50 - 300 40 - 60

Quitter - distance de mise au point f2 [mm] > 40 > 10 5 - 25

Taille d'entrée Din [mm] > 5 > 4 > 2

Taille maximale Dmax [mm] < 16 7 - 9 4 - 5

Taille de sortie Dout [mm] > 5 > 2 > 1

Angle de capture Φ [rad] 0,05 - 0,2 0,04 - 0,15 0,05 - 0,1

Plage d'énergie [keV] 1 - 30 3 - 30 3 - 30

Taille de source optimale [µm] > 50 30 - 1000 30 - 50

Taille de la tache focale [µm] > 200 30 - 600 10 - 100

Gain d'intensité 500 - 4000 1500 - 20000 1000 - 7000

Applications XRF, XRD µXRF, µXRD, µXPS et iMOXS-SEM µXRF, µXRD et µXPS
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