XDV-µ

 La série XDV-µ est conçue pour la mesure précise des épaisseurs de revêtements et l'analyse matière sur des structures très délicates. Tous les dispositifs sont équipés d'une optique polycapillaire qui focalise le rayon x primaire, faisant des spots de mesure (fwhm) de diamètres compris entre 10 et 60 µm. La radiation concentrée de haute intensité permet un temps de mesure très court. En plus de la version standard XDV-µ, des versions spécialisées sont aussi adaptées à l'électronique et aux industries des semi-conducteurs. Par exemple, le XDV-µ LD est optimisé pour mesurer sur des cartes de circuits imprimées, tandis que le XDV-µ Wafer est destiné à une utilisation en salle blanche.

XDV-µ pour tester les plus petites structures

Caractéristiques:

  • Optique polycapillaire permettant de concentrer le faisceau X-Ray sur des surfaces de mesure extrêmement réduites
  • Détecteur Silicium à compensation de dérive(SDD), assurant une excellente limite de détection
  • Table de mesure programmable pour automatiser les mesures sur plusieurs échantillons
  • Modèles spécifiques pour applications particulières comprenant:
    • XDV-μ LD, possédant une mesure de distance améliorée (au moins 12mm)
    • XDV-μ LEAD FRAME, spécialement conçu pour mesurer des revêtements tels que Au/Pd/Ni/CuFe
    • XDV-μ wafer, intégrant un système de chargement automatique de Wafer

Applications:

Mesure d'épaisseur de revêtements

  • Mesure sur cartes de circuits imprimés nues et assemblées
  • Analyse de revêtements complexes dans la gamme du nanomètre comme par exemple Au/Pd/Ni/CuFe
  • Contrôle qualité automatisé de wafers jusqu'à un diamètre de 12 pouces
  • Test des couches de métallisation (UBM) dans la gamme du nanomètre
  • Compatible avec les normes DIN EN ISO 3497 et ASTM B568

Analyse des Matériaux

  • Analyse d'élements très légers comme le sodium
  • Analyse de points de soudure de cuivre sans plomb
  • Test de la composition élementaire du C4 et de petits points de soudure, ainsi que de petites surfaces de contact dans l'industrie des semiconducteurs

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