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์‚ฌ์–‘

XRD, ยตXRF ๋ฐ ์‹ฑํฌ๋กœํŠธ๋ก  ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์— ๋Œ€ํ•œ ํฌ์ปค์Šค ์‹œ์Šคํ…œ


์†Œ์Šค-์ดˆ์  ๊ฑฐ๋ฆฌ 2a [mm]

250 ... 15000

์†Œ์Šค-์ž…๊ตฌ ๊ฑฐ๋ฆฌ f1 [mm]

> 10

์ข…๋ฃŒ-์ดˆ์  ๊ฑฐ๋ฆฌ f2 [mm]

> 1

์ตœ๋Œ€ ์ง๊ฒฝ (2b) dmax [ยตm]

50 ... 3000

์ž…๊ตฌ ์ง๊ฒฝ D1 [ยตm]

50 ... 2000

์ถœ๊ตฌ ์ง๊ฒฝ D2 [ยตm]

50 ... 2000

๊ธธ์ด L [mm]

> 20

์—๋„ˆ์ง€ ๋ฒ”์œ„ [keV]

XUV ... 30

์ตœ์ ์˜ ์†Œ์Šค ํฌ๊ธฐ [ยตm]



์ดˆ์  ํฌ๊ธฐ [ยตm]

> 10

ํ•˜์šฐ์ง• ์ง๊ฒฝ D ํ•˜์šฐ์ง• [mm]

> 7

๊ฐ•๋„ ์ฆ๊ฐ€

> 50
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