
์ธก์ ๊ฐ์ด ์๋นํ ๋ค๋ฆ ๋๋ค. ์ด์ ๊ฐ ๋ฌด์์ธ์ง์?
๊ฑฐ์น ํ๋ฉด์์์ ์์ ์ ํญ์ ์์ ์ ์ผ๋ก ์กํ ์๋ ์์ต๋๋ค; ๊ฐ๋ฅํ๋ฉด ํ๋ฉด์ ๋ฆ์ผ์ญ์์ค. ๊ธฐ๋ฅ์ ์ธ๋ถ ์ง๋์ ํ๋ ๊ฐ์ ํฐ ๋ณ๋์ด๋ ์๋ชป๋ ์ธก์ ์ผ๋ก ์ด์ด์ง ์๋ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ด์ ๋ก ๊ธฐ๊ธฐ๋ ๋ณดํธ ๋ ์ฅ์ (์ : ์งํ ๋๋ ์งํ์ธต)์ ์ค์นํด์ผํฉ๋๋ค. ๋งค์ฐ ์ ์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ํ์ผ๋ก ์ธก์ ํ ๋, ๋ซํ ์ธก์ ์์์ ์ ๋ ํ ์ด๋ธ์ ์ธ๋ถ ์ํฅ์ ๋์ํ๋ ๋ฐ ๋์์ด๋ฉ๋๋ค.
์ธก์ ๊ฐ์ด ์๋ชป๋์์ต๋๋ค. ๊ทธ ์ด์ ๋ ๋ฌด์์ผ๊น์?
์ธ๋ดํฐ๊ฐ ๋๋ฝ๊ฑฐ๋ ๋ง๋ชจ๋์์ ์ ์์ต๋๋ค. WIN-HCU๋ ์ ๊ธฐ์ ์ผ๋ก ์ํ๋์ด์ผํ๋ ์ฒญ์ ์ ์ฐจ๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ๋ํ ์์ฉ ํ๋ก๊ทธ๋จ์ ์ ํฉํ force-time ์ฒด๊ณ๋ฅผ ์ ํํ๋์ง ํ์ธํ์ญ์์ค. ํ ์คํธ ๋งค๊ฐ ๋ณ์๊ฐ ๋ค๋ฅด๋ฉด ํธ์ฐจ๊ฐ ๋ฐ์ํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ด ๋จ๊ณ๊ฐ ์ฌ์ ํ ๋์๋์ง ์๋๋ค๋ฉด, ์ธ๋ดํฐ๊ฐ ๋ง๋ชจ๋์์ ๋ ํํ ๊ต์ ์ ์ํ ํ ์๋ ์์ต๋๋ค. ์ฐธ๊ณ : ํํ ๊ต์ ์ Fischer ์ง์ ๋๋ ๊ธฐํ ์๋ จ/๊ต์ก์ ๋ฐ์ ์ฌ๋๋ง ์ํํด์ผํฉ๋๋ค.
์ธก์ ํ ํ๋ฉด์ ์์ ์๊ตญ์ด์๋ ๊ฒ ๊ฐ์ต๋๋ค. ์์ผ๊น์?
ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ ์๋ชป๋ ๋ ์ฆ๊ฐ ์ค์ ๋์์ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ค๋ฅธ ๋ ์ฆ๋ฅผ ์ฌ์ฉํด๋ณด๊ณ , ์๋ ๋ ์ฆ ๊ฐ์ง ๊ธฐ๋ฅ์ด ์๋ ๊ธฐ๊ธฐ์ ๊ฒฝ์ฐ WIN-HCU ์ํํธ์จ์ด์์ ์ฌ๋ฐ๋ฅธ ๋ ์ฆ๋ฅผ ์ ํํด์ผํฉ๋๋ค.
๊ทธ๋ผ์๋ ์ฌ์ ํ ์ธ๋ดํ ์ด์ ์ด ๋ณด์ด์ง ์์ผ๋ฉด ํ ์คํธ ํ์ด ๋๋ฌด ๋ฎ๊ฒ ์ ํ ๋์ด์์ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๊ฒฝ์ฐ, ์๋ฅผ ๋ค์ด ์์๋ ฅ ํ๋ฏธ๊ฒฝ (AFM)์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์์๋ฅผ ๋ณผ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ ๋ค๋ฅธ ์ด์ ๋ ํ๋ฏธ๊ฒฝ ์์น์ ์ค์ ์ธก์ ์์น ์ฌ์ด์ offset์ด ๋๋ฌด ํด ์ ์์ต๋๋ค. Offset ์ค์ ๋ณ๊ฒฝ์ ์ํด์ Measuring stage โบ Set microscope adjust์ ์ ํํ์ธ์.
๋ง์ดํฌ๋ก ์น์ ์์ ์ฝํ ์ ์ธก์ ํ๋ ค๋ฉด, ์ ์ ํ Fischer ๋ง์ดํฌ๋ก ์น์ ์ํ ํ๋๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ๊ฒ์ ์ถ์ฒํฉ๋๋ค. ์ ์ ํ ํ๋์์ด ๋ง์ดํฌ๋ก ์น์ ์์ ์ธก์ ์ ์ํํ๋ ๊ฒฝ์ฐ, ๊ฐ ์ธก์ ์ ๋ํด ์ธ๋ดํฐ๋ฅผ ๋ฐฐ์นํ๋ ๊ณผ์ ์์ ํ๋ฏธ๊ฒฝ ์์น์ ๊ด๋ จํ์ฌ ์ธก์ ์์น๊ฐ ์ฒด๊ณ์ ์ผ๋ก offset ๋ ์ ์์ต๋๋ค.
์ํ๊ฒฝ๋ ๋ฐ ์ํ๊ณ์์ ๋ํ ์ธก์ ๊ฐ์ ์ป์ง ๋ชปํ๋ ์ด์ ๋ ๋ฌด์์ ๋๊น?
ํ์ค์ ๊ฑฐ ๊ณก์ ์ด ๊ธฐ๋ก๋์ง ์์์ ์ ์์ต๋๋ค; ์ค์ ์ ํ์ธํ์ญ์์ค. ๋ํ ๋งค์ฐ ๋ถ๋๋ฌ์ด ์ํ์ ํ์ค์ ๋ฐ์ผ๋ฉด ๋ณํ (creep) ๋ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์์ ๊ฒฝ๋๋ฅผ ํญ์ ํ์ ํ ์๋ ์์ต๋๋ค. 'Creep' ์ค์ ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์์ creep์ ํ์ ํ์ธ์ (CIT). ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ค์ Edit โบ Application properties โบ Parameter โบ Linear extrapolation์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ISO 1457์ ๋ฐ๋ฅธ ์ํ๊ณ์ EIT ๋ฐ ์ํ๊ฒฝ๋H IT๋ฅผ ๊ฒฐ์ ํ์ธ์.
ํ์ค๊ณก์ ๋ฐ ํ์ค์ ๊ฑฐ ๊ณก์ ์ด '๋ณํ'๋๋ '๋๋ฌด ๊ฐํ๊ฒ ๊ตฌ๋ถ๋ฌ์ก์ต๋๋ค'. ๊ทธ ์ด์ ๋ ๋ฌด์์ผ๊น์?
์ํ์ด ์ธก์ ์ค์ ๋ถํ๊ฐ ๊ฑธ๋ฆฐ ์ํ ์ผ ์ ์์ต๋๋ค. ํ ์คํธ ์ํ์ด ์ ๋๋ก ๊ณ ์ ๋์๋์ง ํ์ธํ์ญ์์ค. ๋ถํ์ ํํ์ ๋ฐ๋ผ HM ๋ฒ์ฉ ์ํ ๋ ๋๋ Fischer์ HM ํฌ์ผ ํด๋จํ ์ฅ์น๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ญ์์ค.
Dynamic Measurement Mode'๋ฅผ ํ์ฑํ ํ ์ ์๋ ์ด์ ๋ ๋ฌด์์ ๋๊น?
Dynamic Measurement Mode๋ ๊ด๋ฆฌ์๋ก ๋ก๊ทธ์ธ ํ ๊ฒฝ์ฐ์๋ง ํ์ฑํ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๊ด๋ฆฌ์ ๊ถํ์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ ์ฌ์ ํ ํ์ฑํ๋์ง ์์ผ๋ฉด, ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๊ทํ์ ๋ณด์ ์ํํธ์จ์ด ๋๋ฌธ์ผ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ ์๊ฒฉํ ๋ณด์ ํ๋กํ ์ฝ์ ์ฌ์ฉํ๋ ์ปดํจํฐ๋ฅผ ์ฌ์ฉํด๋ณด์ญ์์ค.
'shape correction' ๋ฉ๋ด ํญ๋ชฉ์ด ํ์์ผ๋ก ํ์๋๊ณ ์ ํํ ์ ์๋ ์ด์ ๋ ๋ฌด์์ ๋๊น?
๋ชจ์ ์์ ์๋ ๊ด๋ฆฌ์ ๊ถํ์ด ํ์ํฉ๋๋ค. ๊ทธ์ ๋ง๊ฒ WIN-HCU์ ๋ก๊ทธ์ธํ์ญ์์ค. ์ฐธ๊ณ : ๋ชจ์ ์์ ์ Fischer ์ง์ ๋๋ ๊ธฐํ ์๋ จ/๊ต์ก์ ๋ฐ์ ์ฌ๋๋ง ์ํํด์ผํฉ๋๋ค.