
์ค์๊ธฐ ํด๋์ Cr/Ni/Cu ์ฝํ ์ธก์
์ค์ ํค๋๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์๋น ๊ดํ์ด ๋๋ฉฐ, ๊ณ ์ฒด ๊ธ์์ผ๋ก ์ถ์ ํ ์ ์์ง๋ง, ์ฃผ๋ก ๊ธฐ์ฌ๋ ํ๋ผ์คํฑ์ ๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ธ ๋ ์ด์ด ๊ตฌ์ฑ์ ํ๋ผ์คํฑ ๊ธฐ์ฌ์ ํฌ๋กฌ/๋์ผ/๊ตฌ๋ฆฌ ์ ๋๋ค.
์ฅ์์ฉ ํฌ๋กฌ ์ฝํ ์ 0.5 ฮผm ์ดํ, ๋์ผ ์ฝํ ์ 5~10 ฮผm, ๊ตฌ๋ฆฌ ์ธต์ ์ต๋ 30 ฮผm ์ดํ๋ก XRF(X์ ํ๊ด ํฌ์) ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ด๋ฅผ ๋นํ๊ดด๋ก ์ธก์ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
figure 1 FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDLMยฎ์ ์ธก์ ์ค์ ์ ๋ณด์ฌ์ค๋๋ค. ํ๋ผ์คํฑ ๊ตฌ์ฑ ์์์ ํฌ๋กฌ, ๋์ผ ๋ฐ ๊ตฌ๋ฆฌ ์ฝํ ์ฌ๋ถ๋ฅผ ๊ฒฐ์ ํ๋ ์ธก์ ์์ฉ ํ๋ก๊ทธ๋จ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ธก์ ์ ์ํํ์์ต๋๋ค.
์ด ์ธก์ ์์ on Figure 2 ์๋ฃ๋ฅผ ๊ฒ์ถ๊ธฐ(proportional counter tube)์ ๋ง์ถฐ ์ ๋ ฌํ๋ ๊ฒ ์ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํฉ๋๋ค..
ํญ์ ๊ฐ์ฅ ๋์ ์ง์ ์์ ์ธก์ ํด์ผ ํฉ๋๋ค. ๋ํ ์ธก์ ์ฅ์น์์ ๋ํ ํฐ๊ฐ ์ด๋ป๊ฒ ์ ๋ ฌ๋์ด ์๋์ง ์๋ ๊ฒ์ด ์ค์ํฉ๋๋ค. ์ค์ ํค๋๋ฅผ ๋ํ ํฐ์ ์ธ๋ก ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ๋ฐฐ์นํ ๊ฒฝ์ฐ ์ธก์ ์์น๋ฅผ ์๊ฒ ๋ฐ๊พธ๋ฉด ๊ฒฐ๊ณผ์ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น์ง ์์ต๋๋ค.
๊ธฐ์ธ์ด์ง์ง ์๋๋ก ํฉ๋๋ค.
์๋ฃ๋ฅผ ๊ธฐ์ธ์ด๋ฉด ์ ๋ฉ๋๋ค.์ฆ, ์ธก์ ํ ์ ์ ์ ๋ ์ํ์ด๋์ด์ผ ํฉ๋๋ค. ์๋ฃ์๋ ํํํ ํ๋ฉด์ด ์๋ ๊ฒฝ์ฐ๊ฐ ๋ง์ผ๋ฏ๋ก ์ด ์๊ตฌ ์ฌํญ์ ํนํ ์ฃผ์ํด์ผ ํฉ๋๋ค.
์ธก์ ์ง์ ์ ์ด์ ์ ์ ํํ๊ฒ ๋ง์ถฅ๋๋ค.์ธก์ ์ง์ ์์ ํฌ์ปค์ค๊ฐ ์ ํํ์ง ์์ผ๋ฉด ๋ถ์ ์ํํธ์จ์ด์์ ์ธก์ ๊ฑฐ๋ฆฌ๊ฐ ์๋ชป๋์๋ค๊ณ ๊ฐ์ ํฉ๋๋ค. ์ด๋ก ์ธํด ์ธก์ ์ด ์๋ชป๋ ์ ์์ต๋๋ค.
XRF saturation thickness
XRF ์ธก์ ์๋ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ธ ํ๊ณ๊ฐ ์์ต๋๋ค. ์ฝํ ๋๊ป๊ฐ ๋๋ฌด ํฌ๋ฉด ํฌํ ์ํ์ด ์์ต๋๋ค. ์ด ์ ํ์ ๊ธฐ์กด ์ธก์ ์์ฉ ํ๋ก๊ทธ๋จ์ WinFTMยฎ ์ํํธ์จ์ด๊ฐ ์๋ ์ฅ์น์์ ์ถ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
๋ค.<p <strong> figure 3>์์๋ ํฌ๋กฌ ๋ง๊ฐ ์ฝํ ๊ณผ ๋์ผ ๋ง๊ฐ ์ฝํ ๋๊ป๊ฐ ๊ฐ๊ฐ 0.2ฮผm์ 7.5ฮผm์ธ ๊ฒ์ ๊ฐ์ ํ์ฌ ๊ตฌ๋ฆฌ ์ฝํ ์ ๋ํ ์ธก์ ๋ฒ์ ํ๊ณ๋ฅผ ๊ฒฐ์ ํ์ต๋๋ค. ์๋์ ํฌ๋กฌ ์ฝํ ์ ๋ํ ์ธก์ ๋ฒ์๋ ์ฝ 1 ~ 25 ฮผm์ ๋๋ค.
Cr/Ni/Cu ์ฝํธ์ ์ธต ๋๊ป๋ฅผ ์ ํด์๋ก ์ธก์ ํ๋ ๋์๋ ์์ต๋๋ค. ์ด ๋ฐฉ๋ฒ์์๋ ์ ๊ฑฐ์ ๊ฑธ๋ฆฌ๋ ์๊ฐ์ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก COLLOSCEยฎ CMS์์ ๊ฒฐ์ ๋ ์ฝํ ๋๊ป์ ์ธก์ ์์ญ์์ ์ฝํ ์ด ์ฐ์์ ์ผ๋ก ์ ๊ฑฐ๋ฉ๋๋ค.
ํ 1 ์ ์ธก์ ๋ ์ฝํ ๋๊ป๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ค๋๋ค. XRF ๋ฐฉ๋ฒ์์๋ ๊ฐ ์ฟจ๋ก๋ฏธํฐ ์ธก์ ์์ญ์ ์ค์ฌ์ผ๋ก 4๊ฐ ์์น๋ฅผ ์ธก์ ํ์ต๋๋ค. ์ ํด์ ์ธก์ ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๊ฐ ์ฝํ ์์์ ๋ํ ์ธก์ ์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ฉ๋๋ค. ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ํด ์ธก์ ๋ ๊ฐ์ ์๋ก ๋งค์ฐ ๊ฐ๊น์ง๋ง, ์ค์ ๊ด์ฐฐ์๋ ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ด ์ ํํ ๋์ผํ ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋๋ฌํ์ง๋ ์๋๋ค๋ ์ ์ ์ฃผ๋ชฉํด์ผ ํฉ๋๋ค.
๋ ์ธก์ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ฐจ์ด๋ XRF ์ธก์ ์์ ์๋ฃ์ ์์น๊ฒฐ์ ์์ ์ฐพ์ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ฝํ ์ ๋ถ๊ท ํ๋ ํ ๊ฐ์ง ์ญํ ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๊ตฌ๋ฆฌ์ ๊ฒฝ์ฐ ์๋ฃ๊ฐ XRF ํฌํ๋๊ป์ ๊ฐ๊น๊ณ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ถ์ ํ๋๋ฅผ ์ธก์ ํ๋ ๊ฒ์ด ๊ฐํ๊ฒ ์ฆ๊ฐํ๋ ๊ฒ๋ ์ฌ์ค์ ๋๋ค.
๋ค.