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์ƒค์›Œ๊ธฐ ํ•ด๋“œ์˜ Cr/Ni/Cu ์ฝ”ํŒ…์ธก์ •

Fischer Marketing Team | 24. 4์›” 2020

์ƒค์›Œ๊ธฐ ํ•ด๋“œ์˜ Cr/Ni/Cu ์ฝ”ํŒ…์ธก์ •

์ƒค์›Œ ํ—ค๋“œ๋Š” ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์€๋น› ๊ด‘ํƒ์ด ๋‚˜๋ฉฐ, ๊ณ ์ฒด ๊ธˆ์†์œผ๋กœ ์ถ”์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์ง€๋งŒ, ์ฃผ๋กœ ๊ธฐ์žฌ๋Š” ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ผ๋ฐ˜์ ์ธ ๋ ˆ์ด์–ด ๊ตฌ์„ฑ์€ ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ ๊ธฐ์žฌ์— ํฌ๋กฌ/๋‹ˆ์ผˆ/๊ตฌ๋ฆฌ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

์žฅ์‹์šฉ ํฌ๋กฌ ์ฝ”ํŒ…์€ 0.5 ฮผm ์ดํ•˜, ๋‹ˆ์ผˆ ์ฝ”ํŒ…์€ 5~10 ฮผm, ๊ตฌ๋ฆฌ ์ธต์€ ์ตœ๋Œ€ 30 ฮผm ์ดํ•˜๋กœ XRF(X์„  ํ˜•๊ด‘ ํˆฌ์‹œ) ๋ฐฉ๋ฒ•์€ ์ด๋ฅผ ๋น„ํŒŒ๊ดด๋กœ ์ธก์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

figure 1 FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDLMยฎ์˜ ์ธก์ • ์„ค์ •์„ ๋ณด์—ฌ์ค๋‹ˆ๋‹ค. ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ์˜ ํฌ๋กฌ, ๋‹ˆ์ผˆ ๋ฐ ๊ตฌ๋ฆฌ ์ฝ”ํŒ… ์—ฌ๋ถ€๋ฅผ ๊ฒฐ์ •ํ•˜๋Š” ์ธก์ • ์‘์šฉ ํ”„๋กœ๊ทธ๋žจ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์ธก์ •์„ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜์˜€์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์ด ์ธก์ •์—์„œ on Figure 2 ์‹œ๋ฃŒ๋ฅผ ๊ฒ€์ถœ๊ธฐ(proportional counter tube)์— ๋งž์ถฐ ์ •๋ ฌํ•˜๋Š” ๊ฒƒ ์„ ๊ณ ๋ คํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค..

ํ•ญ์ƒ ๊ฐ€์žฅ ๋†’์€ ์ง€์ ์—์„œ ์ธก์ •ํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ ์ธก์ • ์žฅ์น˜์—์„œ ๋””ํ…ํ„ฐ๊ฐ€ ์–ด๋–ป๊ฒŒ ์ •๋ ฌ๋˜์–ด ์žˆ๋Š”์ง€ ์•„๋Š” ๊ฒƒ์ด ์ค‘์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ƒค์›Œ ํ—ค๋“œ๋ฅผ ๋””ํ…ํ„ฐ์— ์„ธ๋กœ ๋ฐฉํ–ฅ์œผ๋กœ ๋ฐฐ์น˜ํ•œ ๊ฒฝ์šฐ ์ธก์ • ์œ„์น˜๋ฅผ ์ž‘๊ฒŒ ๋ฐ”๊พธ๋ฉด ๊ฒฐ๊ณผ์— ํฐ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์น˜์ง€ ์•Š์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๊ธฐ์šธ์–ด์ง€์ง€ ์•Š๋„๋ก ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

์‹œ๋ฃŒ๋ฅผ ๊ธฐ์šธ์ด๋ฉด ์•ˆ ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.์ฆ‰, ์ธก์ •ํ•  ์ ์€ ์ ˆ๋Œ€ ์ˆ˜ํ‰์ด๋˜์–ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์‹œ๋ฃŒ์—๋Š” ํ‰ํ‰ํ•œ ํ‘œ๋ฉด์ด ์—†๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ๋งŽ์œผ๋ฏ€๋กœ ์ด ์š”๊ตฌ ์‚ฌํ•ญ์— ํŠนํžˆ ์ฃผ์˜ํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

์ธก์ • ์ง€์ ์— ์ดˆ์ ์„ ์ •ํ™•ํ•˜๊ฒŒ ๋งž์ถฅ๋‹ˆ๋‹ค.

์ธก์ • ์ง€์ ์—์„œ ํฌ์ปค์Šค๊ฐ€ ์ •ํ™•ํ•˜์ง€ ์•Š์œผ๋ฉด ๋ถ„์„ ์†Œํ”„ํŠธ์›จ์–ด์—์„œ ์ธก์ • ๊ฑฐ๋ฆฌ๊ฐ€ ์ž˜๋ชป๋˜์—ˆ๋‹ค๊ณ  ๊ฐ€์ •ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋กœ ์ธํ•ด ์ธก์ •์ด ์ž˜๋ชป๋  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

XRF saturation thickness

XRF ์ธก์ •์—๋Š” ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ธ ํ•œ๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜๊ฐ€ ๋„ˆ๋ฌด ํฌ๋ฉด ํฌํ™” ์œ„ํ—˜์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ์ œํ•œ์€ ๊ธฐ์กด ์ธก์ • ์‘์šฉ ํ”„๋กœ๊ทธ๋žจ์˜ WinFTMยฎ ์†Œํ”„ํŠธ์›จ์–ด๊ฐ€ ์žˆ๋Š” ์žฅ์น˜์—์„œ ์ถ”์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๋‹ค.

<p&nbsp;<strong> figure 3>์—์„œ๋Š” ํฌ๋กฌ ๋งˆ๊ฐ ์ฝ”ํŒ…๊ณผ ๋‹ˆ์ผˆ ๋งˆ๊ฐ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜๊ฐ€ ๊ฐ๊ฐ 0.2ฮผm์™€ 7.5ฮผm์ธ ๊ฒƒ์„ ๊ฐ€์ •ํ•˜์—ฌ ๊ตฌ๋ฆฌ ์ฝ”ํŒ…์— ๋Œ€ํ•œ ์ธก์ • ๋ฒ”์œ„ ํ•œ๊ณ„๋ฅผ ๊ฒฐ์ •ํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์•„๋ž˜์˜ ํฌ๋กฌ ์ฝ”ํŒ…์— ๋Œ€ํ•œ ์ธก์ • ๋ฒ”์œ„๋Š” ์•ฝ 1 ~ 25 ฮผm์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

๋ชจ๋“  ์ ์„ ์ฃผ์˜ ๊นŠ๊ฒŒ ๊ณ ๋ คํ•  ๊ฒฝ์šฐ ์ƒค์›Œ ํ—ค๋“œ๋Š” XRF์— ์˜ํ•ด ํŒŒ๊ดด๋˜์ง€ ์•Š๊ณ  ์ธก์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๋‹ค.

Cr/Ni/Cu ์ฝ”ํŠธ์˜ ์ธต ๋‘๊ป˜๋ฅผ ์ „ํ•ด์‹๋กœ ์ธก์ •ํ•˜๋Š” ๋Œ€์•ˆ๋„ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๋ฐฉ๋ฒ•์—์„œ๋Š” ์ œ๊ฑฐ์— ๊ฑธ๋ฆฌ๋Š” ์‹œ๊ฐ„์„ ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ COLLOSCEยฎ CMS์—์„œ ๊ฒฐ์ •๋œ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜์™€ ์ธก์ • ์˜์—ญ์—์„œ ์ฝ”ํŒ…์ด ์—ฐ์†์ ์œผ๋กœ ์ œ๊ฑฐ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

ํ‘œ 1 ์€ ์ธก์ •๋œ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜๋ฅผ ๋ณด์—ฌ์ค๋‹ˆ๋‹ค. XRF ๋ฐฉ๋ฒ•์—์„œ๋Š” ๊ฐ ์ฟจ๋กœ๋ฏธํ„ฐ ์ธก์ • ์˜์—ญ์„ ์ค‘์‹ฌ์œผ๋กœ 4๊ฐœ ์œ„์น˜๋ฅผ ์ธก์ •ํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ „ํ•ด์‹ ์ธก์ •์˜ ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ๊ฐ ์ฝ”ํŒ… ์š”์†Œ์— ๋Œ€ํ•œ ์ธก์ •์œผ๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋‘ ๋ฐฉ๋ฒ•์— ๋Œ€ํ•ด ์ธก์ •๋œ ๊ฐ’์€ ์„œ๋กœ ๋งค์šฐ ๊ฐ€๊น์ง€๋งŒ, ์‹ค์ œ ๊ด€์ฐฐ์ž๋Š” ๋‘ ๋ฐฉ๋ฒ•์ด ์ •ํ™•ํžˆ ๋™์ผํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ์— ๋„๋‹ฌํ•˜์ง€๋Š” ์•Š๋Š”๋‹ค๋Š” ์ ์— ์ฃผ๋ชฉํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๋‘ ์ธก์ • ๋ฐฉ๋ฒ•์˜ ์ฐจ์ด๋Š” XRF ์ธก์ •์—์„œ ์‹œ๋ฃŒ์˜ ์œ„์น˜๊ฒฐ์ •์—์„œ ์ฐพ์„ ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์ฝ”ํŒ…์˜ ๋ถˆ๊ท ํ˜•๋„ ํ•œ ๊ฐ€์ง€ ์—ญํ• ์„ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ตฌ๋ฆฌ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์‹œ๋ฃŒ๊ฐ€ XRF ํฌํ™”๋‘๊ป˜์— ๊ฐ€๊น๊ณ  ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ถ€์ •ํ™•๋„๋ฅผ ์ธก์ •ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ๊ฐ•ํ•˜๊ฒŒ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ๋„ ์‚ฌ์‹ค์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

๋‹ค.

COULOSCOPEยฎ CMS๋Š” ๊ตฌ๋ฆฌ ์ฝ”ํŒ…์˜ ๋‘๊ป˜๋ฅผ ์ตœ๋Œ€ 50ฮผm๊นŒ์ง€ ์ธก์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ธฐ๋Šฅ์„ ์ œ๊ณตํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ ์ „ํ•ด์‹ ๋‘๊ป˜์ธก์ • ๋ฐฉ๋ฒ•์€ XRF ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ๋ณด์™„ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

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