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ํƒ์›”ํ•œ ์ž๋™ ํ…Œ๋ผํ—ค๋ฅด์ธ  ์ธก์ •

THz๋ฅผ ์ด์šฉํ•œ ์œ ๊ธฐ ๋‹จ์ผ ๋ฐ ๋‹ค์ธต ์ฝ”ํŒ…์˜ ๋น„ํŒŒ๊ดด ๋ฐ ๋น„์ ‘์ด‰์‹ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜ ์ธก์ •์„ ์œ„ํ•œ ์ž๋™ํ™”๋œ ์ธก์ • ์†”๋ฃจ์…˜

์žฅ์ 

  • ์‹œ์žฅ์„ ์„ ๋„ํ•˜๋Š” ์ธก์ • ์„ฑ๋Šฅ: ์ตœ๊ณ ์˜ ์ •๋ฐ€๋„์™€ ๋ฐ˜๋ณต์„ฑ์„ ์œ„ํ•œ ๋…๋ณด์ ์ธ 6 THz ๋Œ€์—ญํญ
  • ์ง„๋™ ๋ณด์ •: 1.6 KHz์˜ ๊ณ ์œ ํ•œ ๋†’์€ ์ƒ˜ํ”Œ๋ง ์†๋„๊ฐ€ ๋ชจ๋“  ์›์น˜ ์•Š๋Š” ์ง„๋™์„ ๋ณธ์งˆ์ ์œผ๋กœ ๋ณด์ •ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.
  • ํŠนํ—ˆ๋ฐ›์€ ํด๋ฆฐ-ํŠธ๋ ˆ์ด์Šค ๊ธฐ์ˆ : ์ตœ์ƒ์˜ ์ธก์ • ์„ฑ๋Šฅ๊ณผ ๋ณ€ํ•จ์—†๋Š” ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์œ„ํ•œ ๊ฑด์‹ ๊ณต๊ธฐ ๊ณต๊ธ‰ ์žฅ์น˜
  • ํ†ตํ•ฉ 3D ์Šค์บ๋„ˆ: ๊ณ ์ •๋ฐ€ ์œ„์น˜ ์„ผ์„œ์™€ ๋‹ค์–‘ํ•œ ํ˜•์ƒ, ์‹ฌ์ง€์–ด ๋‘ฅ๊ทผ ํ‘œ๋ฉด๊ณผ ๋ณต์žกํ•œ ๋ถ€ํ’ˆ ํ˜•์ƒ์—์„œ๋„ ๊ฑฐ๋ฆฌ ์ธก์ • ๊ฐ€๋Šฅ
  • ์ „๊ธฐ ๊ด‘ํ•™ ์ธก์ •: ์›€์ง์ด๋Š” ๊ธฐ๊ณ„ ๋ถ€ํ’ˆ์ด ์—†์–ด ์ตœ๋Œ€ ๊ฐ€๋™ ์‹œ๊ฐ„ ๋ณด์žฅ
  • ๊ฐ„ํŽธํ•œ ํ†ตํ•ฉ: ๋กœ๋ด‡๊ณผ ์ œ์–ด ์‹œ์Šคํ…œ์—์„œ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋„๋ก ์„ค๊ณ„๋œ ํ•˜๋“œ์›จ์–ด ๋ฐ ์†Œํ”„ํŠธ์›จ์–ด
  • ๋†’์€ ์‹ ๋ขฐ์„ฑ: ๊ฒฌ๊ณ ํ•˜๊ณ  ์œ ์ง€๋ณด์ˆ˜๊ฐ€ ์ ์œผ๋ฉฐ ์—ฐ์ค‘๋ฌดํœด 24์‹œ๊ฐ„ ์ค‘๋‹จ ์—†์ด ์‚ฌ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ์„ค๊ณ„๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค


  • ์ŠคํŒŸ ํฌ๊ธฐ: ร˜ 1 mm
  • ๋Œ€์—ญํญ: 0,1 - 6 THz
  • ํš๋“ ์†๋„(THz-Tracerate): 1.6 KHz
  • ์ธก์ • ์‹œ๊ฐ„: 3 - 5 s
  • ํฌ์ง€์…”๋‹ ์‹œ๊ฐ„: < ์• ํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜์— ๋”ฐ๋ผ 1~3์ดˆ ๋ฏธ๋งŒ, ์ •ํ™•๋„ 0.05ยตm ๋ฏธ๋งŒ
  • ์ธก์ • ๋ฒ”์œ„: 10 ฮผm ~ ์ˆ˜ ๋ฐ€๋ฆฌ๋ฏธํ„ฐ
  • ๋ ˆ์ด์–ด ์ˆ˜ ์ตœ๋Œ€ 7๊ฐœ
  • ์ธก์ • ๊ฑฐ๋ฆฌ: 7cm
  • ์ •ํ™•๋„: < ์• ํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜์— ๋”ฐ๋ผ 1ฮผm ๋ฏธ๋งŒ ๋˜๋Š” ์ธต ๋‘๊ป˜์˜ 1% ๋ฏธ๋งŒ
  • ๋ฐ˜๋ณต์„ฑ: <0.1 ฮผm, ์• ํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜์— ๋”ฐ๋ผ ๋‹ค๋ฆ„

์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ

ํ…Œ๋ผํ—ค๋ฅด์ธ  ๊ธฐ์ˆ ์€ ์‚ฐ์—… ์ธก์ • ๊ธฐ์ˆ ์—์„œ ๊ด‘๋ฒ”์œ„ํ•œ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ๋ฅผ ์—ด์–ด์ค๋‹ˆ๋‹ค. ํ…Œ๋ผํ—ค๋ฅด์ธ ๊ฐ€ ์™œ ์ด๋ ‡๊ฒŒ ๋‹ค์žฌ๋‹ค๋Šฅํ• ๊นŒ์š”? ํ…Œ๋ผํ—ค๋ฅด์ธ  ํŒŒ๋Š” ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ, ๋ชฉ์žฌ, ์„ธ๋ผ๋ฏน, ํŽ˜์ธํŠธ ๋“ฑ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๋ชจ๋“  ์œ ๊ธฐ ๋ฌผ์งˆ์„ ๊ธฐ๋ณธ ์žฌ๋ฃŒ์— ๊ด€๊ณ„์—†์ด ๋น„ํŒŒ๊ดด ๋ฐ ๋น„์ ‘์ด‰ ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ ํ†ต๊ณผํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ ํ…Œ๋ผํ—ค๋ฅด์ธ  ๊ธฐ์ˆ ์€ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์‚ฐ์—… ๋ถ„์•ผ์˜ ๊ด‘๋ฒ”์œ„ํ•œ ์• ํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜์—์„œ ๋‹จ์ผ ๋ฐ ๋‹ค์ธต ์‹œ์Šคํ…œ์„ ์ธก์ •ํ•˜๋Š” ๋ฐ ์‚ฌ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜ ์ธก์ •๋ถ€ํ„ฐ ์žฌ๋ฃŒ ๋ถ„์„๊นŒ์ง€, ๋‹น์‚ฌ๋Š” ๊ณ ๊ฐ์˜ ์ธก์ • ์ž‘์—…์— ์ ํ•ฉํ•œ ์†”๋ฃจ์…˜์„ ์ œ๊ณตํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.


1. ์ž๋™์ฐจ

๋‹จ์ผ ๋˜๋Š” ๋‹ค์ธต ์‹œ์Šคํ…œ์˜ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜ ์ธก์ •

  • ๊ธˆ์†, ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ, ํƒ„์†Œ ๋“ฑ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๋ชจ๋“  ๊ธฐํŒ์˜ ๋„์žฅ ๋ฐ ๋ž˜์ปค, ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ/ํƒ„์†Œ ๊ธฐํŒ์˜ ์Šคํฌ์ผ๋Ÿฌ ๋ฐ ๋ฒ”ํผ์™€ ๊ฐ™์€ ์™ธ์žฅ ๋ถ€ํ’ˆ, ์—์–ด๋ฐฑ, ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ ๋ณตํ•ฉ ๋ถ€ํ’ˆ, ์Šฌ๋Ÿฌ์‹œ ์ธต, ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ ๋ณตํ•ฉ ๋ถ€ํ’ˆ์˜ ์ง๋ฌผ/์œ ๊ธฐ๋ฌผ, ์•ก์„ธ์„œ๋ฆฌ ๋ถ€ํ’ˆ(์˜ˆ: ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ ํ˜ธ์ผ, ์—ฐ๋ฃŒ ์ „์ง€์˜ ์–‘๊ทนํŒ ๋“ฑ) ๋“ฑ

๋ ˆ์ด๋” ํˆฌ๊ณผ ๋ฐ ๋ฐ˜์‚ฌ๋ฅผ ํฌํ•จํ•œ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜ ์ธก์ •

  • ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ ์™ธ์žฅ ๋ถ€ํ’ˆ, ์˜ˆ: ๋ฒ”ํผ


2. ํ•ญ๊ณต์šฐ์ฃผ

๋‹จ์ผ ๋˜๋Š” ๋‹ค์ธต ์‹œ์Šคํ…œ์˜ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜ ์ธก์ •

  • ๋‹ค์–‘ํ•œ ํ•ญ๊ณต๊ธฐ ๋ถ€ํ’ˆ์˜ ๋ชจ๋“  ๊ธฐํŒ ์ฝ”ํŒ…

๋ˆˆ์— ๋ณด์ด์ง€ ์•Š๋Š” ๊ฒฐํ•จ ๋ฐ ์ˆจ๊ฒจ์ง„ ๋ถ€์‹ ๊ฐ์ง€

  •  ๋ณตํ•ฉ ์žฌ๋ฃŒ, ๋‹ค์–‘ํ•œ ๊ธˆ์† ๋ถ€ํ’ˆ ๋ฐ ํ•ต์‹ฌ ๋ถ€ํ’ˆ, ๋‚ ๊ฐœ, ํƒ„์†Œ ์„ฌ์œ  ๋ณตํ•ฉ์žฌ์˜ ๋™์ฒด, ํ„ฐ๋นˆ ๋ธ”๋ ˆ์ด๋“œ์˜ ์—ด ์ฐจ๋‹จ ์ฝ”ํŒ… ๋ฐ ๊ธฐํƒ€


3. ๋ฐ˜๋„์ฒด

์žฌ๋ฃŒ ํŠน์„ฑ ๋ฐ ํ’ˆ์งˆ ๊ด€๋ฆฌ ํ…Œ์ŠคํŠธ

  • ํ”Œ๋ ˆ์ดํŠธ์˜ ์ปจ๋•ํ„ด์Šค, ์‹œํŠธ ์ €ํ•ญ, ์ž์œ  ์ „ํ•˜ ์บ๋ฆฌ์–ด์˜ ์ด๋™์„ฑ(2DEG), ์ „ํ•˜ ์บ๋ฆฌ์–ด ๋ฐ€๋„, ๊ตด์ ˆ๋ฅ , ์œ ์ „์ฒด ํŒŒ๋ผ๋ฏธํ„ฐ, ฮต' ๋ฐ ฮต'', ํก์ˆ˜ ์ „๋ ฅ, ๋‹จ์ผ ์ฃผํŒŒ์ˆ˜ ํŠน์„ฑ


4. ํด๋ฆฌ๋จธ ๋ฐ ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ ์••์ถœ

๋‹จ์ผ ๋˜๋Š” ๋‹ค์ค‘ ๋ ˆ์ด์–ด๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋œ ์‹œ์Šคํ…œ์˜ ์ฝ”ํŒ… ์ธก์ •

  • ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ ํฌ์ผ, ํฌ์žฅ, EVOH์™€ ๊ฐ™์€ ๊ธฐ๋Šฅ์„ฑ ์ธต, ๊ณต์••์ถœ(์˜ˆ: ๋ฐ”๋‹ฅ์žฌ ๋ฐ ํ•„๋ฆ„, ์—ฐ๋ฃŒ ์ „์ง€์˜ ์–‘๊ทนํŒ ๋“ฑ) ๋“ฑ

ํ’ˆ์งˆ ๊ด€๋ฆฌ ์กฐ์น˜์˜ ์ผํ™˜์œผ๋กœ ๋ˆˆ์— ๋ณด์ด์ง€ ์•Š๋Š” ๊ฒฐํ•จ ๋ฐœ๊ฒฌ

  • ๋ชจ๋“  ์‚ฐ์—…์—์„œ ๊ธฐ๋Šฅ ๋ฐ ์•ˆ์ „์ด ์ค‘์š”ํ•œ ๋ถ€ํ’ˆ์„ ์œ„ํ•œ ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ ๋ถ€ํ’ˆ, ํด๋ฆฌ๋จธ ๋ฐ ๋ณตํ•ฉ์žฌ


5. ํ™˜๊ฒฝ

๋‹จ์ผ ๋˜๋Š” ๋‹ค์ธต ์‹œ์Šคํ…œ์˜ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜ ์ธก์ •

  • ์—ฐ๋ฃŒ ์ „์ง€, ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ ํฌ์ผ, ๊ด‘์ „์ง€, ํฌ์žฅ ๋“ฑ์˜ ์–‘๊ทน์„ฑ ํ”Œ๋ ˆ์ดํŠธ

์ˆจ๊ฒจ์ง„ ๊ฒฐํ•จ ์‹๋ณ„ ๋ฐ ํ’ˆ์งˆ ๊ฒ€์ฆ

  • ํ’๋ ฅ ํ„ฐ๋นˆ, ํƒœ์–‘๊ด‘ ๋ฐœ์ „ ๋ฐ ๊ธฐํƒ€


6. ์žฌ๋ฃŒ

๋‹จ์ผ ๋ฐ ๋‹ค์ธต ์ฝ”ํŒ… ๋ชจ๋‘์— ๋Œ€ํ•œ ๋‘๊ป˜ ์ธก์ •

  • ๋งˆ๋ชจ ๋ฐฉ์ง€ ํƒ„์†Œ(DLC)์™€ ๊ฐ™์€ ๋‹ค์ด์•„๋ชฌ๋“œ, ํฌ์žฅ์žฌ, ์ข…์ด์˜ ํŠน์ˆ˜ ์ž‰ํฌ(์˜ˆ: ํ™”ํ ์ธ์‡„์šฉ), ์ข…์ด ๋ฐ ํŒ๊ธˆ์˜ ์ž‰ํฌ ๋ฐ ๋ž˜์ปค ๋“ฑ

์žฌ๋ฃŒ ํŠน์„ฑ ๊ฒ€์‚ฌ ๋ฐ ํ’ˆ์งˆ ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋ง

  • ํ”Œ๋ ˆ์ดํŠธ์˜ ์ปจ๋•ํ„ด์Šค, ์‹œํŠธ ์ €ํ•ญ, ์ž์œ  ์ „ํ•˜ ์บ๋ฆฌ์–ด์˜ ์ด๋™๋„(2DEG), ์ „ํ•˜ ์บ๋ฆฌ์–ด ๋ฐ€๋„, ๊ตด์ ˆ๋ฅ , ์œ ์ „์ฒด ํŒŒ๋ผ๋ฏธํ„ฐ, ฮต' ๋ฐ ฮต'', ํก์ˆ˜ ์ „๋ ฅ, ๋‹จ์ผ ์ฃผํŒŒ์ˆ˜ ํŠน์„ฑ
  • ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™์€ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ์˜ ๊ฒฝ์šฐ
    • 2D ์žฌ๋ฃŒ(์˜ˆ: ๋ฐ˜๋„์ฒด, ๊ทธ๋ž˜ํ•€, ํƒœ์–‘๊ด‘, ์ข…์ด์— ํŠน์ˆ˜ ์ž‰ํฌ, ์ข…์ด ๋ฐ ํŒ๊ธˆ์— ํŽ˜์ธํŠธ ๋ฐ ๋ฐ”๋‹ˆ์‹œ ๋“ฑ) "


7. ์„ธ๋ผ๋ฏน

๋‹จ์ผ ๋˜๋Š” ๋‹ค์ค‘ ๋ ˆ์ด์–ด๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋œ ์‹œ์Šคํ…œ์˜ ์ฝ”ํŒ… ์ธก์ •

  • ์„ธ๋ผ๋ฏน ์œ„์— ์„ธ๋ผ๋ฏน(์˜ˆ: ์œ„์ƒ ๋ถ€๋ฌธ์˜ ์—๋‚˜๋ฉœ), ๊ธˆ์† ์œ„์— ์„ธ๋ผ๋ฏน(์˜ˆ: ํ„ฐ๋นˆ ๋ธ”๋ ˆ์ด๋“œ์˜ ์—ด ์ฐจ๋‹จ ์ฝ”ํŒ…)

๋ˆˆ์— ๋ณด์ด์ง€ ์•Š๋Š” ๊ฒฐํ•จ ๊ฐ์ง€ ๋ฐ ํ’ˆ์งˆ ๊ด€๋ฆฌ

  • ์„ธ๋ผ๋ฏน ์œ„์— ์„ธ๋ผ๋ฏน, ์˜ˆ: ์œ„์ƒ ๋ถ€๋ฌธ์˜ ์—๋‚˜๋ฉœ, ๊ธˆ์† ์œ„์— ์„ธ๋ผ๋ฏน, ์˜ˆ: ํ„ฐ๋นˆ ๋ธ”๋ ˆ์ด๋“œ์˜ ์—ด ์ฐจ๋‹จ ์ฝ”ํŒ…


๋‹ค๋ฅธ ์• ํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜์ด ์žˆ์œผ์‹ ๊ฐ€์š”? ๊ทธ๋ ‡๋‹ค๋ฉด ์ €ํฌ์—๊ฒŒ ์—ฐ๋ฝํ•˜์„ธ์š”!


์ด๋ฆ„ ์ข…๋ฅ˜ ์‚ฌ์ด์ฆˆ ๋‹ค์šด๋กœ๋“œ

ํ…Œ๋ผํ—ค๋ฅด์ธ  ์ธก์ •์€ ์–ด๋–ป๊ฒŒ ์ž‘๋™ํ•˜๋‚˜์š”?

์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ํ…Œ๋ผํ—ค๋ฅด์ธ  ๊ธฐ์ˆ ์€ 0.1์—์„œ 10 THz ์‚ฌ์ด์˜ ์ฃผํŒŒ์ˆ˜๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ ์ „์ž๊ธฐํŒŒ๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ ์ด ํŒŒ์žฅ์€ ๋งˆ์ดํฌ๋กœํŒŒ๋ณด๋‹ค๋Š” ํŒŒ์žฅ์ด ์งง์ง€๋งŒ ๊ฐ€์‹œ๊ด‘์„ ๋ณด๋‹ค๋Š” ํŒŒ์žฅ์ด ๊น๋‹ˆ๋‹ค. THz ํŒŒ์˜ ํŠน์ง•์€ ์—ฌ๋Ÿฌ ์ธต์„ ํˆฌ๊ณผํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋‹ค์ธต ์‹œ์Šคํ…œ ๋‚ด์˜ ๊ฐ ๊ฐœ๋ณ„ ์ธต์„ ๊ฐœ๋ณ„์ ์œผ๋กœ ๊ฐ์ง€ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

ํ…Œ๋ผํ—ค๋ฅด์ธ ํŒŒ๋Š” ๋ ˆ์ด์ €๊ฐ€ ์žฅ์ฐฉ๋œ ๊ด‘์ „์ž ์žฅ์น˜์— ์˜ํ•ด ์ธก์ • ํ—ค๋“œ์—์„œ ์ƒ์„ฑ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ์žฅ์น˜๋Š” ์ดˆ๋‹จํŒŒ ํ…Œ๋ผํ—ค๋ฅด์ธ  ํŽ„์Šค๋ฅผ ๋ฐฉ์ถœํ•˜์—ฌ ์‹œ๋ฃŒ๋กœ ์ „์†กํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ํŽ„์Šค๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ ์ธต์„ ํˆฌ๊ณผํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ธต ์‚ฌ์ด์˜ ์ „ํ™˜ ์ง€์ ์—์„œ ํŒŒ๋™์€ ๋ถ€๋ถ„์ ์œผ๋กœ ๋ฐ˜์‚ฌ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ์—์ฝ” ํŽ„์Šค๋Š” ํŠน์ง•์ ์ธ ์‹œ๊ฐ„์ฐจ๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ๊ฒ€์ถœ๊ธฐ์— ๋„์ฐฉํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ฐ ์ธต๊ณผ ๊ฐ ์žฌ๋ฃŒ๋Š” ํŠน์ • ํก์ˆ˜ ์ŠคํŽ™ํŠธ๋Ÿผ์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์‹ ํ˜ธ ํŠน์„ฑ์œผ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ๊ฐœ๋ณ„ ์ธต๊ณผ ์ธต ๋‘๊ป˜๋ฅผ ์ •ํ™•ํ•˜๊ฒŒ ๊ฒฐ์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฉฐ ๊ท ์งˆ์„ฑ ๋ฐ ๋‹ค๊ณต์„ฑ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๋‹ค๋ฅธ ๋งค๊ฐœ ๋ณ€์ˆ˜๋ฅผ ์œ ์ถ”ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

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