
ํ์ํ ์๋ ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ์ธก์
THz๋ฅผ ์ด์ฉํ ์ ๊ธฐ ๋จ์ผ ๋ฐ ๋ค์ธต ์ฝํ ์ ๋นํ๊ดด ๋ฐ ๋น์ ์ด์ ์ฝํ ๋๊ป ์ธก์ ์ ์ํ ์๋ํ๋ ์ธก์ ์๋ฃจ์
์ฅ์
- ์์ฅ์ ์ ๋ํ๋ ์ธก์ ์ฑ๋ฅ: ์ต๊ณ ์ ์ ๋ฐ๋์ ๋ฐ๋ณต์ฑ์ ์ํ ๋ ๋ณด์ ์ธ 6 THz ๋์ญํญ
- ์ง๋ ๋ณด์ : 1.6 KHz์ ๊ณ ์ ํ ๋์ ์ํ๋ง ์๋๊ฐ ๋ชจ๋ ์์น ์๋ ์ง๋์ ๋ณธ์ง์ ์ผ๋ก ๋ณด์ ํฉ๋๋ค.
- ํนํ๋ฐ์ ํด๋ฆฐ-ํธ๋ ์ด์ค ๊ธฐ์ : ์ต์์ ์ธก์ ์ฑ๋ฅ๊ณผ ๋ณํจ์๋ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ํ ๊ฑด์ ๊ณต๊ธฐ ๊ณต๊ธ ์ฅ์น
- ํตํฉ 3D ์ค์บ๋: ๊ณ ์ ๋ฐ ์์น ์ผ์์ ๋ค์ํ ํ์, ์ฌ์ง์ด ๋ฅ๊ทผ ํ๋ฉด๊ณผ ๋ณต์กํ ๋ถํ ํ์์์๋ ๊ฑฐ๋ฆฌ ์ธก์ ๊ฐ๋ฅ
- ์ ๊ธฐ ๊ดํ ์ธก์ : ์์ง์ด๋ ๊ธฐ๊ณ ๋ถํ์ด ์์ด ์ต๋ ๊ฐ๋ ์๊ฐ ๋ณด์ฅ
- ๊ฐํธํ ํตํฉ: ๋ก๋ด๊ณผ ์ ์ด ์์คํ ์์ ์ฌ์ฉํ๋๋ก ์ค๊ณ๋ ํ๋์จ์ด ๋ฐ ์ํํธ์จ์ด
- ๋์ ์ ๋ขฐ์ฑ: ๊ฒฌ๊ณ ํ๊ณ ์ ์ง๋ณด์๊ฐ ์ ์ผ๋ฉฐ ์ฐ์ค๋ฌดํด 24์๊ฐ ์ค๋จ ์์ด ์ฌ์ฉํ ์ ์๋๋ก ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค
ํน์ง
- ์คํ ํฌ๊ธฐ: ร 1 mm
- ๋์ญํญ: 0,1 - 6 THz
- ํ๋ ์๋(THz-Tracerate): 1.6 KHz
- ์ธก์ ์๊ฐ: 3 - 5 s
- ํฌ์ง์ ๋ ์๊ฐ: < ์ ํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ ๋ฐ๋ผ 1~3์ด ๋ฏธ๋ง, ์ ํ๋ 0.05ยตm ๋ฏธ๋ง
- ์ธก์ ๋ฒ์: 10 ฮผm ~ ์ ๋ฐ๋ฆฌ๋ฏธํฐ
- ๋ ์ด์ด ์ ์ต๋ 7๊ฐ
- ์ธก์ ๊ฑฐ๋ฆฌ: 7cm
- ์ ํ๋: < ์ ํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ ๋ฐ๋ผ 1ฮผm ๋ฏธ๋ง ๋๋ ์ธต ๋๊ป์ 1% ๋ฏธ๋ง
- ๋ฐ๋ณต์ฑ: <0.1 ฮผm, ์ ํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ ๋ฐ๋ผ ๋ค๋ฆ
์์ฉ ๋ถ์ผ
ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ๊ธฐ์ ์ ์ฐ์ ์ธก์ ๊ธฐ์ ์์ ๊ด๋ฒ์ํ ์์ฉ ๋ถ์ผ๋ฅผ ์ด์ด์ค๋๋ค. ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ๊ฐ ์ ์ด๋ ๊ฒ ๋ค์ฌ๋ค๋ฅํ ๊น์? ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ํ๋ ํ๋ผ์คํฑ, ๋ชฉ์ฌ, ์ธ๋ผ๋ฏน, ํ์ธํธ ๋ฑ๊ณผ ๊ฐ์ ๋ชจ๋ ์ ๊ธฐ ๋ฌผ์ง์ ๊ธฐ๋ณธ ์ฌ๋ฃ์ ๊ด๊ณ์์ด ๋นํ๊ดด ๋ฐ ๋น์ ์ด ๋ฐฉ์์ผ๋ก ํต๊ณผํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ๊ธฐ์ ์ ๋ค์ํ ์ฐ์ ๋ถ์ผ์ ๊ด๋ฒ์ํ ์ ํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์์ ๋จ์ผ ๋ฐ ๋ค์ธต ์์คํ ์ ์ธก์ ํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ฝํ ๋๊ป ์ธก์ ๋ถํฐ ์ฌ๋ฃ ๋ถ์๊น์ง, ๋น์ฌ๋ ๊ณ ๊ฐ์ ์ธก์ ์์ ์ ์ ํฉํ ์๋ฃจ์ ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
1. ์๋์ฐจ
๋จ์ผ ๋๋ ๋ค์ธต ์์คํ
์ ์ฝํ
๋๊ป ์ธก์
- ๊ธ์, ํ๋ผ์คํฑ, ํ์ ๋ฑ๊ณผ ๊ฐ์ ๋ชจ๋ ๊ธฐํ์ ๋์ฅ ๋ฐ ๋์ปค, ํ๋ผ์คํฑ/ํ์ ๊ธฐํ์ ์คํฌ์ผ๋ฌ ๋ฐ ๋ฒํผ์ ๊ฐ์ ์ธ์ฅ ๋ถํ, ์์ด๋ฐฑ, ํ๋ผ์คํฑ ๋ณตํฉ ๋ถํ, ์ฌ๋ฌ์ ์ธต, ํ๋ผ์คํฑ ๋ณตํฉ ๋ถํ์ ์ง๋ฌผ/์ ๊ธฐ๋ฌผ, ์ก์ธ์๋ฆฌ ๋ถํ(์: ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ ํธ์ผ, ์ฐ๋ฃ ์ ์ง์ ์๊ทนํ ๋ฑ) ๋ฑ
๋ ์ด๋ ํฌ๊ณผ ๋ฐ ๋ฐ์ฌ๋ฅผ ํฌํจํ ์ฝํ ๋๊ป ์ธก์
- ํ๋ผ์คํฑ ์ธ์ฅ ๋ถํ, ์: ๋ฒํผ
2. ํญ๊ณต์ฐ์ฃผ
๋จ์ผ ๋๋ ๋ค์ธต ์์คํ
์ ์ฝํ
๋๊ป ์ธก์
- ๋ค์ํ ํญ๊ณต๊ธฐ ๋ถํ์ ๋ชจ๋ ๊ธฐํ ์ฝํ
๋์ ๋ณด์ด์ง ์๋ ๊ฒฐํจ ๋ฐ ์จ๊ฒจ์ง ๋ถ์ ๊ฐ์ง
- ๋ณตํฉ ์ฌ๋ฃ, ๋ค์ํ ๊ธ์ ๋ถํ ๋ฐ ํต์ฌ ๋ถํ, ๋ ๊ฐ, ํ์ ์ฌ์ ๋ณตํฉ์ฌ์ ๋์ฒด, ํฐ๋น ๋ธ๋ ์ด๋์ ์ด ์ฐจ๋จ ์ฝํ ๋ฐ ๊ธฐํ
3. ๋ฐ๋์ฒด
์ฌ๋ฃ ํน์ฑ ๋ฐ ํ์ง ๊ด๋ฆฌ ํ
์คํธ
- ํ๋ ์ดํธ์ ์ปจ๋ํด์ค, ์ํธ ์ ํญ, ์์ ์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด์ ์ด๋์ฑ(2DEG), ์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด ๋ฐ๋, ๊ตด์ ๋ฅ , ์ ์ ์ฒด ํ๋ผ๋ฏธํฐ, ฮต' ๋ฐ ฮต'', ํก์ ์ ๋ ฅ, ๋จ์ผ ์ฃผํ์ ํน์ฑ
4. ํด๋ฆฌ๋จธ ๋ฐ ํ๋ผ์คํฑ ์์ถ
๋จ์ผ ๋๋ ๋ค์ค ๋ ์ด์ด๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ์์คํ
์ ์ฝํ
์ธก์
- ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ ํฌ์ผ, ํฌ์ฅ, EVOH์ ๊ฐ์ ๊ธฐ๋ฅ์ฑ ์ธต, ๊ณต์์ถ(์: ๋ฐ๋ฅ์ฌ ๋ฐ ํ๋ฆ, ์ฐ๋ฃ ์ ์ง์ ์๊ทนํ ๋ฑ) ๋ฑ
ํ์ง ๊ด๋ฆฌ ์กฐ์น์ ์ผํ์ผ๋ก ๋์ ๋ณด์ด์ง ์๋ ๊ฒฐํจ ๋ฐ๊ฒฌ
- ๋ชจ๋ ์ฐ์ ์์ ๊ธฐ๋ฅ ๋ฐ ์์ ์ด ์ค์ํ ๋ถํ์ ์ํ ํ๋ผ์คํฑ ๋ถํ, ํด๋ฆฌ๋จธ ๋ฐ ๋ณตํฉ์ฌ
5. ํ๊ฒฝ
๋จ์ผ ๋๋ ๋ค์ธต ์์คํ
์ ์ฝํ
๋๊ป ์ธก์
- ์ฐ๋ฃ ์ ์ง, ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ ํฌ์ผ, ๊ด์ ์ง, ํฌ์ฅ ๋ฑ์ ์๊ทน์ฑ ํ๋ ์ดํธ
์จ๊ฒจ์ง ๊ฒฐํจ ์๋ณ ๋ฐ ํ์ง ๊ฒ์ฆ
- ํ๋ ฅ ํฐ๋น, ํ์๊ด ๋ฐ์ ๋ฐ ๊ธฐํ
6. ์ฌ๋ฃ
๋จ์ผ ๋ฐ ๋ค์ธต ์ฝํ
๋ชจ๋์ ๋ํ ๋๊ป ์ธก์
- ๋ง๋ชจ ๋ฐฉ์ง ํ์(DLC)์ ๊ฐ์ ๋ค์ด์๋ชฌ๋, ํฌ์ฅ์ฌ, ์ข ์ด์ ํน์ ์ํฌ(์: ํํ ์ธ์์ฉ), ์ข ์ด ๋ฐ ํ๊ธ์ ์ํฌ ๋ฐ ๋์ปค ๋ฑ
์ฌ๋ฃ ํน์ฑ ๊ฒ์ฌ ๋ฐ ํ์ง ๋ชจ๋ํฐ๋ง
- ํ๋ ์ดํธ์ ์ปจ๋ํด์ค, ์ํธ ์ ํญ, ์์ ์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด์ ์ด๋๋(2DEG), ์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด ๋ฐ๋, ๊ตด์ ๋ฅ , ์ ์ ์ฒด ํ๋ผ๋ฏธํฐ, ฮต' ๋ฐ ฮต'', ํก์ ์ ๋ ฅ, ๋จ์ผ ์ฃผํ์ ํน์ฑ
- ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ๊ฒฝ์ฐ
- 2D ์ฌ๋ฃ(์: ๋ฐ๋์ฒด, ๊ทธ๋ํ, ํ์๊ด, ์ข ์ด์ ํน์ ์ํฌ, ์ข ์ด ๋ฐ ํ๊ธ์ ํ์ธํธ ๋ฐ ๋ฐ๋์ ๋ฑ) "
7. ์ธ๋ผ๋ฏน
๋จ์ผ ๋๋ ๋ค์ค ๋ ์ด์ด๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ์์คํ
์ ์ฝํ
์ธก์
- ์ธ๋ผ๋ฏน ์์ ์ธ๋ผ๋ฏน(์: ์์ ๋ถ๋ฌธ์ ์๋๋ฉ), ๊ธ์ ์์ ์ธ๋ผ๋ฏน(์: ํฐ๋น ๋ธ๋ ์ด๋์ ์ด ์ฐจ๋จ ์ฝํ )
๋์ ๋ณด์ด์ง ์๋ ๊ฒฐํจ ๊ฐ์ง ๋ฐ ํ์ง ๊ด๋ฆฌ
- ์ธ๋ผ๋ฏน ์์ ์ธ๋ผ๋ฏน, ์: ์์ ๋ถ๋ฌธ์ ์๋๋ฉ, ๊ธ์ ์์ ์ธ๋ผ๋ฏน, ์: ํฐ๋น ๋ธ๋ ์ด๋์ ์ด ์ฐจ๋จ ์ฝํ
๋ค๋ฅธ ์ ํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ด ์์ผ์ ๊ฐ์? ๊ทธ๋ ๋ค๋ฉด ์ ํฌ์๊ฒ ์ฐ๋ฝํ์ธ์!
ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ์ธก์ ์ ์ด๋ป๊ฒ ์๋ํ๋์?
์ฌ์ฉ๋๋ ํ
๋ผํค๋ฅด์ธ ๊ธฐ์ ์ 0.1์์ 10 THz ์ฌ์ด์ ์ฃผํ์๋ฅผ ๊ฐ์ง ์ ์๊ธฐํ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ฉ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ด ํ์ฅ์ ๋ง์ดํฌ๋กํ๋ณด๋ค๋ ํ์ฅ์ด ์งง์ง๋ง ๊ฐ์๊ด์ ๋ณด๋ค๋ ํ์ฅ์ด ๊น๋๋ค. THz ํ์ ํน์ง์ ์ฌ๋ฌ ์ธต์ ํฌ๊ณผํ ์ ์๋ค๋ ๊ฒ์
๋๋ค. ๋ค์ธต ์์คํ
๋ด์ ๊ฐ ๊ฐ๋ณ ์ธต์ ๊ฐ๋ณ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์งํ ์ ์์ต๋๋ค.
ํ
๋ผํค๋ฅด์ธ ํ๋ ๋ ์ด์ ๊ฐ ์ฅ์ฐฉ๋ ๊ด์ ์ ์ฅ์น์ ์ํด ์ธก์ ํค๋์์ ์์ฑ๋ฉ๋๋ค. ์ด ์ฅ์น๋ ์ด๋จํ ํ
๋ผํค๋ฅด์ธ ํ์ค๋ฅผ ๋ฐฉ์ถํ์ฌ ์๋ฃ๋ก ์ ์กํฉ๋๋ค. ์ด ํ์ค๋ ์ฌ๋ฌ ์ธต์ ํฌ๊ณผํฉ๋๋ค. ์ธต ์ฌ์ด์ ์ ํ ์ง์ ์์ ํ๋์ ๋ถ๋ถ์ ์ผ๋ก ๋ฐ์ฌ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์์ฝ ํ์ค๋ ํน์ง์ ์ธ ์๊ฐ์ฐจ๋ฅผ ๊ฐ์ง๊ณ ๊ฒ์ถ๊ธฐ์ ๋์ฐฉํฉ๋๋ค. ๊ฐ ์ธต๊ณผ ๊ฐ ์ฌ๋ฃ๋ ํน์ ํก์ ์คํํธ๋ผ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ ํธ ํน์ฑ์ผ๋ก๋ถํฐ ๊ฐ๋ณ ์ธต๊ณผ ์ธต ๋๊ป๋ฅผ ์ ํํ๊ฒ ๊ฒฐ์ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ ๊ท ์ง์ฑ ๋ฐ ๋ค๊ณต์ฑ๊ณผ ๊ฐ์ ๋ค๋ฅธ ๋งค๊ฐ ๋ณ์๋ฅผ ์ ์ถํ ์ ์์ต๋๋ค.