ํ์ํ ์๋ ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ์ธก์
์ ๊ธฐ ๋ฐ ์ ์ ๋จ์ผ ๋ฐ ๋ค์ธต ์ฝํ ๋๊ป ์ธก์ ๋ฐ ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ํ์ ๋ํ ์๋ฃ ๋ถ์์ ์ํ ์๋ ์ธก์ ์๋ฃจ์
์ง์ญ ๋ฐ ๊ตญ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ๊ฐ์ฉ์ฑ์ด ๋ฌ๋ผ์ง๋๋ค
์ฅ์
- ์์ฅ ์ ๋์ ์ธ ์ธก์ ์ฑ๋ฅ: ์ต๋ 6 THz ๋์ญํญ*์ ํตํ ์ต๊ณ ์ ๋ฐ๋์ ๋ฐ๋ณต์ฑ
- ํนํ ๋ฐ์ ํด๋ฆฐ ํธ๋ ์ด์ค ๊ธฐ์ : ์ค์ผ๋์ง ์์ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ํ ์ง์์ ์ธ ๊ฑด์กฐ ๊ณต๊ธฐ ์ ํ
- 3D ์ค์บ๋: ๋์ ์ ๋ฐ๋์ ์์น ๊ฒฐ์ , ์ฌ์ง์ด ๋ฅ๊ทผ ํ๋ฉด๊ณผ ๋ณต์กํ ๊ธฐํํ์์๋
- ์ด๋ค ์ง๋๋ณด๋ค ๋น ๋ฅด๋ค. ๋ ํนํ๊ฒ ๋์ ์ํ๋ง ์๋์ธ 1.6 kHz* ๋๋ถ์ ๊ฐํนํ ํ๊ฒฝ์์๋ ์ ํํ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ป์ ์ ์์
- ์ฌ์ด ํตํฉ: ๋ก๋ด ๋ฐ ์ ์ด ์์คํ ์ฉ์ผ๋ก ์ค๊ณ๋ ํ๋์จ์ด ๋ฐ ์ํํธ์จ์ด
- ๋์ ์ ๋ขฐ์ฑ: ๊ฒฌ๊ณ ํ๋ฉฐ ์ ์ง ๊ด๋ฆฌ๊ฐ ์ ๊ณ 24/7 ์ด์์ ์ํด ๊ฐ๋ฐ๋จ
- ์ ์ง ๋ณด์๊ฐ ์ ์. ์ ๊ธฐ ๊ดํ ์ธก์ ์ผ๋ก ์ธํ ๋ง๋ชจ๊ฐ ์ ์
*๊ตฌ์ฑ์ ๋ฐ๋ผ
ํน์ง
- ์คํ ํฌ๊ธฐ: โ 1 mm
- ๋์ญํญ: ์ต๋ 6 THz*
- ์ํ๋ง ์๋: 1.6 kHz*
- ์ธก์ ์๊ฐ: โ 1 s
- ํตํฉ, ์๊ฒฉ ์ ์ด ๋ฐ ํ๋ ๋ฒ์ค ์์คํ ์ ํตํ ๋ฐ์ดํฐ ๋ด๋ณด๋ด๊ธฐ
- ์ธต์ ๋๊ป: 10 ฮผm ~ ๋ช ๋ฐ๋ฆฌ๋ฏธํฐ
- ์ธต ์: ์ฌ๋ฃ์ ๋ฐ๋ผ ์ต๋ 7 ๊ฐ
- ์ธก์ ๊ฑฐ๋ฆฌ: 7 cm
- ์ธก์ ์ ํ๋: ์ ์ฉ์ ๋ฐ๋ผ 100 ฮผm ๋๊ป์์ 1 ฮผm๊น์ง, 1%๊น์ง
- ๋ฐ๋ณต ๊ฐ๋ฅ์ฑ: < 0.1 ฮผm
*๊ตฌ์ฑ์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง
์์ฉ ๋ถ์ผ
๋ ์ ํํ๊ณ , ๋ ์ ํํ๊ณ , ๋ ๋น ๋ฅด๊ฒ. ์ต๋ ๊ฐ๋ ์๊ฐ์ ์ํด ์ค๊ณ๋ ๊ฒฌ๊ณ ํ TERASCOPEยฎ๋ ์์ฅ ์ต๊ณ ์ ์ธก์ ์ฑ๋ฅ์ ์ํด ์ต๋ 6THz ๋์ญํญ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ๋ค์ธต ์์คํ ์ธก์ ์ ์ํด ํน๋ณํ ์ค๊ณ๋ ์๋ ์ธก์ ์์คํ ์ ๊ฐ ๊ฐ๋ณ ์ธต์ ๊ฐ์งํ๊ณ ๋น์ ์ด์, ๋นํ๊ดด์ , ์ ๋ฐํ๊ฒ ๊ทธ ํน์ฑ์ ๊ฒฐ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋จ ํ ๋ฒ์ ์์ ๋จ๊ณ๋ก ์ด ์์ ์ด ์์ ์๋์ผ๋ก ์ํ๋ฉ๋๋ค.
TERASCOPEยฎ๋ ๋งค์ฐ ๋์ ์ํ๋ง ์๋ ๋๋ถ์ ์ธ๋ถ ์ง๋๊ณผ ๋ ๋ฆฝ์ ์ผ๋ก ์ธก์ ํ๋ฉฐ, ๋ชจ์ฌ, ์ ์ข ์ ๊ด๊ณ์์ด ์ด๋จ์๊ฐ ๋ด์ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. TERASCOPEยฎ๋ฅผ ํ์ง ๋ณด์ฆ ํ๋ก์ธ์ค์ ์ฝ๊ฒ ํตํฉํ๊ณ ์ธ๊ณ์ ์ผ๋ก ๊ณ ์ ํ ์ ๋ฐ๋, ์ ํ์ฑ ๋ฐ ์๋๋ก ์์ ํ์ธ์.
1. ์๋์ฐจ
๋จ์ผ ๋๋ ๋ค์ธต ์์คํ
์ ์ฝํ
๋๊ป ์ธก์
- ๊ธ์, ํ๋ผ์คํฑ, ํ์ ๋ฑ๊ณผ ๊ฐ์ ๋ชจ๋ ๊ธฐํ์ ๋์ฅ ๋ฐ ๋์ปค, ํ๋ผ์คํฑ/ํ์ ๊ธฐํ์ ์คํฌ์ผ๋ฌ ๋ฐ ๋ฒํผ์ ๊ฐ์ ์ธ์ฅ ๋ถํ, ์์ด๋ฐฑ, ํ๋ผ์คํฑ ๋ณตํฉ ๋ถํ, ์ฌ๋ฌ์ ์ธต, ํ๋ผ์คํฑ ๋ณตํฉ ๋ถํ์ ์ง๋ฌผ/์ ๊ธฐ๋ฌผ, ์ก์ธ์๋ฆฌ ๋ถํ(์: ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ ํธ์ผ, ์ฐ๋ฃ ์ ์ง์ ์๊ทนํ ๋ฑ) ๋ฑ
๋ ์ด๋ ํฌ๊ณผ ๋ฐ ๋ฐ์ฌ๋ฅผ ํฌํจํ ์ฝํ ๋๊ป ์ธก์
- ํ๋ผ์คํฑ ์ธ์ฅ ๋ถํ, ์: ๋ฒํผ
2. ํญ๊ณต์ฐ์ฃผ
๋จ์ผ ๋๋ ๋ค์ธต ์์คํ
์ ์ฝํ
๋๊ป ์ธก์
- ๋ค์ํ ํญ๊ณต๊ธฐ ๋ถํ์ ๋ชจ๋ ๊ธฐํ ์ฝํ
๋์ ๋ณด์ด์ง ์๋ ๊ฒฐํจ ๋ฐ ์จ๊ฒจ์ง ๋ถ์ ๊ฐ์ง
- ๋ณตํฉ ์ฌ๋ฃ, ๋ค์ํ ๊ธ์ ๋ถํ ๋ฐ ํต์ฌ ๋ถํ, ๋ ๊ฐ, ํ์ ์ฌ์ ๋ณตํฉ์ฌ์ ๋์ฒด, ํฐ๋น ๋ธ๋ ์ด๋์ ์ด ์ฐจ๋จ ์ฝํ ๋ฐ ๊ธฐํ
3. ๋ฐ๋์ฒด
์ฌ๋ฃ ํน์ฑ ๋ฐ ํ์ง ๊ด๋ฆฌ ํ
์คํธ
- ํ๋ ์ดํธ์ ์ปจ๋ํด์ค, ์ํธ ์ ํญ, ์์ ์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด์ ์ด๋์ฑ(2DEG), ์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด ๋ฐ๋, ๊ตด์ ๋ฅ , ์ ์ ์ฒด ํ๋ผ๋ฏธํฐ, ฮต' ๋ฐ ฮต'', ํก์ ์ ๋ ฅ, ๋จ์ผ ์ฃผํ์ ํน์ฑ
4. ํด๋ฆฌ๋จธ ๋ฐ ํ๋ผ์คํฑ ์์ถ
๋จ์ผ ๋๋ ๋ค์ค ๋ ์ด์ด๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ์์คํ
์ ์ฝํ
์ธก์
- ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ ํฌ์ผ, ํฌ์ฅ, EVOH์ ๊ฐ์ ๊ธฐ๋ฅ์ฑ ์ธต, ๊ณต์์ถ(์: ๋ฐ๋ฅ์ฌ ๋ฐ ํ๋ฆ, ์ฐ๋ฃ ์ ์ง์ ์๊ทนํ ๋ฑ) ๋ฑ
ํ์ง ๊ด๋ฆฌ ์กฐ์น์ ์ผํ์ผ๋ก ๋์ ๋ณด์ด์ง ์๋ ๊ฒฐํจ ๋ฐ๊ฒฌ
- ๋ชจ๋ ์ฐ์ ์์ ๊ธฐ๋ฅ ๋ฐ ์์ ์ด ์ค์ํ ๋ถํ์ ์ํ ํ๋ผ์คํฑ ๋ถํ, ํด๋ฆฌ๋จธ ๋ฐ ๋ณตํฉ์ฌ
5. ํ๊ฒฝ
๋จ์ผ ๋๋ ๋ค์ธต ์์คํ
์ ์ฝํ
๋๊ป ์ธก์
- ์ฐ๋ฃ ์ ์ง, ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ ํฌ์ผ, ๊ด์ ์ง, ํฌ์ฅ ๋ฑ์ ์๊ทน์ฑ ํ๋ ์ดํธ
์จ๊ฒจ์ง ๊ฒฐํจ ์๋ณ ๋ฐ ํ์ง ๊ฒ์ฆ
- ํ๋ ฅ ํฐ๋น, ํ์๊ด ๋ฐ์ ๋ฐ ๊ธฐํ
6. ์ฌ๋ฃ
๋จ์ผ ๋ฐ ๋ค์ธต ์ฝํ
๋ชจ๋์ ๋ํ ๋๊ป ์ธก์
- ๋ง๋ชจ ๋ฐฉ์ง ํ์(DLC)์ ๊ฐ์ ๋ค์ด์๋ชฌ๋, ํฌ์ฅ์ฌ, ์ข ์ด์ ํน์ ์ํฌ(์: ํํ ์ธ์์ฉ), ์ข ์ด ๋ฐ ํ๊ธ์ ์ํฌ ๋ฐ ๋์ปค ๋ฑ
์ฌ๋ฃ ํน์ฑ ๊ฒ์ฌ ๋ฐ ํ์ง ๋ชจ๋ํฐ๋ง
- ํ๋ ์ดํธ์ ์ปจ๋ํด์ค, ์ํธ ์ ํญ, ์์ ์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด์ ์ด๋๋(2DEG), ์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด ๋ฐ๋, ๊ตด์ ๋ฅ , ์ ์ ์ฒด ํ๋ผ๋ฏธํฐ, ฮต' ๋ฐ ฮต'', ํก์ ์ ๋ ฅ, ๋จ์ผ ์ฃผํ์ ํน์ฑ
- ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ๊ฒฝ์ฐ
- 2D ์ฌ๋ฃ(์: ๋ฐ๋์ฒด, ๊ทธ๋ํ, ํ์๊ด, ์ข ์ด์ ํน์ ์ํฌ, ์ข ์ด ๋ฐ ํ๊ธ์ ํ์ธํธ ๋ฐ ๋ฐ๋์ ๋ฑ) "
7. ์ธ๋ผ๋ฏน
๋จ์ผ ๋๋ ๋ค์ค ๋ ์ด์ด๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ์์คํ
์ ์ฝํ
์ธก์
- ์ธ๋ผ๋ฏน ์์ ์ธ๋ผ๋ฏน(์: ์์ ๋ถ๋ฌธ์ ์๋๋ฉ), ๊ธ์ ์์ ์ธ๋ผ๋ฏน(์: ํฐ๋น ๋ธ๋ ์ด๋์ ์ด ์ฐจ๋จ ์ฝํ )
๋์ ๋ณด์ด์ง ์๋ ๊ฒฐํจ ๊ฐ์ง ๋ฐ ํ์ง ๊ด๋ฆฌ
- ์ธ๋ผ๋ฏน ์์ ์ธ๋ผ๋ฏน, ์: ์์ ๋ถ๋ฌธ์ ์๋๋ฉ, ๊ธ์ ์์ ์ธ๋ผ๋ฏน, ์: ํฐ๋น ๋ธ๋ ์ด๋์ ์ด ์ฐจ๋จ ์ฝํ
๋ค๋ฅธ ์ ํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ด ์์ผ์ ๊ฐ์? ๊ทธ๋ ๋ค๋ฉด ์ ํฌ์๊ฒ ์ฐ๋ฝํ์ธ์!
ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ์ธก์ ์ ์ด๋ป๊ฒ ์๋ํ๋์?
TERASCOPEยฎ๋ ์ต๋ 6 THz*๊น์ง์ ๋์ ์ฃผํ์ ๋ฒ์์์ ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ํ๋์ ์ฌ์ฉํฉ๋๋ค. ํ์ฅ์ด 1mm ๋ฏธ๋ง์ธ ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ํ๋์ ๋ง์ดํฌ๋กํ๋ณด๋ค๋ ์งง์ง๋ง ๊ฐ์๊ด๋ณด๋ค๋ ๊ธธ๋ค. THz ํ์ ํน์ง์ ์ ๊ธฐ ๋ฐ ๋ค์ด๋ ํธ๋ฆญ ์ธต์ ๋ง์ด ํฌ๊ณผํ ์ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ๋๋ค. ๋ค์ค ์ธต ์์คํ ๋ด์ ๊ฐ ๊ฐ๋ณ ์ธต์ ๋ณ๋๋ก ๊ฐ์ง๋ ์ ์์ต๋๋ค.
ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ํ๋ ๋ ์ด์ ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ๊ด์ ์ ๋จ์๋ก ์ธก์ ํค๋์์ ์์ฑ๋ฉ๋๋ค. ์ด๊ฒ์ ์ํ๋ก ๋ณด๋ด์ง๋ ์ด๋จํ ํ ๋ผํค๋ฅด์ธ ํ์ค๋ฅผ ๋ฐ์ฐํฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํ์ค๋ ๋ค๋ฅธ ์ธต์ ํฌ๊ณผํฉ๋๋ค. ์ธต ์ฌ์ด์ ์ ์ด์์ ํ๋ ๋ถ๋ถ์ ์ผ๋ก ๋ฐ์ฌ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์์ฝ ํ์ค๋ ํน์ง์ ์ธ ์๊ฐ ์ฐจ์ด๋ก ๊ฒ์ถ๊ธฐ์ ๋๋ฌํฉ๋๋ค. ๊ฐ ์ธต ๋ฐ ๊ฐ ์ฌ๋ฃ๊ฐ ํน์ ํก์ ์คํํธ๋ผ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ผ๋ฏ๋ก ์ ํธ ํน์ฑ์์ ๊ฐ ์ธต ๋ฐ ์ธต ๋๊ป๋ฅผ ์ ํํ๊ฒ ๊ฒฐ์ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด์ธ์ ๋งค๊ฐ ๋ณ์ ์ธ ๊ท ์ผ์ฑ ๋ฐ ๋ค๊ณต์ฑ์ ์ถ๋ก ํ ์ ์์ต๋๋ค.
*๊ตฌ์ฑ์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง๋๋ค