다른 물리적 측정 방법을 사용하는 일련의 비교 테스트를 사용하여 언급된 범위 내에서 X-선 형광 기기의 기능을 결정했습니다. 샘플 표본은 FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD 모델, Rutherford 후방 산란 및 절대 싱크로트론 방사선 기반 X-선을 사용하여 X-선 형광 방법으로 측정되었습니다.
Au 코팅 두께가 약 4, 6 및 9nm 인 경우 X-선 형광 기기의 결과는 모두 다른 두 가지 방법 사이에 있었으며 sub-nm 범위의 편차가 있어 낮은 산란뿐만 아니라 X-선 형광 기기를 사용한 측정의 진실성. 측정 결과의 추적 성은이 측정 어플리케이션을 위해 특별히 개발된 FISCHER 교정 표준을 사용하여 보장됩니다. X 선 형광 기기의 간단한 취급은 또한 필요한 경우 코팅 두께의 균질성을 결정하기 위해 시편을 쉽게 스캔 할 수 있게합니다 (그림 2 참조).
