Im Rahmen einer wissenschaftlichen Veröffentlichung mit dem Titel „Inverted fireball deposition of carbon films with extremely low surface roughness“ wurden dünne Kohlenstoffschichten mit dem PICODENTOR® HM500 und dem BETASCOPE® von Fischer analysiert.
Die Schichten wurden zunächst von unseren Partnern mit Hilfe der sogenannten „Inverted fireball deposition“ abgeschieden. Mit dem Betarückstreuverfahren wurde dann die Schichtdicke auf 263 nm ermittelt und mittels der Nanoindentation verifiziert. Die Bestimmung der mechanischen Eigenschaften (Elastizitätsmodul sowie die Vickers- und Martenshärte) von derart dünnen Schichten ist eine Herausforderung. In unseren Fall sind nur Eindringtiefen von etwa 26 nm zulässig, um den Einfluss des Substrats auszuschließen.
Die Veröffentlichung wurde von unseren Applikationsexperten Wladislaw Feuchtenberger und Dr. Konstantinos Panos der Helmut Fischer GmbH unterstützt und entstand in Zusammenarbeit mit 4A-PLASMA und Gruenwald Laboratories GmbH.
Sie finden die Veröffentlichung im Carbon Letter der SpringerNature:
https://doi.org/10.1007/s42823-022-00424-9
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