
避免傾斜
樣品不能傾斜,即待測位置必須絕對水準。必須特別注意這一要求,因為樣品上通常沒有絕對平坦的表面。
正確的聚焦在測量點上
如果測量點的聚焦不正確,那麼軟體將會得到一個錯誤的測量距離。這可能會導致測量錯誤。
XRF原理的飽和厚度
XRF法測量受到物理限制。如果鍍層的厚度過大,則存在飽和的風險。對於現有的測量應用程式,可在裝有WinFTM®軟體的儀器上估算這個限制。
在圖3上可以看到, 在鉻鍍層和鎳鍍層厚度分別為0.2μm和7.5μm的前提下,確定了銅鍍層的測量範圍。它在鍍鉻層之下的測量範圍約為1至25μm。
此外,還可以選擇庫侖法測定Cr/Ni/Cu鍍層的厚度。在該方法中,在測量區域連續電解腐蝕掉塗層,並根據去除的時間在COULOSCOPE® CMS中確定塗層厚度。
表1顯示測量的鍍層厚度:在每個用庫侖測量的位置周圍用XRF儀器測量了四個位置。庫侖測量結果包括了對每個鍍層元素的測量。 這兩種方法測得的值非常接近,但有經驗的觀察者會注意到,兩種方法得出的結果並不完全相同。
造成這種差異的原因可能是在XRF中樣品的測試位置不同;塗層的不均勻性也可能有一定影響。銅層的話,已經接近XRF的飽和厚度也是事實,因此測量的不確定度會大大增加。
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