FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
高達
50%
¹效能增加
得益於 DPP+
得益於 DPP+
多毛細管光學
內部生產並不斷開發²
內部生產並不斷開發²
無與倫比的
成本效益比
成本效益比
¹ ² 顯示更多
顯示較少
¹ DPP+與 DPP 相比,顯著提高了標準偏差,從而提高了測量能力或顯著縮短了測量時間.
² 多毛細管光學元件,正在不斷進一步發展. Fischer 製造的高階毛細管光學元件 - 世界上唯一擁有自己的多毛細管生產的 X 射線螢光測量儀器製造商.
精確 XRF 測量晶圓上的微觀結構.
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI 是全自動偵測晶圓微結構的最佳測量解決方案. 自動化晶圓處理和檢測過程可確保非常高的效率, 並透過封裝的檢測環境實現一致的檢測條件, 從而實現晶圓的無錯誤處理和測量. 強大的偵測器, Ultra 微聚焦管和用於最小測量點的多毛細管光學元件保證了出色的測量性能.
此自動化解決方案可作為預先設計解決方案, 受惠於現有的硬體和軟體設計, 我們將根據您的要求共同修改和調整自動化設備.
全自動化.
開發為自動運行程序,實現可編程、平穩的測量過程
聰明的細節實現可用性.
對整個處理過程進行綜合閉路電視監控
易於維護.
用於檢修各組件的大型維修艙口
DPP+ 數位脈衝處理器.
縮短測量時間或改善標準差*
*與DPP 相比
與無塵室相容.
晶圓無污染且測量條件恆定
可程式化.
自動識別並接近測量點
市場上最先進的多毛細管光學.
我們內部製造的多毛細管光學元件可在較短的測量時間內提供出色的測量結果