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這種類型的多毛細管光學系統可以聚焦X射線。根據應用可以對光學元件的特定參數進行優化。可以在樣品表面實現小光斑或高強度信號。光學出口與樣品表面之間的工作距離增大,光斑尺寸也隨著增大。

規範

針對XRF和XPS應用的多毛細管聚焦系統

 

多毛細管大透鏡 多毛細管迷你透鏡 多毛細管微型透鏡
源-入射距離f1 [mm]> 40> 40> 30
長度L [mm] 150-300 50-300 40-60
出口-焦距f2 [mm]> 40> 10 5-25
入口尺寸Din [mm]> 5> 4> 2
最大尺寸Dmax [mm] <16 7-9 4-5
出口尺寸Dout [mm]> 5> 2> 1
捕獲角Φ[rad] 0.05-0.2 0.04-0.15 0.05-0.1
能量範圍[keV] 1-30 3-30 3-30
最佳光源尺寸[µm]> 50 30-1000 30-50
焦點尺寸[µm]> 200 30-600 10-100
強度增益500-4000 1500-20000 1000-7000
應用於XRF,XRD,XRF,XRD,XPS和iMOXS-SEM,XRF,XRD和XPS
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