
這就是測量是如何進行的
當X射線設備開始測量時,X射線管會發出高能輻射,這也被稱為‘初級’輻射。當這些X射線擊中樣品中的一個原子時,它們會增加能量–即它們“激發”原子 - 使原子向其原子核附近發射電子,這個過程被稱為“電離”。由於這種狀態是不穩定的,一個來自更高電子層的電子移動來填充空隙,從而發射出“螢光”輻射。
這種二次輻射的能量水準類似指紋一樣:它是每個元素的特徵。探測器接收螢光並將信號數位化。在信號經過處理後,設備產生一個光譜:檢測到的光子的能級在x軸上繪製,其頻率(計數率)在y軸上繪製。樣品中的元素可以從光譜中波峰的位置(x軸方向)來辨識。這些峰的水準(y軸方向)提供了有關元素濃度的資訊。
探測器
最後一個至關重要的元件是探測器,它是“看到”螢光輻射的部分。
久經考驗的比例計數管(PC)具有較大的感應面積,因此可實現較高的計數率。它非常適合於含有較小測量點上較厚鍍層的測量。但是,由於它提供的能量解析度較低且靈敏度有限,尤其是對於輕元素,因此僅部分適合於要求高的測量任務。
矽PIN二極體是一種中階的探測器。它具有比比例接收器更好的解析度,但測量面積很小。它既可以用於材料分析,也可以用於鍍層厚度測量。但是對於較小的測量點,需要相對較長的測量時間。
最高品質的X射線螢光設備採用矽漂移探測器(SDD)。這種類型的檢測器具有極好的能量解析度,這意味著它甚至可以檢測樣品中濃度非常低的元素的輻射。此外,此類設備可以確定奈米級別的鍍層厚度,並可以輕易地分析複雜的多鍍層結構。
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