半導體
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測量性能
解決方案 根據您的要求量身定制
- 直觀、有效率、強大
最小光斑尺寸
FISCHER客戶服務
配有 FISCHER 原廠配件
應用
我們的測量技術深受全球半導體和電子行業眾多客戶的信賴。可靠性、效率以及最重要的是,市場領先的測量性能使我們的儀器不可或缺。從晶圓封裝和高級封裝到大功率半導體和電子應用,我們的解決方案能夠帶來真正的、可測量的效益。

導線框架
導線框架是基本封裝工藝中的重要元件,在晶片和外殼外部連接之間起著機械支撐和電氣連接的作用。引線框架通常塗有複雜的多層塗層。這些層通常包括厚度在納米範圍內的金層和鈀層,而鎳層通常有幾微米厚。正是這種鉛載體的絲狀結構導致測量極易出錯,並使品質控制變得複雜。瞭解如何與我們一起應對這一挑戰!
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應用說明 以及教學筆記:

著陸墊
在半導體封裝技術中,著陸墊是晶片上的基本接觸點,例如在接線過程中用於連接導線,或在倒裝晶片封裝過程中用於焊接凸塊。由於著陸墊是由鋁、銅或鎳等金屬製成的,因此通常會提供保護性或鈍化塗層,以防止腐蝕和金屬擴散。您正在尋找快速可靠的測量解決方案嗎?
用 FISCHER 解決這個問題!
我們的創新型FISCHERSCOPE® XDV®和久經考驗的專業儀器FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD 特別適用於對著陸墊進行可靠的品質檢測。當然,我們的其他 XRF 儀器,如FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ或FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER 也非常適合這種應用。
主要應用:Au/Pd/NiP/Cu/晶片基板塗層厚度測量、材料分析

BGA
球形陣列 (BGA) 是積體電路 (IC) 和微處理器的一種外殼,用於安裝在印刷電路板上。它們提供了高密度的連接,在外殼下面排列成一個微小的焊球矩陣。瞭解我們先進的測量解決方案如何快速可靠地測試 BGA!
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應用說明 以及教學筆記:

UBM
高品質的凸塊下金屬化(UBM)對倒裝晶片連接的性能和可靠性至關重要。它通常應用於金屬焊盤,以確保後期工藝中焊接凸塊具有更好的可焊性和附著力。此外,UBM 還能形成防止金屬擴散的阻擋層,從而改善晶片與封裝之間的連接。您是否準備好瞭解我們的解決方案如何幫助您測量 UBM?
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為了可靠地測量 UBM 等極薄和複雜的多層系統,我們提供半自動台式儀器FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ和FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER,以及全自動高端系統FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI。使用我們的 XRF 儀器,您可以滿足最嚴格的公差要求,確保電子設備的最高性能。
主要應用: Au/Ni/Ti/金屬墊/晶片基板、Au/Ni/Cu/Ti/金屬墊/晶片基板、Pd/Ni/Cu/金屬墊/晶片基板的塗層厚度測量和材料分析

焊接凸塊
在倒裝晶片或先進封裝工藝中,例如晶圓級、2.5D 和 3D 封裝技術,焊接凸塊、銅柱凸點和金凸點用於將晶片連接到基板或基板上的晶圓(CoWoS)。出於功能性和成本方面的考慮,不同類型凸塊的確切材料成分(尤其是錫銀濃度)以及塗層厚度起著重要作用。探索我們應對這一挑戰的測量解決方案!
用 FISCHER 解決這個問題!
使用我們的高端 XRF 儀器,如FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ、FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER 和FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI,您可以精確測量凸塊的材料成分、高度和鍍層厚度。
主要應用: 焊接和銅柱凸塊的材料分析和凸塊高度測量,凸快成分為錫/銀或錫銀/銅,其中銀的含量在 1 % 到 3 % 之間;金凸塊的鍍層厚度測量,如 Au/Ni/Cu/UBM/金屬墊/晶片基板。
應用說明 以及教學筆記:

RDLs
再分佈層(RDL)是晶圓級封裝(WLP)的關鍵元件,尤其是在晶圓級晶片尺寸封裝(WLCSP)等先進技術中。它們用於重新分配晶片的連接位置,使其符合不同封裝設計的標準化佈局。由於 RDL 中的導電軌道大多由銅製成,因此還需要使用鈦、鉻或鎳薄層,以防止銅擴散到絕緣材料中,並實現更好的附著力。想瞭解我們的測量解決方案如何幫助您?
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使用我們的FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ、FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER或FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI,高精度、高可靠性地測量您的 RDL。
主要應用:RDL(如鈦/銅)的材料分析和塗層厚度測量

背面金屬化
背面金屬化是高功率半導體和感測器製造(如 MEMS 感測器)的關鍵製程步驟。透過精心選擇層數及其組合順序,背面金屬化可在電氣、機械和熱性能方面與相應半導體元件的特定要求實現最佳匹配。您正在尋找測試背面金屬化的測量解決方案嗎?
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使用我們的創新型台式繼任者FISCHERSCOPE®XDV® 或我們久經考驗的專家FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD 可以精確測量背面金屬的厚度和成分,確保鍍膜過程的品質。我們還提供定制解決方案,例如用於測量較厚金屬層的晶片卡盤,可完美滿足您的測量任務和需求。
主要應用:常見多層系統的塗層厚度測量和材料分析,例如 Ag/Ni/Ti/Al/ 晶圓基板

彈簧接點/彈簧針
彈簧針或彈簧引腳是放置在晶片上的電氣連接裝置,用於使用探針卡進行晶片測試。為了在此測試過程中獲得絕對可靠的結果,彈簧針的功能塗層必須是高品質的。瞭解我們先進的測量解決方案如何使彈簧針測試變得簡單而精確!
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我們為您的挑戰提供的解決方案

主要應用
背面金屬化、著陸墊、微型墊、RoHS 遮罩
您面臨的挑戰
- 測量多種不同合金和複雜多層膜
- 測量小型和大型樣品
- 以極低的檢測限制進行微量元素分析
我們的產品亮點
- 各種規格的准直器,最大尺寸可達 3 毫米,篩檢程式可通用
- 通過優化元件和測量幾何形狀,實現最高精度和最短測量時間
- 用於自動測量的可程式設計測量台
- 具有高效工作流程的市場領先軟體

主要應用
導線框架、細導線、焊接凸塊、微型焊盤、SMD 元件、彈簧針、BGA、UBM、RDL
您面臨的挑戰
- 微結構測量
- 測量平面樣品和超薄多層膜
我們的產品亮點
- 多種篩檢程式、檢測器和多毛細管光學器件可供選擇,可實現最小的測量點和最高的測量精度
- C 型槽外殼,便於處理扁平、大型樣品
- 市場領先的軟體,可完成具有挑戰性的測量任務

主要應用
組裝印刷電路板、連接器、彈簧針
您面臨的挑戰
- 處理不同的樣品尺寸和複雜的形狀
- 測量帶有元件或不同層面的樣品
- 測量微觀結構
- 測量超薄多層膜
我們的產品亮點
- 採用獨特的 35 µm 多毛細管光學鏡組,測量距離大,可測量形狀複雜樣品上的最小特徵,例如用於測量可能出現翹曲的晶片
- C 型槽外殼,便於處理扁平的大型樣品
- 市場領先的軟體,可完成具有挑戰性的測量任務

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER
我們的產品亮點
- 採用獨特的 35 µm 聚毛細管光學鏡組,測量距離大,可測量形狀複雜樣品上的最小特徵,例如用於測量可能出現翹曲的晶片
- C 型槽外殼,便於處理扁平的大型樣品
- 市場領先的軟體,可完成具有挑戰性的測量任務
主要應用
焊接凸塊、銅柱凸點、金凸點、小型接觸面、微型焊盤、UBM、RDL
您面臨的挑戰
- 測量直徑從 6'' 到 12'' 的晶片上的薄膜和微結構
- 處理可能出現翹曲的晶片
- 滿足潔淨室要求
我們的產品亮點
- 多種檢測器和多毛細管光學器件可供選擇,可實現最高精度的薄層檢測
- 真空晶片卡盤或帶機械壓平功能的定制晶片處理裝置
- 通過市場領先的軟體提供廣泛的自動化選項

主要應用
焊接凸塊、銅柱凸點、金凸點、小型接觸面、微型焊盤、UBM、RDL
您面臨的挑戰
- 晶圓測量過程自動化
- 管理高產量
- 處理可能出現翹曲的晶片
- 滿足潔淨室要求
我們的產品亮點
- 集成FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER和自動晶片處理系統的全自動測量系統
- 多種探測器和多毛細管光學器件可供選擇,可實現最高精度的薄層測量
- 市場領先的軟體可提高您的效率
為您的測量任務提供合適的解決方案。
根據要求定制全自動或半自動系統結構。我們可根據您的應用,實施額外的工藝步驟,如機械壓平晶片。通過與本地集成合作夥伴合作,我們可以避免過長的交付週期。
除 XRF 外,我們還提供其他測量方法。如需瞭解更多資訊,請直接聯繫我們。
