看看我們最新的 FISCHERSCOPE® XDAL® 和 XDV®,以及最先進的 FISIQ® X 軟體。 瞭解更多!

半導體

超薄多層膜和微結構的高精度塗層厚度測量和材料分析

如何在保持半導體製造最高品質控制標準的同時,可靠地測量和分析超薄、複雜的多層系統和微結構?

 

我們的XRF 儀器可為您提供高性能的解決方案,用於對矽化合物半導體進行精確的塗層厚度測量和材料分析。無論您需要全自動系統還是緊湊型台式儀器,我們都能為您提供合適的測量解決方案--同樣適用于電子應用!

要求最好。相信 FISCHER。

市場領導者
測量性能
全自動和部分自動化
解決方案 根據您的要求量身定制
一流的軟體
- 直觀、有效率、強大
聚毛細管光學
最小光斑尺寸
優秀
FISCHER客戶服務
可靠的備件供應
配有 FISCHER 原廠配件

應用

我們的測量技術深受全球半導體和電子行業眾多客戶的信賴。可靠性、效率以及最重要的是,市場領先的測量性能使我們的儀器不可或缺。從晶圓封裝和高級封裝到大功率半導體和電子應用,我們的解決方案能夠帶來真正的、可測量的效益。

導線框架

導線框架是基本封裝工藝中的重要元件,在晶片和外殼外部連接之間起著機械支撐和電氣連接的作用。引線框架通常塗有複雜的多層塗層。這些層通常包括厚度在納米範圍內的金層和鈀層,而鎳層通常有幾微米厚。正是這種鉛載體的絲狀結構導致測量極易出錯,並使品質控制變得複雜。瞭解如何與我們一起應對這一挑戰!

著陸墊

在半導體封裝技術中,著陸墊是晶片上的基本接觸點,例如在接線過程中用於連接導線,或在倒裝晶片封裝過程中用於焊接凸塊。由於著陸墊是由鋁、銅或鎳等金屬製成的,因此通常會提供保護性或鈍化塗層,以防止腐蝕和金屬擴散。您正在尋找快速可靠的測量解決方案嗎?

BGA

球形陣列 (BGA) 是積體電路 (IC) 和微處理器的一種外殼,用於安裝在印刷電路板上。它們提供了高密度的連接,在外殼下面排列成一個微小的焊球矩陣。瞭解我們先進的測量解決方案如何快速可靠地測試 BGA

UBM

高品質的凸塊下金屬化(UBM)對倒裝晶片連接的性能和可靠性至關重要。它通常應用於金屬焊盤,以確保後期工藝中焊接凸塊具有更好的可焊性和附著力。此外,UBM 還能形成防止金屬擴散的阻擋層,從而改善晶片與封裝之間的連接。您是否準備好瞭解我們的解決方案如何幫助您測量 UBM

焊接凸塊

在倒裝晶片或先進封裝工藝中,例如晶圓級、2.5D 和 3D 封裝技術,焊接凸塊、銅柱凸點和金凸點用於將晶片連接到基板或基板上的晶圓(CoWoS)。出於功能性和成本方面的考慮,不同類型凸塊的確切材料成分(尤其是錫銀濃度)以及塗層厚度起著重要作用。探索我們應對這一挑戰的測量解決方案

RDLs

再分佈層(RDL)是晶圓級封裝(WLP)的關鍵元件,尤其是在晶圓級晶片尺寸封裝(WLCSP)等先進技術中。它們用於重新分配晶片的連接位置,使其符合不同封裝設計的標準化佈局。由於 RDL 中的導電軌道大多由銅製成,因此還需要使用鈦、鉻或鎳薄層,以防止銅擴散到絕緣材料中,並實現更好的附著力。想瞭解我們的測量解決方案如何幫助您?

背面金屬化

背面金屬化是高功率半導體和感測器製造(如 MEMS 感測器)的關鍵製程步驟。透過精心選擇層數及其組合順序,背面金屬化可在電氣、機械和熱性能方面與相應半導體元件的特定要求實現最佳匹配。您正在尋找測試背面金屬化的測量解決方案嗎?

彈簧接點/彈簧針

彈簧針或彈簧引腳是放置在晶片上的電氣連接裝置,用於使用探針卡進行晶片測試。為了在此測試過程中獲得絕對可靠的結果,彈簧針的功能塗層必須是高品質的。瞭解我們先進的測量解決方案如何使彈簧針測試變得簡單而精確

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請留下您的聯繫方式,我們會儘快與您聯繫。

 

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我們為您的挑戰提供的解決方案

主要應用

背面金屬化、著陸墊、微型墊、RoHS 遮罩

您面臨的挑戰

  • 測量多種不同合金和複雜多層膜
  • 測量小型和大型樣品
  • 以極低的檢測限制進行微量元素分析

我們的產品亮點

  • 各種規格的准直器,最大尺寸可達 3 毫米,篩檢程式可通用
  • 通過優化元件和測量幾何形狀,實現最高精度和最短測量時間
  • 用於自動測量的可程式設計測量台
  • 具有高效工作流程的市場領先軟體

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ

光斑最小,精度最高。

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主要應用

導線框架、細導線、焊接凸塊、微型焊盤、SMD 元件、彈簧針、BGA、UBM、RDL

您面臨的挑戰

  • 微結構測量
  • 測量平面樣品和超薄多層膜

我們的產品亮點

  • 多種篩檢程式、檢測器和多毛細管光學器件可供選擇,可實現最小的測量點和最高的測量精度
  • C 型槽外殼,便於處理扁平、大型樣品
  • 市場領先的軟體,可完成具有挑戰性的測量任務

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ LD

光斑最小,測量距離最遠。

了解更多

 

主要應用

組裝印刷電路板、連接器、彈簧針

您面臨的挑戰

  • 處理不同的樣品尺寸和複雜的形狀
  • 測量帶有元件或不同層面的樣品
  • 測量微觀結構
  • 測量超薄多層膜

我們的產品亮點

  • 採用獨特的 35 µm 多毛細管光學鏡組,測量距離大,可測量形狀複雜樣品上的最小特徵,例如用於測量可能出現翹曲的晶片
  • C 型槽外殼,便於處理扁平的大型樣品
  • 市場領先的軟體,可完成具有挑戰性的測量任務

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER

我們的產品亮點

  • 採用獨特的 35 µm 聚毛細管光學鏡組,測量距離大,可測量形狀複雜樣品上的最小特徵,例如用於測量可能出現翹曲的晶片
  • C 型槽外殼,便於處理扁平的大型樣品
  • 市場領先的軟體,可完成具有挑戰性的測量任務

了解更多

 

主要應用

焊接凸塊、銅柱凸點、金凸點、小型接觸面、微型焊盤、UBM、RDL

您面臨的挑戰

  • 測量直徑從 6'' 到 12'' 的晶片上的薄膜和微結構
  • 處理可能出現翹曲的晶片
  • 滿足潔淨室要求

我們的產品亮點

  • 多種檢測器和多毛細管光學器件可供選擇,可實現最高精度的薄層檢測
  • 真空晶片卡盤或帶機械壓平功能的定制晶片處理裝置
  • 通過市場領先的軟體提供廣泛的自動化選項

主要應用

焊接凸塊、銅柱凸點、金凸點、小型接觸面、微型焊盤、UBM、RDL

您面臨的挑戰

  • 晶圓測量過程自動化
  • 管理高產量
  • 處理可能出現翹曲的晶片
  • 滿足潔淨室要求

我們的產品亮點

  • 集成FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER和自動晶片處理系統的全自動測量系統
  • 多種探測器和多毛細管光學器件可供選擇,可實現最高精度的薄層測量
  • 市場領先的軟體可提高您的效率

 

定制解決方案

為您的測量任務提供合適的解決方案。

根據要求定制全自動或半自動系統結構。我們可根據您的應用,實施額外的工藝步驟,如機械壓平晶片。通過與本地集成合作夥伴合作,我們可以避免過長的交付週期。

除 XRF 外,我們還提供其他測量方法。如需瞭解更多資訊,請直接聯繫我們