FISCHERSCOPE® X-RAY XDV-µ® WAFER
Fischer DPP+
polikapiler optikler (FWHM)
¹ %50'ye varan performans artışı: DPP ile DPP+ karşılaştırıldığında önemli ölçüde iyileştirilmiş standart sapma ve ölçüm kapasitesi veya önemli ölçüde azaltılmış ölçüm süresi.
² Kendi polikapiler üretimine sahip dünyanın tek X-ışını floresan ölçüm cihazları üreticisi olan Fischer tarafından üretilen yüksek kaliteli kapiler optikler. Üç farklı üst düzey polikapiler seçeneği - tüm uygulamalarınız için doğru çözüm: 10 µm halo-free, 20 µm halo-free veya 20 µm halo.
Doğru wafer kontrolü için tüm gereksinimleri karşılar.
Vakumlu wafer tutucular ve mikrofokus tüpü Ultra ile programlanabilir ölçüm tablası sayesinde FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER, yarı iletken endüstrisinin ihtiyaçlarına göre en uygun şekilde uyarlanmıştır. XRF cihazına yerleştirilmiş polikapiler optikler, yüksek yoğunlukta kısa ölçüm süreleri için X-ışını radyasyonunu 10 veya 20 µm'lik küçük ölçüm noktalarına yoğunlaştırır. Bu, bireysel mikro yapıları geleneksel cihazlardan çok daha hassas bir şekilde ve tamamen otomatik olarak analiz etmenizi sağlar.
Tam entegre çözüm.
XDV®-μ SEMI, seçtiğiniz wafer tutucu ile birlikte
Programlanabilir.
Gelişmiş desen tanıma teknolojisi sayesinde önceden tanımlanmış yapılar üzerinde otomatik ölçümler
Zorlu ölçüm görevleri için.
Kapsamlı ölçüm ihtiyaçları için güvenilir ve hızlı sonuçlar
Tamamen otomatikleştirilebilir.
Tek bir tıklama ile cihazınız ölçümleri sizin için gerçekleştirir
Piyasadaki en gelişmiş polikapiler optikler.
Fischer tarafından üretilen polikapiler optikler kısa ölçüm sürelerinde olağanüstü ölçüm sonuçları sağlar
DPP+ dijital pulse processor.
Daha kısa ölçüm süreleri veya iyileştirilmiş standart sapma*
*DPP ile karşılaştırıldığında
İnce filmlerin ve çok katmanlı sistemlerin 6 ila 12 inç çaplı waferlar üzerinde otomatik olarak ölçülmesi için özel ekipman.
Mikrofokus tüp Ultra ile egzitasyon yoğunluğu önemli ölçüde artırılmıştır. Bu, en küçük ölçüm noktalarında bile daha iyi ölçüm performansı sağlar.
Polikapiler optikler, özellikle 10 veya 20 µm FWHW'lik küçük ölçüm noktalarına ve optimum çözünürlüğü mümkün kılar.
Kendini kanıtlamış WinFTM® ile ölçüm verilerinin gerçek zamanlı iletimi, değerlendirilmesi ve dışa aktarımı.
Özellikler
µ-XRF ile en küçük noktalarda daha da yüksek performans için tungsten anotlu Microfocus tüp Ultra; isteğe bağlıMolibden anot
Kısa ölçüm sürelerinde bile en yüksek hassasiyet için DPP+
4 farklı değiştirilebilir filtre
Fischer tarafından üretilen polikapiler optikler, yüksek yoğunluklu küçük ölçüm spotları ile küçük parçalar üzerinde ölçüm yapmayı mümkün kılar
Ölçüm noktası yakl: Ø 10 veya 20 µm (FWHM)
5 mm'ye kadar olası numune yüksekliği
İnce kaplamalarda en yüksek hassasiyet için 20 veya 50 mm² silikon drift dedektör
150-300 mm arası tüm standart wafer formatları için tutuculara sahip vakum tablası
WinFTM® ile otomasyon için kapsamlı seçenekler
Uygulama örnekleri
- Waferlar üzerinde 12 inç çapa kadar çok küçük yapıların ölçülmesi
- <10 nm'ye kadar altın/paladyum kaplamalar gibi çok ince kaplamaların analizi
- Giriş kalite kontrol süreçlerindeki gibi, otomatik ölçüm
- Karmaşık çok katlı kaplamaların tayini
Başka ihtiyaçlarınız mı var? O zaman bizimle iletişime geçin!
Uygulama Notları
Öğretici içerikler
Webinarlar
Broşürler
Uygulama Notları
Öğretici içerikler
FISCHERSCOPE® X-RAY: Calibration of X-ray measuring instrumentsFISCHERSCOPE® X-RAY tutorial: Stability testFISCHERSCOPE® X-RAY tutorial part 1: Export / Import products in WinFTM®FISCHERSCOPE® X-RAY tutorial part 2: Export / Import products in WinFTM®Webinarlar
Setting up measurement equipment monitoringSmaller, faster and more precise: Polycapillary optics for challenging applicationsReport documentationBroşürler
Fischer Insights.
Daha fazla ürün keşfedin.
