FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
DPP+ sayesinde performans
Şirket içinde üretilir ve sürekli geliştirilir²
fayda-maliyet oranı
¹ DPP ile DPP+ karşılaştırıldığında önemli ölçüde iyileştirilmiş standart sapma ve dolayısıyla ölçüm kapasitesi veya önemli ölçüde azaltılmış ölçüm süresi.
² Sürekli daha da geliştirilmekte olan polikapiler optikler. Dünyanın kendi polikapiler üretimine sahip tek X-ışını floresan ölçüm cihazları üreticisi olan Fischer tarafından üretilen üst düzey kapiler optikler.
Waferlar üzerindeki mikro yapıların hassas XRF ölçümü.
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI, waferlar üzerindeki mikro yapıların tam otomatik denetimi için en uygun ölçüm çözümüdür. Otomatik wafer taşıma ve inceleme süreci, çok yüksek bir verimlilik sağlar ve kapsüllenmiş bir inceleme ortamı aracılığıyla tutarlı inceleme koşulları nedeniyle waferların hatasız bir şekilde taşınmasını ve ölçülmesini sağlar. Güçlü dedektör, mikrofokus tüpü Ultra ve en küçük ölçüm noktaları için polikapiler optikler olağanüstü bir ölçüm performansını garanti eder.
Otomasyon çözümü önceden tasarlanmış bir çözüm olarak mevcuttur. Mevcut bir donanım ve yazılım tasarımından yararlanın. Birlikte otomasyon cihazını gereksinimlerinize göre modifiye ediyor ve uyarlıyoruz.
Tamamen otomatiktir.
7/24 kullanım ve sorunsuz ölçüm süreçleri için mükemmel şekilde uygundur
Kullanılabilirlik için akıllı detaylar.
Tüm taşıma sürecinin entegre CCTV ile izlenmesi
Kolay bakım.
Tek tek bileşenlere erişim için geniş servis kapakları
DPP+ dijital darbe işlemcisi.
Daha kısa ölçüm süreleri veya standart sapmanın iyileştirilmesi*
*DPP ile karşılaştırıldığında
Temiz oda uyumludur.
Sabit ölçüm koşullarının yanı sıra waferlarda kontaminasyon yok
Programlanabilir.
Gelişmiş desen tanıma teknolojisi sayesinde önceden tanımlanmış yapılar üzerinde otomatik ölçümler
Piyasadaki en gelişmiş polikapiler optikler.
Kendi üretimimiz olan polikapiler optikler, kısa ölçüm süreleri ile olağanüstü ölçüm sonuçları sağlar
Güçlü silikon drift dedektörü ve en küçük ölçüm noktaları için polikapiler optikler sayesinde mikro yapıları test etmek için idealdir.
Mikrofokus tüpü Ultra ile uyarma yoğunluğu önemli ölçüde artırılmıştır. Bu, en küçük ölçüm noktalarında bile daha iyi ölçüm performansı sağlar.
Taşıma robotu ölçüm cihazını 6", 8" ve 12" gofretlerle yükler.
Standartlaştırılmış FOUP'lara ve kasetlere gofretlerin otomatik olarak yerleştirilmesi ve yüklenmesi.
Piyasadaki en güçlü uygulama yazılımı olan WinFTM® ile ölçüm verilerinin gerçek zamanlı iletimi, değerlendirilmesi ve dışa aktarımı.
Özellikler
Kısa ölçüm sürelerinde bile en yüksek hassasiyet için DPP+
Standartlaştırılmış SECS/GEM iletişimi
µ-XRF ile en küçük noktalarda daha da yüksek performans için tungsten anotlu Microfocus tube Ultra
En yüksek hassasiyet için 20 veya 50 mm² silikon sapma dedektörü
Peltier soğutma
Yarı genişliği 10 veya 20 µm olan özellikle küçük ölçüm noktaları için polikapiller optikler
OHT ve AGV ile teslimat ile uyumlu
4 kat değiştirilebilir filtre
Vakumlu wafer aynası ile hassas, programlanabilir ölçüm masası
Uygulama örnekleri
- Nanometre aralığında baz metalizasyonları
- C4 ve daha küçük lehim topları
- Bakır sütunlar üzerinde ince kurşunsuz lehim başlıkları
- Son derece küçük temas alanları ve diğer karmaşık 2.5D ve 3D paketleme uygulamaları
- Mikro yapıların tam otomatik denetimi
Kaplama kalınlığı ölçümü ve element analizi
Başka uygulamalarınız mı var? O zaman bizimle iletişime geçin!
Ürün videoları
Broşürler
Ürün videoları
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI: Automated measurement of wafer microstructuresBroşürler
Fischer Insights.
Daha fazla ürün keşfedin.
