FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
ต้องขอบคุณ DPP+
ผลิตในองค์กรและพัฒนาอย่างต่อเนื่อง²
ที่ถูกที่สุด
¹ ปรับปรุงส่วนเบี่ยงเบนมาตรฐานอย่างมีนัยสำคัญ และทำให้สามารถวัดหรือเวลาการวัดลดลงอย่างมากเมื่อเปรียบเทียบ DPP กับ DPP+.
² เลนส์โพลีคาปิลลารีซึ่งมีการพัฒนาเพิ่มเติมอย่างต่อเนื่อง. เลนส์คาปิลลารีระดับไฮเอนด์ที่ผลิตโดย Fischer ซึ่งเป็นผู้ผลิตเครื่องมือตรวจวัดเอกซเรย์ฟลูออเรสเซนต์เพียงรายเดียวของโลกที่มีการผลิตโพลีคาปิลลารีเป็นของตัวเอง.
การวัดโครงสร้างบนเวเฟอร์ด้วยเครื่อง XRF ที่แม่นยำ
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI เป็นเครื่องมือวัดที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการตรวจสอบโครงสร้างจุลภาคบนเวเฟอร์แบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ. กระบวนการจัดการและตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์อัตโนมัติทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่สูงมาก และช่วยให้การจัดการและการวัดแผ่นเวเฟอร์ปราศจากข้อผิดพลาดเนื่องจากเงื่อนไขการตรวจสอบที่สอดคล้องกันผ่านสภาพแวดล้อมการตรวจสอบแบบห่อหุ้ม. เครื่องมือวัดอันทรงพลัง detector microfocus tube Ultra และ เลนส์ polycapillary สำหรับจุดตรวจวัดที่เล็กที่สุดรับประกันประสิทธิภาพการวัดที่โดดเด่น.
โซลูชันระบบอัตโนมัติมีจำหน่ายในรูปแบบโซลูชันที่ออกแบบไว้ล่วงหน้า. ได้รับประโยชน์จากการออกแบบฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์ที่มีอยู่. เราร่วมกันแก้ไขและปรับใช้เครื่องมือวัดอัตโนมัติตามความต้องการของคุณ.
อัตโนมัติเต็มรูปแบบ
พัฒนาเป็นแบบวิ่งในตัวเพื่อกระบวนการวัดที่ตั้งโปรแกรมได้และราบรื่น
รายละเอียดอันชาญฉลาดสำหรับการใช้งาน
การตรวจสอบกล้องวงจรปิดแบบบูรณาการของกระบวนการจัดการที่สมบูรณ์
บำรุงรักษาง่าย
ช่องบริการขนาดใหญ่สำหรับการเข้าถึงส่วนประกอบแต่ละชิ้น
ประมวลผลด้วย DPP+ digital pulse
เวลาการวัดสั้นลงหรือการปรับปรุงส่วนเบี่ยงเบนมาตรฐาน*
*เปรียบเทียบกับ DPP
รวมกันได้กับ Clean room
ไม่มีการปนเปื้อนของเวเฟอร์ตลอดจนสภาวะการตรวจวัดคงที่
ตั้งโปรแกรมได้
การจดจำและการเข้าใกล้จุดตรวจวัดโดยอัตโนมัติ
เลนส์โพลีคาปิลลารีที่ทันสมัยที่สุดในตลาด
เลนส์โพลีคาปิลลารีที่ผลิตภายในบริษัทของเราให้ผลการวัดที่โดดเด่นโดยใช้เวลาการวัดสั้น
คุณสมบัติ
DPP เพื่อความแม่นยำสูงสุดแม้ใช้เวลาในการวัดสั้น
การสื่อสาร SECS/GEM ที่ได้มาตรฐาน
หลอดไมโครโฟกัส Ultra พร้อมขั้วบวกทังสเตนเพื่อประสิทธิภาพที่สูงขึ้นในจุดที่เล็กที่สุดด้วย µ-XRF
เครื่องตรวจจับดริฟท์ซิลิคอนขนาด 50 มม.² เพื่อความแม่นยำสูงสุด
การทำความเย็นแบบเพลเทียร์
เลนส์โพลีคาปิลลารีสำหรับจุดตรวจวัดขนาดเล็กโดยเฉพาะที่มีความกว้างเพียงครึ่งเดียว 10 หรือ 20 µm
เข้ากันได้กับการจัดส่งโดย OHT และ AGV
ตัวกรองแบบเปลี่ยนได้ 4 เท่า
ตารางการวัดที่แม่นยำ ตั้งโปรแกรมได้พร้อมหัวจับเวเฟอร์สุญญากาศ
ตัวอย่างการใช้งาน
- การทำให้เป็นโลหะฐานในช่วงนาโนเมตร
- C4 และ smaller solder balls
- ฝาครอบบัดกรีไร้สารตะกั่วบาง ๆ บนเสาทองแดง
- พื้นที่สัมผัสขนาดเล็กมากและการใช้งานบรรจุภัณฑ์ 2.5D และ 3D ที่ซับซ้อน
- การตรวจสอบโครงสร้างจุลภาคแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
การวัดความหนาของชั้นเคลือบและการวิเคราะห์องค์ประกอบ
คุณมีแอปพลิเคชันเพิ่มเติมหรือไม่? แล้วติดต่อ เรา!