FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI

ผลิตภัณฑ์อาจแตกต่างกันไปตามรุ่นหรือคุณสมบัติ

 

ตัวเลือกแรกสำหรับการวัดเวเฟอร์แบบอัตโนมัติ 

เครื่องมือวัดพิเศษสำหรับการวัดและวิเคราะห์โครงสร้างที่เล็กที่สุด การเคลือบที่บางมาก และการชุบหลายชั้นบนเวเฟอร์ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 12 นิ้วโดยอัตโนมัติ.

ประสิทธิภาพ ¹ เพิ่มขึ้น 50%
ต้องขอบคุณ DPP+
เลนส์โพลีคาปิลลารี
ผลิตในองค์กรและพัฒนาอย่างต่อเนื่อง²
อัตราส่วนต้นทุน
ที่ถูกที่สุด
¹ ² แสดงเพิ่มเติม
แสดงน้อยลง

¹ ปรับปรุงส่วนเบี่ยงเบนมาตรฐานอย่างมีนัยสำคัญ และทำให้สามารถวัดหรือเวลาการวัดลดลงอย่างมากเมื่อเปรียบเทียบ DPP กับ DPP+.

² เลนส์โพลีคาปิลลารีซึ่งมีการพัฒนาเพิ่มเติมอย่างต่อเนื่อง. เลนส์คาปิลลารีระดับไฮเอนด์ที่ผลิตโดย Fischer ซึ่งเป็นผู้ผลิตเครื่องมือตรวจวัดเอกซเรย์ฟลูออเรสเซนต์เพียงรายเดียวของโลกที่มีการผลิตโพลีคาปิลลารีเป็นของตัวเอง.

 

การวัดโครงสร้างบนเวเฟอร์ด้วยเครื่อง XRF ที่แม่นยำ

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI เป็นเครื่องมือวัดที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการตรวจสอบโครงสร้างจุลภาคบนเวเฟอร์แบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ. กระบวนการจัดการและตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์อัตโนมัติทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่สูงมาก และช่วยให้การจัดการและการวัดแผ่นเวเฟอร์ปราศจากข้อผิดพลาดเนื่องจากเงื่อนไขการตรวจสอบที่สอดคล้องกันผ่านสภาพแวดล้อมการตรวจสอบแบบห่อหุ้ม. เครื่องมือวัดอันทรงพลัง detector microfocus tube Ultra และ เลนส์ polycapillary สำหรับจุดตรวจวัดที่เล็กที่สุดรับประกันประสิทธิภาพการวัดที่โดดเด่น.

โซลูชันระบบอัตโนมัติมีจำหน่ายในรูปแบบโซลูชันที่ออกแบบไว้ล่วงหน้า. ได้รับประโยชน์จากการออกแบบฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์ที่มีอยู่. เราร่วมกันแก้ไขและปรับใช้เครื่องมือวัดอัตโนมัติตามความต้องการของคุณ.

อัตโนมัติเต็มรูปแบบ

พัฒนาเป็นแบบวิ่งในตัวเพื่อกระบวนการวัดที่ตั้งโปรแกรมได้และราบรื่น

รายละเอียดอันชาญฉลาดสำหรับการใช้งาน

การตรวจสอบกล้องวงจรปิดแบบบูรณาการของกระบวนการจัดการที่สมบูรณ์

บำรุงรักษาง่าย

ช่องบริการขนาดใหญ่สำหรับการเข้าถึงส่วนประกอบแต่ละชิ้น

ประมวลผลด้วย DPP+ digital pulse  

เวลาการวัดสั้นลงหรือการปรับปรุงส่วนเบี่ยงเบนมาตรฐาน*

*เปรียบเทียบกับ DPP

รวมกันได้กับ Clean room  

ไม่มีการปนเปื้อนของเวเฟอร์ตลอดจนสภาวะการตรวจวัดคงที่

ตั้งโปรแกรมได้

การจดจำและการเข้าใกล้จุดตรวจวัดโดยอัตโนมัติ

เลนส์โพลีคาปิลลารีที่ทันสมัยที่สุดในตลาด

เลนส์โพลีคาปิลลารีที่ผลิตภายในบริษัทของเราให้ผลการวัดที่โดดเด่นโดยใช้เวลาการวัดสั้น

  • คุณสมบัติ

      DPP เพื่อความแม่นยำสูงสุดแม้ใช้เวลาในการวัดสั้น

      การสื่อสาร SECS/GEM ที่ได้มาตรฐาน

      หลอดไมโครโฟกัส Ultra พร้อมขั้วบวกทังสเตนเพื่อประสิทธิภาพที่สูงขึ้นในจุดที่เล็กที่สุดด้วย µ-XRF

      เครื่องตรวจจับดริฟท์ซิลิคอนขนาด 50 มม.² เพื่อความแม่นยำสูงสุด

      การทำความเย็นแบบเพลเทียร์

      เลนส์โพลีคาปิลลารีสำหรับจุดตรวจวัดขนาดเล็กโดยเฉพาะที่มีความกว้างเพียงครึ่งเดียว 10 หรือ 20 µm

      เข้ากันได้กับการจัดส่งโดย OHT และ AGV

      ตัวกรองแบบเปลี่ยนได้ 4 เท่า

      ตารางการวัดที่แม่นยำ ตั้งโปรแกรมได้พร้อมหัวจับเวเฟอร์สุญญากาศ

  • ตัวอย่างการใช้งาน

      การวัดความหนาของชั้นเคลือบและการวิเคราะห์องค์ประกอบ

      • การทำให้เป็นโลหะฐานในช่วงนาโนเมตร
      • C4 และ smaller solder balls
      • ฝาครอบบัดกรีไร้สารตะกั่วบาง ๆ บนเสาทองแดง
      • พื้นที่สัมผัสขนาดเล็กมากและการใช้งานบรรจุภัณฑ์ 2.5D และ 3D ที่ซับซ้อน
      • การตรวจสอบโครงสร้างจุลภาคแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ

      คุณมีแอปพลิเคชันเพิ่มเติมหรือไม่? แล้วติดต่อ เรา!

วิดีโอผลิตภัณฑ์
โบรชัวร์
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI: Automated measurement of wafer microstructures

ข้อมูลเชิงลึกของฟิสเชอร์.

วิธีการวัด.

เรียนรู้และค้นพบว่าการวิเคราะห์ด้วยเอกซเรย์ฟลูออเรสเซนต์ทำงานอย่างไร.

เรียนรู้เพิ่มเติม
การบริการ.

เรานำเสนอทุกสิ่งที่คุณต้องการเพื่อผลลัพธ์การวัดที่เชื่อถือได้.

เรียนรู้เพิ่มเติม
ทำไมต้องฟิสเชอร์.

สัมผัสประสบการณ์ดีๆ มากมายที่บ่งบอกความเป็นเราในฐานะบริษัท.

เรียนรู้เพิ่มเติม

ค้นหาผลิตภัณฑ์เพิ่มเติม.