พบกับ FISCHERSCOPE® XDAL® และ XDV® รุ่นใหม่ พร้อมด้วยซอฟต์แวร์ FISIQ® X ที่ล้ำสมัยของเรา. เรียนรู้เพิ่มเติม!

เซมิคอนดักเตอร์

การวัดความหนาของชั้นเคลือบด้วยความแม่นยำสูง และการวิเคราะห์วัสดุสำหรับโครงสร้างระดับไมโครและชั้นฟิล์มบางซ้อนทับกันหลายเลเยอร์

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เราจะมีวิธีไหนที่สามารถวัดและวิเคราะห์ชั้นฟิล์ม Multilayer ที่ทั้งบางและซับซ้อน รวมถึงพวกโครงสร้างไมโครต่าง ๆ ได้อย่างแม่นยำและน่าเชื่อถือ โดยที่ยังรักษามาตรฐานการควบคุมคุณภาพ (QC) ให้ดีที่สุดได้บ้าง?

ด้วยเครื่องมือ XRF ของเรา เราขอนำเสนอโซลูชันประสิทธิภาพสูงสำหรับการวัดความหนาของชั้น เคลือบและการวิเคราะห์วัสดุของเซมิคอนดักเตอร์ ซิลิคอนและสารประกอบของคุณอย่างแม่นยำ ไม่ว่าคุณจะต้องการระบบวัดอัตโนมัติเต็มรูปแบบหรือเครื่องมือขนาดกะทัดรัดสำหรับตั้งบนโต๊ะ เราพร้อมมอบโซลูชันการวัดที่เหมาะสมให้กับคุณ – รวมถึงสำหรับการใช้งานทางอิเล็กทรอนิกส์!

เพื่อมาตรฐานที่ดีที่สุด ไว้ใจ FISCHER

ผู้นำตลาด
ด้านการวัดที่มีประสิทธิภาพ
ครบครันทั้งระบบอัตโนมัติและกึ่งอัตโนมัติ
– โซลูชันที่ปรับแต่งได้ตามโจทย์การใช้งานของคุณ
ซอฟต์แวร์เหนือระดับ
– ใช้ง่าย ประสิทธิภาพสูง ตอบโจทย์ทุกการทำงาน

เทคโนโลยี Polycapillary Optics ช่วยโฟกัสลำแสง X-Ray ให้มีจุดวัดขนาดเล็กและแม่นยำสูง
ยอดเยี่ยม
บริการระดับมาตรฐานสากลจาก FISCHER พร้อมดูแลทุกความต้องการของคุณอย่างมั่นใจ
อะไหล่แท้มาตรฐาน FISCHER
เพื่อประสิทธิภาพการทำงานที่แม่นยำ ทนทาน และยาวนาน

การประยุกต์ใช้

เทคโนโลยีการวัดของเราได้รับความไว้วางใจจากลูกค้าจำนวนมากในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ทั่วโลก ด้วยความน่าเชื่อถือ ประสิทธิภาพ และที่สำคัญที่สุดคือประสิทธิภาพการวัดที่เหนือชั้นในระดับแถวหน้าของตลาด ทำให้เครื่องมือของเรากลายเป็นสิ่งจำเป็นที่ขาดไม่ได้ เชิญสัมผัสประสบการณ์การใช้งานที่ครอบคลุมตั้งแต่วิธีการรวมชิป (Wafer Packaging) และการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง (Advanced Packaging) ไปจนถึงเซมิคอนดักเตอร์กำลังสูง ( High-power Semiconductors) และการใช้งานอิเล็กทรอนิกส์ต่างๆ ที่โซลูชันของเราพร้อมจะมอบประโยชน์ที่จับต้องได้และวัดผลได้จริง

Lead frames

ในฐานะองค์ประกอบสำคัญในกระบวนการบรรจุภัณฑ์พื้นฐาน lead frame ทำหน้าที่เป็นทั้งโครงสร้างรองรับทางกล (mechanical support) และเป็นทางเชื่อมต่อทางไฟฟ้าระหว่างชิป (die) กับขั้วต่อภายนอกของแพ็กเกจโดยทั่วไป lead frame มักถูกเคลือบด้วยชั้นโลหะหลายชั้นที่มีความซับซ้อน ซึ่งมักประกอบด้วยชั้นทอง (gold) และแพลเลเดียม (palladium) ที่มีความหนาในระดับนาโนเมตร ในขณะที่ชั้นนิกเกิล (nickel) จะมีความหนาประมาณหลายไมโครเมตรโครงสร้างที่มีความละเอียดและซับซ้อน (filigree structure) ของ lead carrier นี้ ทำให้การวัดมีโอกาสเกิดความคลาดเคลื่อนได้สูง และทำให้กระบวนการควบคุมคุณภาพมีความยากมากยิ่งขึ้น ค้นหาวิธีที่คุณสามารถรับมือกับความท้าทายนี้ร่วมกับเราได้อย่างไร!

Landing pads

ในเทคโนโลยีการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ (Semiconductor Packaging) ส่วนนี้ทำหน้าที่เป็นจุดสัมผัสพื้นฐานบนตัวชิป เช่น ใช้สำหรับการเชื่อมต่อสายไฟในกระบวนการ Wire Bonding หรือการติดเม็ดตะกั่ว (Solder Bumps) ในกระบวนการ Flip Chip Packaging เนื่องจากจุดเชื่อมต่อ (Landing Pads) เหล่านี้ทำจากโลหะ เช่น อลูมิเนียม คอปเปอร์ (ทองแดง) หรือนิกเกิล จึงมักจะมีการเคลือบผิวเพื่อการปกป้องหรือการทำ Passivation เพื่อป้องกันการกัดกร่อนและการแพร่กระจายของโลหะ คุณกำลังมองหาโซลูชันการวัดที่รวดเร็วและเชื่อถือได้อยู่ใช่หรือไม่?

BGAs

Ball Grid Array (BGA) เป็นรูปแบบของแพ็กเกจสำหรับวงจรรวม (ICs) และไมโครโปรเซสเซอร์ ที่ใช้สำหรับการติดตั้งบนแผงวงจรพิมพ์ (PCB) BGAs ให้ความหนาแน่นของการเชื่อมต่อที่สูง โดยขั้วต่อจะถูกจัดเรียงในรูปแบบเมทริกซ์ขนาดเล็กของลูกบัดกรี (solder balls) อยู่ด้านล่างของตัวแพ็กเกจค้นพบว่าโซลูชันการวัดขั้นสูงของเราช่วยให้การทดสอบ BGAs รวดเร็วและเชื่อถือได้อย่างไร!

UBM

Under Bump Metallization (UBM) ที่มีคุณภาพสูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของการเชื่อมต่อแบบฟลิปชิป (flip chip connections) โดยทั่วไป UBM จะถูกเคลือบบนแผ่นโลหะ (metal pads) เพื่อช่วยให้เกิดความสามารถในการบัดกรีที่ดีขึ้น (better solderability) และเพิ่มการยึดเกาะของลูกบัดกรี (solder bumps) ในขั้นตอนถัดไปของกระบวนการนอกจากนี้ UBM ยังทำหน้าที่เป็นชั้นกั้น (barrier layer) เพื่อป้องกันการแพร่กระจายของโลหะ (metal diffusion) ซึ่งช่วยเพิ่มความแข็งแรงและความเสถียรของการเชื่อมต่อระหว่างชิปและแพ็กเกจคุณพร้อมหรือยังที่จะค้นพบว่าโซลูชันของเราช่วยสนับสนุนการวัด UBM ของคุณได้อย่างไร?

Solder bumps

ในกระบวนการฟลิปชิป (flip chip) หรือเทคโนโลยีบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง เช่น wafer-level, 2.5D และ 3D packaging จะมีการใช้ลูกบัดกรี (solder bumps), copper pillar bumps และ gold bumps เพื่อเชื่อมต่อชิปเข้ากับซับสเตรต หรือเชื่อมต่อเวเฟอร์บนซับสเตรต (CoWoS) เพื่อให้การทำงานเป็นไปอย่างถูกต้องและคุ้มค่าทางต้นทุน องค์ประกอบของวัสดุที่แม่นยำ—โดยเฉพาะความเข้มข้นของ SnAg—ของบัมพ์แต่ละประเภท รวมถึงความหนาของชั้นเคลือบ (coating thickness) มีบทบาทสำคัญอย่างมากค้นพบโซลูชันการวัดของเราสำหรับความท้าทายนี้!

 

RDLs

Redistribution Layers (RDLs) เป็นองค์ประกอบสำคัญของกระบวนการบรรจุภัณฑ์ระดับเวเฟอร์ (wafer-level packaging: WLP) โดยเฉพาะในเทคโนโลยีขั้นสูง เช่น Wafer-Level Chip Scale Packaging (WLCSP)RDLs ถูกใช้เพื่อ “จัดเรียงตำแหน่งการเชื่อมต่อของชิปใหม่” (redistribute connection positions) เพื่อให้สามารถเข้ากับรูปแบบมาตรฐาน (standardized layout) สำหรับการออกแบบแพ็กเกจที่หลากหลายเนื่องจากเส้นนำไฟฟ้า (conductive tracks) ใน RDL มักทำจากทองแดง (copper) จึงมีการเคลือบชั้นบางของไทเทเนียม (titanium), โครเมียม (chrome) หรือ นิกเกิล (nickel) เพื่อป้องกันการแพร่กระจายของทองแดง (copper diffusion) เข้าไปในวัสดุฉนวน และเพื่อเพิ่มการยึดเกาะ (adhesion) ให้ดียิ่งขึ้น คุณอยากค้นพบว่าโซลูชันการวัดของเราช่วยคุณได้อย่างไรหรือไม่?

Backside metallization

Backside metallization เป็นขั้นตอนกระบวนการที่สำคัญในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์กำลังสูง (high-power semiconductor) และเซนเซอร์ เช่น เซนเซอร์แบบ MEMS โดยการเลือกชั้นวัสดุและลำดับการเรียงชั้นอย่างเหมาะสม จะสามารถปรับ backside metallization ให้สอดคล้องกับความต้องการเฉพาะของชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์แต่ละชนิดได้อย่างเหมาะสม ทั้งในด้านคุณสมบัติทางไฟฟ้า (electrical), ทางกล (mechanical) และทางความร้อน (thermal)คุณกำลังมองหาโซลูชันการวัดเพื่อตรวจสอบ backside metallization ของคุณอยู่หรือไม่?

  • แก้ไขปัญหากับ FISCHER!

      ด้วยเครื่องมือรุ่นตั้งโต๊ะที่เป็นนวัตกรรมของเรา FISCHERSCOPE® XDV® หรือเครื่องมือระดับผู้เชี่ยวชาญที่ได้รับการพิสูจน์แล้ว FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD คุณสามารถวัดความหนาและองค์ประกอบของ backside metallization ได้อย่างแม่นยำ และสามารถควบคุมคุณภาพของกระบวนการเคลือบ (coating process) ได้อย่างมั่นใจนอกจากนี้ เรายังมีโซลูชันที่ปรับแต่งได้ให้เหมาะกับการใช้งานเฉพาะทางของคุณ เช่น wafer chucks สำหรับการวัดชั้นโลหะที่มีความหนามากขึ้น

      การใช้งานหลัก: การวัดความหนาของชั้นเคลือบและการวิเคราะห์วัสดุของระบบหลายชั้นทั่วไป เช่น Ag/Ni/Ti/Al/แผ่นเวเฟอร์

      ดาวน์โหลดโบรชัวร์ของเราสำหรับเซมิคอนดักเตอร์!
      ขอคำปรึกษาเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์!

Spring contacts / Pogo pins

Pogo pins หรือที่เรียกว่า spring-loaded pins คือกลไกการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าที่ถูกติดตั้งบนเวเฟอร์ เพื่อใช้ในการทดสอบเวเฟอร์ด้วยโพรบการ์ด (probe cards) ด้วยวิธีนี้ จะทำการทดสอบคุณสมบัติทางไฟฟ้าของได (dies) แต่ละตัวบนเวเฟอร์ ก่อนที่จะถูกตัดออกเป็นชิป เพื่อให้ได้ผลการทดสอบที่มีความน่าเชื่อถืออย่างสูง ชั้นเคลือบ (functional coatings) ของ pogo pins จะต้องมีคุณภาพดีมาก ซึ่งในส่วนนี้เครื่องมือ XRF ของเรามีบทบาทสำคัญ ค้นพบว่าโซลูชันการวัดขั้นสูงของเราช่วยให้การทดสอบ pogo pins เป็นเรื่องง่ายและแม่นยำได้อย่างไร!

ติดต่อเรา

เรายินดีช่วยเหลือคุณ กรุณาทิ้งรายละเอียดการติดต่อของคุณไว้ แล้วเราจะติดต่อกลับ

 

0 / 2000
Captcha image
Field to save user journey on the website, can be hidden input but textarea can hold more text.
โหลดเพิ่มเติม

โซลูชันของเราสำหรับความท้าทายของคุณ

FISCHERSCOPE® XDV®

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD

อุปกรณ์อเนกประสงค์ระดับไฮเอนด์

เรียนรู้เพิ่มเติม

การใช้งานหลัก

Backside metallization, landing pads, micro pads, RoHS screening

ความท้าทายของคุณ

  • การวัดโลหะผสมที่หลากหลายและวัสดุหลายชั้นที่ซับซ้อน
  • การวัดตัวอย่างขนาดเล็กและขนาดใหญ่
  • การวิเคราะห์ธาตุปริมาณน้อยที่ขีดจำกัดการตรวจจับต่ำมาก

จุดเด่นของผลิตภัณฑ์ของเรา

  • ขนาดคอลลิเมเตอร์ (collimator) หลากหลายสูงสุดถึง 3 มม. และฟิลเตอร์สำหรับการใช้งานที่ครอบคลุม
  • ความแม่นยำสูงสุด และใช้เวลาวัดสั้นลง ด้วยชิ้นส่วนที่ได้รับการปรับให้เหมาะสมและรูปแบบการวัด (measurement geometry) ที่ออกแบบมาอย่างมีประสิทธิภาพ
  • ตั้งโปรแกรมได้ (programmable measuring table) สำหรับการวัดแบบอัตโนมัติ
  • ซอฟต์แวร์ชั้นนำของตลาด พร้อมกระบวนการทำงานที่มีประสิทธิภาพสูง

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ

จุดเล็กที่สุด ความแม่นยำสูงสุด

เรียนรู้เพิ่มเติม

การใช้งานหลัก

Lead frames, thin wires, solder bumps, micro pads, SMD components, pogo pins, BGAs, UBMs, RDLs

ความท้าทายของคุณ

  • การวัดบนโครงสร้างจุลภาค
  • การวัดตัวอย่างแบบแบน & หลายชั้นบางพิเศษ

จุดเด่นของผลิตภัณฑ์ของเรา

  • ตัวเลือกฟิลเตอร์, ตัวตรวจจับ & เลนส์โพลีแคปิลารีหลากหลายรูปแบบ สำหรับจุดวัดขนาดเล็กที่สุดและความแม่นยำสูงสุด
  • ตัวเรือนแบบ C-slot สำหรับการจัดการตัวอย่างแบบแบนขนาดใหญ่ได้ง่าย
  • ซอฟต์แวร์ชั้นนำของตลาดสำหรับงานวัดที่ท้าทาย

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ LD

จุดเล็กที่สุด ระยะวัดใหญ่ที่สุด

เรียนรู้เพิ่มเติม

 

การใช้งานหลัก

Assembled PCBs, connectors, pogo pins

ความท้าทายของคุณ

  • การจัดการกับขนาดตัวอย่างที่แตกต่างกัน & รูปทรงที่ซับซ้อน
  • การวัดตัวอย่างที่มีชุดประกอบอยู่หรือมีระดับที่แตกต่างกัน
  • การวัดบนโครงสร้างจุลภาค
  • การวัดชั้นหลายชั้นที่บางมาก

จุดเด่นของผลิตภัณฑ์ของเรา

  • วัดคุณสมบัติขนาดเล็กที่สุดบนตัวอย่างที่มีรูปร่างซับซ้อนได้ด้วยระบบออปติกโพลีแคปิลลารีขนาด 35 ไมโครเมตรอันเป็นเอกลักษณ์ของเรา ซึ่งให้ระยะวัดที่กว้าง เช่น สำหรับแผ่นเวเฟอร์ที่อาจมีการบิดงอ
  • ตัวเรือนแบบ C-slot สำหรับการจัดการตัวอย่างแบบแบนขนาดใหญ่ได้ง่าย
  • ซอฟต์แวร์ชั้นนำของตลาดสำหรับงานวัดที่ท้าทาย

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER

เทคโนโลยีล้ำสมัยสำหรับการใช้งานเวเฟอร์

เรียนรู้เพิ่มเติม

 

การใช้งานหลัก

Solder bumps, copper pillar bumps, gold bumps, small contact surfaces, micro pads, UBMs, RDLs

ความท้าทายของคุณ

  • การวัดฟิล์มบาง (thin films) และโครงสร้างระดับไมโคร (microstructures) บนเวเฟอร์ที่มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางตั้งแต่ 6 นิ้ว ถึง 12 นิ้ว
  • การจัดการกับเวเฟอร์ที่อาจเกิดการบิดงอ (warpage)
  • การปฏิบัติตามข้อกำหนดของห้องคลีนรูม (cleanroom requirements)

จุดเด่นของผลิตภัณฑ์ของเรา

  • ตัวเลือกตัวตรวจจับและเลนส์โพลีแคปิลลารีหลากหลายรูปแบบ สำหรับความแม่นยำสูงสุดบนชั้นบาง
  • หัวจับเวเฟอร์แบบสุญญากาศหรือการจัดการเวเฟอร์แบบกำหนดเองพร้อมการปรับระดับด้วยกลไก
  • ตัวเลือกการอัตโนมัติที่ครอบคลุมด้วยซอฟต์แวร์ชั้นนำของตลาด

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ตัวเลือกแรกสำหรับการวัดเวเฟอร์แบบอัตโนมัติ

เรียนรู้เพิ่มเติม

การใช้งานหลัก

Solder bumps, copper pillar bumps, gold bumps, small contact surfaces, micro pads, UBMs, RDLs

ความท้าทายของคุณ

  • การทำให้กระบวนการวัดเวเฟอร์เป็นระบบอัตโนมัติ (automation)
  • การจัดการปริมาณงานที่สูง (high throughput)
  • การรับมือกับเวเฟอร์ที่อาจเกิดการบิดงอ (warpage)
  • การปฏิบัติตามข้อกำหนดของห้องคลีนรูม (cleanroom requirements)

จุดเด่นของผลิตภัณฑ์ของเรา

  • ระบบวัดอัตโนมัติเต็มรูปแบบพร้อมระบบFISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFERและระบบจัดการเวเฟอร์อัตโนมัติ
  • ตัวเลือกเครื่องตรวจจับและเลนส์โพลีแคปิลลารีหลากหลายแบบ สำหรับความแม่นยำสูงสุดบนชั้นบาง
  • ซอฟต์แวร์ชั้นนำในตลาดเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพของคุณ

โซลูชันที่เหมาะสมสำหรับการวัดของคุณ

การออกแบบระบบแบบเฉพาะ (customized system construction) ตามความต้องการ ทั้งแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบหรือกึ่งอัตโนมัติ โดยปรับให้เหมาะกับการใช้งานของคุณ เราสามารถดำเนินการขั้นตอนกระบวนการเพิ่มเติมได้ เช่น การทำให้เวเฟอร์แบนทางกล (mechanical flattening of wafers) ด้วยความร่วมมือกับพันธมิตรด้านการบูรณาการในพื้นที่ (local integration partners) เราจึงสามารถหลีกเลี่ยงระยะเวลาการส่งมอบที่ยาวนานได้

เรายังมีเทคนิคการวัดอื่นๆ นอกเหนือจาก XRF อีกด้วย สำหรับข้อมูลเพิ่มเติม กรุณาติดต่อเราโดยตรง