FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI

O produto pode variar com base no modelo ou características

 

Primeira escolha para a medição automatizada de wafer.

Dispositivo especial para medição e análise automatizadas de estruturas mais pequenas, revestimentos muito finos e sistemas multicamadas em wafer com diâmetros até 12 polegadas.

Até 50% ¹ aumentou
desempenho graças ao DPP+
Ótica policapilar
Produzido internamente e constantemente desenvolvido²
Imbatível
relação custo-benefício
¹ ² Mostrar mais
Mostrar menos

Desvio padrão significativamente melhorado e, portanto, capacidade de medição ou tempo de medição significativamente reduzido em comparação com DPP para DPP+.

Ótica policapilar, que está constantemente a ser desenvolvida. Ótica capilar de alta qualidade fabricada pela Fischer - o único fabricante mundial de instrumentos de medição de fluorescência de raios X com produção própria de policapilares.

 

Medição exacta por XRF de microestruturas em bolachas.

O FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI é a solução de medição ideal para a inspeção totalmente automatizada de microestruturas em wafers. O processo automatizado de manuseamento e inspeção de wafers assegura uma eficiência muito elevada e permite um manuseamento e medição de wafers sem erros devido a condições de inspeção consistentes através de um ambiente de inspeção encapsulado. O detetor potente, o tubo microfocal Ultra e a ótica policapilar para os pontos de medição mais pequenos garantem um desempenho de medição excecional.

A solução de automação está disponível como uma solução pré-concebida. Beneficie de um design de hardware e software existente. Em conjunto, modificamos e adaptamos o dispositivo de automatização de acordo com os seus requisitos.

Totalmente automatizado.

Perfeitamente adequado para uso 24/7 e processos de medição suaves

Pormenores inteligentes para uma maior facilidade de utilização.

Monitorização CCTV integrada de todo o processo de manuseamento

Manutenção fácil.

Grandes portinholas de serviço para acesso a componentes individuais

Processador de impulsos digital DPP+.

Tempos de medição mais curtos ou melhoria do desvio padrão*

*em comparação com o DPP

Compatível com salas limpas.

Sem contaminação dos wafers, bem como condições de medição constantes

Programável.

Medições automatizadas em estruturas predefinidas graças à tecnologia avançada de reconhecimento de padrões

As ópticas policapilares mais avançadas do mercado.

As nossas ópticas policapilares, fabricadas internamente, proporcionam excelentes resultados de medição com tempos de medição curtos

  • Características

      DPP+ para maior precisão mesmo com tempos de medição curtos

      Comunicação normalizada SCEE/GEM

      Tubo Microfocus Ultra com ânodo de tungsténio para um desempenho ainda mais elevado nos pontos mais pequenos com µ-XRF

      Detector de deriva de silício de 20 ou 50 mm² para máxima precisão

      Arrefecimento Peltier

      Ótica policapilar para pontos de medição particularmente pequenos de 10 ou 20 µm de meia largura

      Compatível com a entrega por OHT e AGV

      Filtro 4 vezes substituível

      Mesa de medição precisa e programável com mandril de vácuo para wafer

  • Exemplos de aplicação

      Medição da espessura do revestimento e análise elementar de

      • Metalizações de base na gama nanométrica
      • Esferas de solda C4 e mais pequenas
      • Tampas finas de solda sem chumbo em pilares de cobre
      • Áreas de contacto extremamente pequenas e outras aplicações complexas de embalagem 2,5D e 3D
      • Inspeção totalmente automatizada de microestruturas

      Tem outras aplicações? Então entre em contato conosco!

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Brochuras
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI: Automated measurement of wafer microstructures

Fischer Insights.

Método de medição.

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