FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
desempenho graças ao DPP+
Produzido internamente e constantemente desenvolvido²
relação custo-benefício
Desvio padrão significativamente melhorado e, portanto, capacidade de medição ou tempo de medição significativamente reduzido em comparação com DPP para DPP+.
Ótica policapilar, que está constantemente a ser desenvolvida. Ótica capilar de alta qualidade fabricada pela Fischer - o único fabricante mundial de instrumentos de medição de fluorescência de raios X com produção própria de policapilares.
Medição exacta por XRF de microestruturas em bolachas.
O FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI é a solução de medição ideal para a inspeção totalmente automatizada de microestruturas em wafers. O processo automatizado de manuseamento e inspeção de wafers assegura uma eficiência muito elevada e permite um manuseamento e medição de wafers sem erros devido a condições de inspeção consistentes através de um ambiente de inspeção encapsulado. O detetor potente, o tubo microfocal Ultra e a ótica policapilar para os pontos de medição mais pequenos garantem um desempenho de medição excecional.
A solução de automação está disponível como uma solução pré-concebida. Beneficie de um design de hardware e software existente. Em conjunto, modificamos e adaptamos o dispositivo de automatização de acordo com os seus requisitos.
Totalmente automatizado.
Perfeitamente adequado para uso 24/7 e processos de medição suaves
Pormenores inteligentes para uma maior facilidade de utilização.
Monitorização CCTV integrada de todo o processo de manuseamento
Manutenção fácil.
Grandes portinholas de serviço para acesso a componentes individuais
Processador de impulsos digital DPP+.
Tempos de medição mais curtos ou melhoria do desvio padrão*
*em comparação com o DPP
Compatível com salas limpas.
Sem contaminação dos wafers, bem como condições de medição constantes
Programável.
Medições automatizadas em estruturas predefinidas graças à tecnologia avançada de reconhecimento de padrões
As ópticas policapilares mais avançadas do mercado.
As nossas ópticas policapilares, fabricadas internamente, proporcionam excelentes resultados de medição com tempos de medição curtos
Ideal para testar microestruturas graças ao potente detetor de desvios de silício e à ótica policapilar para os pontos de medição mais pequenos.
Com o tubo microfocus Ultra, a intensidade de excitação é significativamente aumentada. Isto garante um desempenho de medição ainda melhor com pontos de medição mais pequenos.
O robot de manuseamento carrega o dispositivo de medição com wafers de 6", 8" e 12".
Acoplamento e carregamento automático de wafers em FOUPs e cassetes normalizadas.
Transmissão, avaliação e exportação de dados de medição em tempo real com o WinFTM®, o software de aplicação mais potente do mercado.
Características
DPP+ para maior precisão mesmo com tempos de medição curtos
Comunicação normalizada SCEE/GEM
Tubo Microfocus Ultra com ânodo de tungsténio para um desempenho ainda mais elevado nos pontos mais pequenos com µ-XRF
Detector de deriva de silício de 20 ou 50 mm² para máxima precisão
Arrefecimento Peltier
Ótica policapilar para pontos de medição particularmente pequenos de 10 ou 20 µm de meia largura
Compatível com a entrega por OHT e AGV
Filtro 4 vezes substituível
Mesa de medição precisa e programável com mandril de vácuo para wafer
Exemplos de aplicação
- Metalizações de base na gama nanométrica
- Esferas de solda C4 e mais pequenas
- Tampas finas de solda sem chumbo em pilares de cobre
- Áreas de contacto extremamente pequenas e outras aplicações complexas de embalagem 2,5D e 3D
- Inspeção totalmente automatizada de microestruturas
Medição da espessura do revestimento e análise elementar de
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