FISCHERSCOPE® X-RAY XDV-µ® WAFER
maior precisão mesmo com curto tempo de medição
com o menos tamanho do ponto 10 µm (FWHM)
para a medição confiável de pequenas estruturas
Até 50 % de aumento do desempenho: Desvio padrão significativamente melhorado e, portanto, capacidade de medição ou tempo de medição significativamente reduzido em comparação com DPP para DPP+.
Ótica capilar de alta qualidade fabricada pela Fischer - o único fabricante mundial de instrumentos de medição por fluorescência de raios X com produção própria de policapilares. Três diferentes policapilares de alta tecnologia disponíveis - a solução certa para cada uma das suas aplicações: 10 µm sem halo, 20 µm sem halo ou 20 µm com halo.
Cumpre todos os requisitos para um controle preciso do wafer.
Devido à mesa de medição programável com mandril de waver do vácuo e tubo de microfoco Ultra, o FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER está adaptado às necessidades da indústria de semicondutores. A ótica policapilar incorporada no dispositivo XRF concentra a radiação de raios X em pontos de medição menores de 10 ou 20 µm para curto tempo de medição com elevada intensidade. Isto permite-lhe analisar microestruturas individuais com muito mais precisão do que com dispositivos convencionais - e de forma completamente automatizada.
Solução totalmente integrada.
XDV®-μ SEMI combinado com o manipulador de wafer de sua escolha
Programável.
Medições automatizadas em estruturas predefinidas graças à tecnologia avançada de reconhecimento de padrões
Enfrentando todos os desafios.
Resultados confiáveis e rápidos para tarefas de medição ambiciosas
Totalmente automatizável.
Deixe o seu instrumento trabalhar para si com apenas um clique
As ópticas policapilares mais avançadas do mercado.
As nossas ópticas policapilares fabricadas internamente proporcionam excelentes resultados de medição em tempos de medição curtos
Processador de impulsos digital DPP+.
Tempos de medição mais curtos ou melhoria do desvio padrão*
*em comparação com o DPP
Equipamento especializado para medição automatizada de películas finas e sistemas multicamadas em wafers com diâmetros de 6 a 12 polegadas.
Com o tubo microfocus Ultra, a intensidade de excitação é significativamente aumentada. Isto garante um desempenho de medição ainda melhor com pontos de medição menores.
A ótica policapilar permite pontos de medição particularmente pequenos de 10 ou 20 µm FWHW e uma resolução local óptima.
Transmissão, avaliação e exportação de dados de medição em tempo real com o WinFTM®, o software de aplicação mais potente do mercado.
Características
Tubo Microfocus Ultra com ânodo de tungsténio para um desempenho ainda mais elevado nos pontos mais pequenos com µ-XRF; ânodo de molibdénio opcional
DPP+ para maior precisão mesmo com tempos de medição curtos
Filtro 4 vezes substituível
As ópticas policapilares fabricadas internamente permitem pontos de medição especialmente pequenos com elevada intensidade
Ponto de medição aprox: Ø 10 ou 20 µm (FWHM)
Altura possível das amostras até 5 mm
Detetor de desvio de silício com 20 ou 50 mm² para maior precisão em camadas finas
Mesa de vácuo com suportes para todos os formatos de bolacha standard de 150 - 300 mm
Amplas opções de automatização com WinFTM®
Exemplos de aplicação
- Medição das estruturas mais pequenas em bolachas até 12 polegadas de diâmetro
- Análise de revestimentos muito finos, como camadas de ouro/paládio até < 10 nm
- Medição automatizada, como no controlo de qualidade
- Determinação de sistemas complexos de multicamadas
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