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Semicondutores

Medição de alta precisão da espessura de revestimentos e análise de materiais de multicamadas ultra-finas e microestruturas.

Os semicondutores impulsionam as tecnologias de hoje e de amanhã. As tecnologias de medição precisas são essenciais para satisfazer as elevadas exigências de qualidade, fiabilidade e eficiência. Em última análise, são a base da inovação e da confiança num mundo conectado.

Com os nossos aparelhos de medição por fluorescência de raios X (XRF) de elevado desempenho e outros métodos de medição avançados, oferecemos-lhe uma vasta gama de soluções não destrutivas e sem contacto para a medição da espessura de revestimentos e análise de materiais. Estas são utilizadas na inspeção em linha e fora de linha de semicondutores de silício e compostos, bem como em várias aplicações electrónicas, tais como PCB, conectores, fios finos ou análise RoHS.

O empacotamento de bolachas é uma tecnologia-chave na indústria de semicondutores que satisfaz as crescentes exigências em termos de miniaturização, preços competitivos, desempenho, integração e eficiência energética. Especialmente quando se trata de tecnologias de alto desempenho, como 5G, IA, condução autónoma, IoT, computação de alto desempenho, AR e VR, computação quântica, sistemas de armazenamento e dispositivos médicos de alta tecnologia, tecnologias avançadas de embalagem e semicondutores de alta potência desempenham um papel importante.

A tecnologia de medição da Fischer apoia-o no controlo de qualidade de estruturas de chumbo, bases de aterragem, BGAs, UBM, soldas, RDLs, metalização da parte traseira e contactos de mola/pinos de pogo. Confie nos dispositivos XRF que oferecem o melhor desempenho de medição do mundo para as suas aplicações de wafer e semicondutores com precisão e eficiência de medição imbatíveis.

Exemplos de aplicação

Quadros de comando

Os suportes de chumbo são componentes essenciais nos processos básicos de embalagem de componentes semicondutores, como os circuitos integrados (CI). Servem de suporte mecânico e de ligação eléctrica entre o molde e as ligações externas de um invólucro e são frequentemente revestidos com complexos revestimentos multicamadas, geralmente constituídos por ouro, paládio ou níquel, cada um com apenas alguns nanómetros de espessura. É precisamente a natureza filigrana deste suporte de chumbo que torna as medições propensas a erros e complica o controlo de qualidade.
Sistema multicamada comum: Au/Pd/NiP/CuFe
Os nossos dispositivos XRF policapilares são perfeitamente adequados para medir a espessura do revestimento em estruturas muito pequenas, tais como os condutores individuais de quadros de chumbo.


Plataformas de aterragem

Nas tecnologias de embalagem de semicondutores, servem como pontos de contacto básicos numa pastilha, por exemplo, para fixar fios durante a ligação de fios ou para soldar saliências durante a embalagem de pastilhas. Uma vez que as almofadas de aterragem são feitas de metais como o alumínio, o cobre ou o níquel, são normalmente fornecidas com revestimentos de proteção ou passivação para evitar a corrosão e a difusão do metal.
Sistema multicamada comum: Au/Pd/NiP/Cu/substrato de wafer
Os nossos dispositivos XRF são utilizados com êxito para medir de forma fiável as espessuras de revestimento das bases de aterragem e a sua composição material.


BGAs

As matrizes de grelha de esferas (BGA) são um tipo de invólucro para circuitos integrados e microprocessadores utilizados para montagem em placas de circuito impresso. Oferecem uma elevada densidade de ligações, que são dispostas como uma matriz microscópica de esferas de solda por baixo do invólucro.
Composições de materiais comuns: SnPb, SnAgCu
Meça a composição do material das suas ligas BGA, incluindo o seu estado sem chumbo, de forma rápida e fácil com os nossos dispositivos XRF e descubra o que significa a inspeção de qualidade de alta precisão!


UBM

A metalização de alta qualidade sob os ressaltos (UBM) é crucial para o desempenho e a fiabilidade das ligações dos chips flip. É normalmente aplicada às almofadas metálicas para garantir uma melhor soldabilidade e adesão dos pontos de soldadura mais tarde no processo. Além disso, o UBM forma uma camada de barreira contra a difusão de metal, melhorando assim a ligação entre o chip e a embalagem.
Os nossos instrumentos XRF são a solução ideal para a medição fiável da espessura de revestimentos e para a análise de materiais de sistemas multicamadas extremamente finos e complexos, como Au/Ni/Ti/substrato de almofada metálica/wafer, Au/Ni/Cu/Ti/substrato de almofada metálica/wafer ou Pd/Ni/Cu/substrato de almofada metálica/wafer.


Soldas

Nos processos de empacotamento de flip chips ou avançados, tais como as tecnologias de empacotamento ao nível do wafer, 2,5D e 3D, são utilizados ressaltos de solda, ressaltos de pilar de cobre e ressaltos de ouro para ligar os chips ao substrato ou aos wafers num substrato (CoWoS). Para uma funcionalidade adequada e por razões de custo, a composição exacta do material, especialmente a concentração de SnAg, dos diferentes tipos de solavancos, bem como a espessura do revestimento, desempenham um papel importante.
Com os nossos instrumentos XRF topo de gama, pode medir com precisão a composição do material e a altura dos ressaltos de solda ou dos ressaltos de pilares de cobre, por exemplo, ligas de SnAg ou SnAg/Cu com Ag entre 1 % e 3 %. Para além disso, pode medir a espessura do revestimento de saliências de ouro, por exemplo, Au/Ni/Cu/UBM/almofada de metal/substrato de wafer.


RDLs

As camadas de redistribuição (RDLs) são componentes críticos do empacotamento em nível de wafer (WLP), especialmente em tecnologias avançadas como o Wafer-Level Chip Scale Packaging (WLCSP). São utilizados para redistribuir as posições de ligação de um chip de modo a que se ajustem a uma disposição normalizada para diferentes designs de embalagem. Uma vez que as pistas condutoras nos RDLs são maioritariamente feitas de cobre, são também aplicadas camadas finas de titânio, crómio ou níquel para evitar a difusão do cobre nos materiais isolantes e para conseguir uma melhor adesão.
Revestimento comum: Ti/Cu
Os nossos dispositivos XRF são utilizados para analisar a composição do material e para medir a espessura do revestimento dos RDL.


Metalização da parte traseira

A metalização da face posterior é uma etapa fundamental do processo de fabrico de semicondutores e sensores de alta potência, por exemplo, sensores MEMS. Ao selecionar cuidadosamente as camadas e a sua sequência de combinação, a metalização da face posterior pode ser adaptada de forma óptima aos requisitos específicos do respetivo componente semicondutor em termos de propriedades eléctricas, mecânicas e térmicas.
Sistema multicamada comum: Ag/Ni/Ti/Al/substrato do wafer
Com os nossos aparelhos XRF, pode medir com precisão a espessura e a composição das metalizações do backside e garantir a qualidade do seu processo de revestimento. Perfeitamente adequados à sua tarefa de medição e adaptados às suas necessidades, também oferecemos soluções personalizadas, por exemplo, os nossos mandris de wafer para medir camadas de metal mais espessas.


Contactos de mola / Pogo pins

Os pinos de pogo, ou pinos com mola, são mecanismos de ligação eléctrica colocados em bolachas para testes de bolachas utilizando cartões de sonda. Desta forma, as propriedades eléctricas das matrizes individuais de uma bolacha são testadas antes de serem cortadas em chips.
Revestimento comum: ligas Au/Ni/Cu
Para obter resultados absolutamente fiáveis neste processo de teste, os revestimentos funcionais dos pinos de pogo têm de ser de alta qualidade. É aqui que os nossos dispositivos XRF entram em ação.

Explore as nossas Notas de Aplicação - desbloqueie agora conhecimentos mais profundos!

Quadros de comando
Plataformas de aterragem
BGAs
UBM
Soldas
RDLs
Metalização da parte traseira
Pinos Pogo
Geral

Oferecemos consultas pessoais para satisfazer as suas necessidades específicas. Contacte-nos a qualquer momento para discutir a sua aplicação. Juntos encontraremos a solução de medição perfeita para si!

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