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Alta Repetibilidade, Precisão e Veracidade de Medições de Revestimento Au / Pd em Estruturas de Chumbo

À medida que a indústria eletrônica usa revestimentos cada vez mais finos, os fabricantes aumentam suas demandas em tecnologias de medição para fornecer parâmetros confiáveis para monitoramento e controle de produtos. O sistema de revestimento Au/Pd/Ni é freqüentemente usado na galvanoplastia de estruturas de chumbo, com CuFe2 (CDA 195) como material de substrato. As espessuras de revestimento típicas estão entre 3-10 nm Au e 10-100 nm Pd. Para monitorar a qualidade desses sistemas de revestimento, os instrumentos de fluorescência de raios X se estabeleceram como o método de medição de escolha.

Uma série de testes comparativos empregando outros métodos de medição física foi usada para determinar as capacidades dos instrumentos de fluorescência de raios-X dentro dos intervalos mencionados. As amostras foram medidas com o método de fluorescência de raios-X usando o modelo FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD, retroespalhamento de Rutherford e raio-X absoluto baseado em radiação síncrotron.

Para espessuras de revestimento de Au de cerca de 4, 6 e 9 nm, os resultados dos instrumentos de fluorescência de raios-X foram todos entre os outros dois métodos, com desvios na faixa subnm, confirmando não só a baixa dispersão, mas também a veracidade das medições usando instrumentos de fluorescência de raios-X. A rastreabilidade dos resultados da medição é garantida pelo uso dos padrões de calibração FISCHER desenvolvidos especificamente para esta aplicação de medição. O manuseio simples de instrumentos de fluorescência de raios-X também permite a fácil digitalização de uma amostra para determinar a homogeneidade da espessura do revestimento, se necessário (ver Fig. 2).

A combinação da tecnologia de detecção de última geração e o poderoso software de análise WinFTM® permite medições confiáveis e precisas de espessuras de revestimento, mesmo em faixas abaixo de 10 nm. Para uso em estruturas de chumbo, os instrumentos FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD são recomendados para amostras de tamanho relativamente normal; para estruturas muito pequenas, o modelo XDV®-µ, com sua ótica especial de raios-X, garante um ponto de medição muito pequeno de apenas 20 µm na amostra.

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