X-RAY XDV-µ SEMI

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ SEMI to zautomatyzowany system pomiarowy dla branży półprzewodnikowej zoptymalizowany pod kątem kontroli jakości mikrostruktur w zastosowaniach wykorzystujących upakowanie 2,5D/3D. Pełna automatyzacja analizy zapobiega uszkodzeniu cennych płytek krzemowych. Stałość warunków badania gwarantuje wiarygodność wyników. Przyrząd może być użytkowany w pomieszczeniach czystych, a bogata oferta osprzętu ułatwia integrację z istniejącymi liniami do produkcji płytek krzemowych.

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI

Właściwości:

  • W pełni zautomatyzowane obsługa płytek i przebieg badań ułatwiają wdrożenie personelu
  • Umożliwia precyzyjny pomiar struktur o średnicy do 10 µm
  • Wykorzystuje funkcję rozpoznawania obrazu do automatycznej lokalizacji miejsc, w których wykonany ma zostać pomiar
  • Łatwa obsługa za pomocą oprogramowania Fischer WinFTM
  • Możliwość ręcznego wykonania pojedynczych pomiarów w dowolnym momencie
  • Elastyczność: stacja dokująca na kapsuły FOUP i SMIF oraz kasety na 6-calowe, 8-calowe i 12-calowe płytki krzemowe

Zastosowania:

Pomiar grubości powłoki

  • Podkontaktowe warstwy metaliczne (UBM) z dokładnością do nanometra
  • Cienkie bezołowiowe kontakty podwyższone na podstawach miedzianych
  • Bardzo małe powierzchnie kontaktów i inne skomplikowane struktury do zastosowań wykorzystujących upakowanie 2,5D/3D

Analiza materiałowa

  • Kontakty podwyższone C4 mniejsze
  • Bezołowiowe kontakty podwyższone na podstawach miedzianych

Kontakt z FISCHER

Contact

ITA spółka z ograniczoną odpowiedzialnością sp.k.
ul. Poznańska 104, Skórzewo
Poznań/Polska
Tel.: + 48 61 222 58 00
E-mail: info@ita-polska.com.pl
Formularz kontaktu online