FISCHERSCOPE® X-RAY XDV-µ® WAFER
precisie, zelfs met korte meettijden
met kleinste spotgrootte 10 µm (FWHM)
voor betrouwbaar meten van kleine structuren
1 Tot 50% betere prestaties: Aanzienlijk verbeterde standaarddeviatie en dus meetcapaciteit of aanzienlijk kortere meettijd in vergelijking van DPP naar DPP+.
² Hoogwaardige capillaire optiek gemaakt door Fischer - 's werelds enige fabrikant van röntgenfluorescentiemeetinstrumenten met een eigen productie van polycapillairen. Er zijn drie verschillende high-end polycapillairen beschikbaar - de juiste oplossing voor elk van uw toepassingen: 10 µm halo-vrij, 20 µm halo-vrij of 20 µm halo.
Voldoet aan alle vereisten voor nauwkeurige wafercontrole.
Dankzij de programmeerbare meettafel met vacuüm waferhouder en microfocus buis Ultra is de FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER optimaal afgestemd op de behoeften van de halfgeleiderindustrie. Polycapillaire optiek, ingebouwd in het XRF-apparaat, concentreert de röntgenstraling op de kleinste meetpunten van 10 of 20 µm voor korte meettijden bij hoge intensiteit. Hierdoor kunt u afzonderlijke microstructuren veel nauwkeuriger analyseren dan met conventionele apparaten - en volledig geautomatiseerd.
Volledig geïntegreerde oplossing.
XDV®-μ SEMI gecombineerd met wafer handler naar keuze
Nauwkeurig en precies.
Positionering van het meetpunt op kleine structuren dankzij automatische beeldherkenning
Voldoet aan alle uitdagingen.
Betrouwbare en snelle resultaten voor ambitieuze meettaken
Volledig automatiseerbaar.
Laat je instrument voor je werken met slechts één klik
Meest geavanceerde polycapillaire optiek op de markt.
Onze in eigen huis geproduceerde polycapillaire optiek levert uitstekende meetresultaten bij korte meettijden.
DPP+ digitale puls processor.
Kortere meettijden of verbetering van de standaardafwijking*.
*in vergelijking met de DPP
Kenmerken
Microfocusbuis Ultra met wolfraamanode voor nog betere prestaties op de kleinste spots met µ-XRF; molybdeenanode optioneel
DPP+ voor de hoogste precisie, zelfs bij korte meettijden
4-voudig verwisselbaar filter
Eigen gefabriceerde polycapillaire optiek maakt bijzonder kleine meetpunten met hoge intensiteit mogelijk
Meetspot ca: Ø 10 of 20 µm (FWHM)
Tot 5 mm mogelijke hoogte van monsters
Silicium driftdetector met 20 of 50 mm² voor de hoogste precisie op dunne lagen
Vacuümtafel met houders voor alle standaard waferformaten van 150 - 300 mm
Uitgebreide mogelijkheden voor automatisering met WinFTM®
Toepassingsvoorbeelden
- Meten van kleinste structuren op wafers tot 12 inch diameter
- Analyse van zeer dunne coatings, zoals goud/palladium lagen tot < 10 nm
- Geautomatiseerde metingen zoals in kwaliteitscontrole
- Bepaling van complexe meerlagensystemen
Hebt u nog meer toepassingen? Neem dan contact met ons op!