FISCHERSCOPE® X-RAY XDV-µ® WAFER

Product kan variëren op basis van model of functies

 

Geavanceerde technologie voor wafertoepassingen.

Speciale apparatuur voor geautomatiseerde metingen van dunne films en meerlagensystemen op wafers met diameters van 6 - 12 inch.

Fischer DPP+ ¹ voor hoogste
precisie, zelfs met korte meettijden
Polycapillaire optiek intern geproduceerd²
met kleinste spotgrootte 10 µm (FWHM)
Automatische beeldherkenning
voor betrouwbaar meten van kleine structuren
¹ ² Meer tonen
Minder tonen

1 Tot 50% betere prestaties: Aanzienlijk verbeterde standaarddeviatie en dus meetcapaciteit of aanzienlijk kortere meettijd in vergelijking van DPP naar DPP+.

² Hoogwaardige capillaire optiek gemaakt door Fischer - 's werelds enige fabrikant van röntgenfluorescentiemeetinstrumenten met een eigen productie van polycapillairen. Er zijn drie verschillende high-end polycapillairen beschikbaar - de juiste oplossing voor elk van uw toepassingen: 10 µm halo-vrij, 20 µm halo-vrij of 20 µm halo.

Voldoet aan alle vereisten voor nauwkeurige wafercontrole.

Dankzij de programmeerbare meettafel met vacuüm waferhouder en microfocus buis Ultra is de FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER optimaal afgestemd op de behoeften van de halfgeleiderindustrie. Polycapillaire optiek, ingebouwd in het XRF-apparaat, concentreert de röntgenstraling op de kleinste meetpunten van 10 of 20 µm voor korte meettijden bij hoge intensiteit. Hierdoor kunt u afzonderlijke microstructuren veel nauwkeuriger analyseren dan met conventionele apparaten - en volledig geautomatiseerd.

Volledig geïntegreerde oplossing.

XDV®-μ SEMI gecombineerd met wafer handler naar keuze

Nauwkeurig en precies.

Positionering van het meetpunt op kleine structuren dankzij automatische beeldherkenning

Voldoet aan alle uitdagingen.

Betrouwbare en snelle resultaten voor ambitieuze meettaken

Volledig automatiseerbaar.

Laat je instrument voor je werken met slechts één klik

Meest geavanceerde polycapillaire optiek op de markt.

Onze in eigen huis geproduceerde polycapillaire optiek levert uitstekende meetresultaten bij korte meettijden.

DPP+ digitale puls processor.

Kortere meettijden of verbetering van de standaardafwijking*.

*in vergelijking met de DPP

  • Kenmerken

      Microfocusbuis Ultra met wolfraamanode voor nog betere prestaties op de kleinste spots met µ-XRF; molybdeenanode optioneel

      DPP+ voor de hoogste precisie, zelfs bij korte meettijden

      4-voudig verwisselbaar filter

      Eigen gefabriceerde polycapillaire optiek maakt bijzonder kleine meetpunten met hoge intensiteit mogelijk

      Meetspot ca: Ø 10 of 20 µm (FWHM)

      Tot 5 mm mogelijke hoogte van monsters

      Silicium driftdetector met 20 of 50 mm² voor de hoogste precisie op dunne lagen

      Vacuümtafel met houders voor alle standaard waferformaten van 150 - 300 mm

      Uitgebreide mogelijkheden voor automatisering met WinFTM®

  • Toepassingsvoorbeelden

      • Meten van kleinste structuren op wafers tot 12 inch diameter
      • Analyse van zeer dunne coatings, zoals goud/palladium lagen tot < 10 nm
      • Geautomatiseerde metingen zoals in kwaliteitscontrole
      • Bepaling van complexe meerlagensystemen

      Hebt u nog meer toepassingen? Neem dan contact met ons op!

Toepassingsadviezen
Lesmateriaal
Webinars
Brochures
FISCHERSCOPE® X-RAY: Calibration of X-ray measuring instruments
FISCHERSCOPE® X-RAY tutorial: Stability test
FISCHERSCOPE® X-RAY tutorial part 1: Export / Import products in WinFTM®
FISCHERSCOPE® X-RAY tutorial part 2: Export / Import products in WinFTM®
Setting up measurement equipment monitoring
Smaller, faster and more precise: Polycapillary optics for challenging applications
Report documentation

Fischer Inzichten.

Meetmethode.

Leer en ontdek hoe röntgenfluorescentieanalyse werkt.

Meer informatie
Diensten.

Wij bieden je alles wat je nodig hebt voor betrouwbare meetresultaten.

Meer informatie
Waarom Fischer.

Ervaar veel goede redenen die voor ons als bedrijf spreken.

Meer informatie

Ontdek meer producten.