Jump to the content of the page

Het geautomatiseerde XRF-systeem voor het inspecteren van wafermicrostructuren

Ontworpen voor kwaliteitscontrole in de halfgeleiderindustrie meet de FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI nauwkeurig microstructuren op wafers – volledig automatisch. De hele automatiseringsunit is omsloten en daardoor perfect geschikt voor gebruik in cleanrooms. FOUP- en SMIF-pods kunnen automatisch aan het meetsysteem worden gekoppeld. De handling en meting in de XDV-μ SEMI gebeuren volledig zonder handmatige tussenkomst. Dankzij patroonherkenning lokaliseert de X-RAY de opgegeven meetposities nauwkeurig en betrouwbaar. Dit automatische meetproces sluit schade en verontreiniging door handmatige handling uit en zorgt voor hoge doorvoersnelheden voor het inspecteren van waardevolle wafers.

Functies

  • Volledig geautomatiseerde waferhandling en -testen verhogen de efficiëntie
  • XRF-systeem met een uitstekende detectorgevoeligheid en een hoge resolutie
  • XRF-systeem met polycapillaire optiek van de wereldwijde technologieleider voor het meten van microspots 
  • Test nauwkeurig structuren met een diameter tot 10 μm
  • Automatische patroonherkenning geeft de te meten posities aan
  • Meerdere bedieningsmodi; handmatige meting mogelijk wanneer dat nodig is
  • Flexibel: dockingstation voor FOUP, SMIF en cassette, voor 6", 8" en 12" wafers

Toepassingen

Laagte diktemeting

  • Basismetallisatielagen (UBM) op nanometerschaal
  • Thin loodvrije soldeerdoppen op koperpijlers
  • Uiterlichte kleine contactoppervlakken en andere complexe 2.5D / 3D-verpakkingstoepassingen

Materiaalanalyse

  • C4 en kleinere soldeerbulten
  • Leervrije soldeerdoppen op koperen pilaren

Downloads

Jump to the top of the page