FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI

Product kan variëren op basis van model of functies

 

Eerste keuze voor geautomatiseerd meten van wafers.

Speciaal apparaat voor geautomatiseerd meten en analyseren van kleinste structuren, zeer dunne coatings en meerlagige systemen op wafers met diameters tot 12 inch.

Tot 50% ¹ toegenomen
prestaties dankzij DPP+
Polycapillaire optiek
Zelf geproduceerd en voortdurend verder ontwikkeld²
Onverslaanbaar
kosten-batenverhouding
¹ ² Meer tonen
Minder tonen

¹ Aanzienlijk verbeterde standaarddeviatie en dus meetcapaciteit of aanzienlijk kortere meettijd in vergelijking van DPP naar DPP+.

² Polycapillaire optiek, die voortdurend verder wordt ontwikkeld. Hoogwaardige capillaire optiek gemaakt door Fischer - 's werelds enige fabrikant van röntgenfluorescentiemeetinstrumenten met een eigen polycapillaire productie.

Nauwkeurige XRF-meting van microstructuren op wafers.

De FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI is de optimale meetoplossing voor volledig geautomatiseerde inspectie van microstructuren op wafers. Het geautomatiseerde wafer handling- en inspectieproces zorgt voor een zeer hoge efficiëntie en maakt foutloze handling en meting van wafers mogelijk dankzij consistente inspectiecondities door een ingekapselde inspectieomgeving. De krachtige detector, microfocus tube Ultra en polycapillaire optiek voor de kleinste meetpunten garanderen uitstekende meetprestaties.

De automatiseringsoplossing is beschikbaar als een kant-en-klare oplossing. Profiteer van een bestaand hardware- en softwareontwerp. Samen modificeren en passen we het automatiseringsapparaat aan volgens uw vereisten.

Volledig geautomatiseerd.

Ontwikkeld als zelfloper voor een programmeerbaar, soepel meetproces

Slimme details voor gebruiksvriendelijkheid.

Geïntegreerde CCTV-bewaking van het volledige verwerkingsproces

Eenvoudig onderhoud.

Grote serviceluiken voor toegang tot afzonderlijke componenten

DPP+ digitale puls processor.

Kortere meettijden of verbetering van de standaardafwijking*.

*in vergelijking met de DPP

Geschikt voor cleanrooms.

Geen vervuiling van de wafers en constante meetomstandigheden.

Programmeerbaar.

Automatische herkenning en benadering van de meetpunten

Meest geavanceerde polycapillaire optiek op de markt.

Onze in eigen huis gefabriceerde polycapillaire optiek levert uitstekende meetresultaten met korte meettijden.

  • Kenmerken

      DPP+ voor de hoogste precisie, zelfs bij korte meettijden

      Gestandaardiseerde SECS/GEM-communicatie

      Microfocusbuis Ultra met wolfraamanode voor nog betere prestaties op de kleinste spots met µ-XRF

      Siliciumdriftdetector 50 mm² voor de hoogste precisie

      Peltierkoeling

      Polycapillaire optiek voor bijzonder kleine meetpunten met een halve breedte van 10 of 20 µm

      Compatibel met levering door OHT en AGV

      4-voudig verwisselbaar filter

      Nauwkeurige, programmeerbare meettafel met vacuüm waferhouder

  • Toepassingsvoorbeelden

      Laagdiktemeting en elementaire analyse van

      • Basismetallisaties in het nanometerbereik
      • C4 en kleinere soldeerbolletjes
      • Dunne loodvrije soldeerkapjes op koperen pilaren
      • Extreem kleine contactgebieden en andere complexe 2,5D- en 3D-verpakkingstoepassingen
      • Volledig geautomatiseerde inspectie van microstructuren

      Hebt u nog andere toepassingen? Neem dan contact met ons op!

Productvideo's
Brochures
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI: Automated measurement of wafer microstructures

Fischer Inzichten.

Meetmethode.

Leer en ontdek hoe röntgenfluorescentieanalyse werkt.

Meer informatie
Diensten.

Wij bieden je alles wat je nodig hebt voor betrouwbare meetresultaten.

Meer informatie
Waarom Fischer.

Ervaar veel goede redenen die voor ons als bedrijf spreken.

Meer informatie

Ontdek meer producten.