FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
prestaties dankzij DPP+
Zelf geproduceerd en voortdurend verder ontwikkeld²
kosten-batenverhouding
¹ Aanzienlijk verbeterde standaarddeviatie en dus meetcapaciteit of aanzienlijk kortere meettijd in vergelijking van DPP naar DPP+.
² Polycapillaire optiek, die voortdurend verder wordt ontwikkeld. Hoogwaardige capillaire optiek gemaakt door Fischer - 's werelds enige fabrikant van röntgenfluorescentiemeetinstrumenten met een eigen polycapillaire productie.
Nauwkeurige XRF-meting van microstructuren op wafers.
De FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI is de optimale meetoplossing voor volledig geautomatiseerde inspectie van microstructuren op wafers. Het geautomatiseerde wafer handling- en inspectieproces zorgt voor een zeer hoge efficiëntie en maakt foutloze handling en meting van wafers mogelijk dankzij consistente inspectiecondities door een ingekapselde inspectieomgeving. De krachtige detector, microfocus tube Ultra en polycapillaire optiek voor de kleinste meetpunten garanderen uitstekende meetprestaties.
De automatiseringsoplossing is beschikbaar als een kant-en-klare oplossing. Profiteer van een bestaand hardware- en softwareontwerp. Samen modificeren en passen we het automatiseringsapparaat aan volgens uw vereisten.
Volledig geautomatiseerd.
Ontwikkeld als zelfloper voor een programmeerbaar, soepel meetproces
Slimme details voor gebruiksvriendelijkheid.
Geïntegreerde CCTV-bewaking van het volledige verwerkingsproces
Eenvoudig onderhoud.
Grote serviceluiken voor toegang tot afzonderlijke componenten
DPP+ digitale puls processor.
Kortere meettijden of verbetering van de standaardafwijking*.
*in vergelijking met de DPP
Geschikt voor cleanrooms.
Geen vervuiling van de wafers en constante meetomstandigheden.
Programmeerbaar.
Automatische herkenning en benadering van de meetpunten
Meest geavanceerde polycapillaire optiek op de markt.
Onze in eigen huis gefabriceerde polycapillaire optiek levert uitstekende meetresultaten met korte meettijden.
Kenmerken
DPP+ voor de hoogste precisie, zelfs bij korte meettijden
Gestandaardiseerde SECS/GEM-communicatie
Microfocusbuis Ultra met wolfraamanode voor nog betere prestaties op de kleinste spots met µ-XRF
Siliciumdriftdetector 50 mm² voor de hoogste precisie
Peltierkoeling
Polycapillaire optiek voor bijzonder kleine meetpunten met een halve breedte van 10 of 20 µm
Compatibel met levering door OHT en AGV
4-voudig verwisselbaar filter
Nauwkeurige, programmeerbare meettafel met vacuüm waferhouder
Toepassingsvoorbeelden
- Basismetallisaties in het nanometerbereik
- C4 en kleinere soldeerbolletjes
- Dunne loodvrije soldeerkapjes op koperen pilaren
- Extreem kleine contactgebieden en andere complexe 2,5D- en 3D-verpakkingstoepassingen
- Volledig geautomatiseerde inspectie van microstructuren
Laagdiktemeting en elementaire analyse van
Hebt u nog andere toepassingen? Neem dan contact met ons op!