Jump to the content of the page

Hoge herhaalbaarheid Precisie en juistheid van Au/Pd Coating Metingen op Leadframes

Naarmate de elektronica-industrie gebruik maakt van steeds dunnere coatings, stellen fabrikanten steeds hogere eisen aan de meettechnologie om betrouwbare parameters voor productbewaking en -controle te kunnen bieden. Het coatingsysteem Au/Pd/Ni wordt vaak gebruikt bij het galvaniseren van loodframes, met CuFe2 (CDA 195) als substraatmateriaal. Typische coatingdiktes liggen tussen 3-10 nm Au en 10-100 nm Pd. Voor het monitoren van de kwaliteit van deze coatingsystemen hebben röntgenfluorescentie-instrumenten zich gevestigd als de meetmethode bij uitstek.

Er is een serie vergelijkende tests met andere fysieke meetmethoden gebruikt om de mogelijkheden van röntgenfluorescentie-instrumenten binnen de genoemde bereiken te bepalen. Monsters werden gemeten met de röntgenfluorescentiemethode met behulp van het FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD model, Rutherford backscatter en absolute, op synchrotronstraling gebaseerde röntgenstraal.

Voor Au coating diktes van ongeveer 4, 6 en 9 nm, waren de resultaten van de röntgenfluorescentie-instrumenten allemaal tussen de twee andere methoden, met afwijkingen in het subnm-bereik, wat niet alleen de lage verstrooiing bevestigt, maar ook de juistheid van de metingen met behulp van röntgenfluorescentie-instrumenten. De traceerbaarheid van de meetresultaten wordt gegarandeerd door gebruik te maken van de FISCHER kalibratiestandaarden die speciaal voor deze meetapplicatie zijn ontwikkeld. De eenvoudige hantering van röntgenfluorescentie-instrumenten maakt het ook mogelijk om eenvoudig een preparaat te scannen om de homogeniteit van de coatingdikte te bepalen, indien nodig (zie Fig. 2).

De combinatie van state-of-the-art detectortechnologie en de krachtige analysesoftware, WinFTM®, maakt betrouwbare, nauwkeurige metingen van coatingdiktes mogelijk, zelfs in bereiken onder 10 nm. Voor gebruik op loodframes worden de FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDDD instrumenten aanbevolen voor preparaten van relatief normale grootte; voor zeer kleine structuren zorgt het XDV®-µ model, met zijn speciale röntgenoptiek, voor een zeer kleine meetplek van slechts 20 µm op het preparaat.

Jump to the top of the page