Naarmate de elektronica-industrie gebruik maakt van steeds dunnere coatings, stellen fabrikanten steeds hogere eisen aan de meettechnologie om betrouwbare parameters voor productbewaking en -controle te kunnen bieden. Het coatingsysteem Au/Pd/Ni wordt vaak gebruikt bij het galvaniseren van loodframes, met CuFe2 (CDA 195) als substraatmateriaal. Typische coatingdiktes liggen tussen 3-10 nm Au en 10-100 nm Pd. Voor het monitoren van de kwaliteit van deze coatingsystemen hebben rรถntgenfluorescentie-instrumenten zich gevestigd als de meetmethode bij uitstek.
Er is een serie vergelijkende tests met andere fysieke meetmethoden gebruikt om de mogelijkheden van rรถntgenfluorescentie-instrumenten binnen de genoemde bereiken te bepalen. Monsters werden gemeten met de rรถntgenfluorescentiemethode met behulp van het FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD model, Rutherford backscatter en absolute, op synchrotronstraling gebaseerde rรถntgenstraal.
Voor Au coating diktes van ongeveer 4, 6 en 9 nm, waren de resultaten van de rรถntgenfluorescentie-instrumenten allemaal tussen de twee andere methoden, met afwijkingen in het subnm-bereik, wat niet alleen de lage verstrooiing bevestigt, maar ook de juistheid van de metingen met behulp van rรถntgenfluorescentie-instrumenten. De traceerbaarheid van de meetresultaten wordt gegarandeerd door gebruik te maken van de FISCHER kalibratiestandaarden die speciaal voor deze meetapplicatie zijn ontwikkeld. De eenvoudige hantering van rรถntgenfluorescentie-instrumenten maakt het ook mogelijk om eenvoudig een preparaat te scannen om de homogeniteit van de coatingdikte te bepalen, indien nodig (zie Fig. 2).
De combinatie van state-of-the-art detectortechnologie en de krachtige analysesoftware, WinFTMยฎ, maakt betrouwbare, nauwkeurige metingen van coatingdiktes mogelijk, zelfs in bereiken onder 10 nm. Voor gebruik op loodframes worden de FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-SDDD instrumenten aanbevolen voor preparaten van relatief normale grootte; voor zeer kleine structuren zorgt het XDVยฎ-ยต model, met zijn speciale rรถntgenoptiek, voor een zeer kleine meetplek van slechts 20 ยตm op het preparaat.