Naarmate de elektronica-industrie gebruik maakt van steeds dunnere coatings, stellen fabrikanten steeds hogere eisen aan de meettechnologie om betrouwbare parameters voor de productbewaking te kunnen bieden. Een voorbeeld hiervan is het Au/Pd/Ni/Cu/printed circuit board systeem met coatingdiktes voor Au en Pd van slechts enkele nm. Voor de bewaking van de kwaliteit van deze coatingsystemen hebben rรถntgenfluorescentie-instrumenten zich gevestigd als de meetmethode bij uitstek.
| 50 nm Au | 24 nm Pd | |||
| Detektortype | Standaard afwijking | Coรซfficiรซnt van variatie | Standaard afwijking | Coรซfficiรซnt van variatie |
| Proportionele tellerbuis (0,2 mm Diafragma) | 2,2 nm | 4,3 % | 3 nm | 13 % |
| PIN-detector (1 mm Diafragma) | 0,9 nm | 1,8 % | 1,2 nm | 4,8 % |
| SDD-detector (1 mm Diafragma) | 0,2 nm | 0,4 % | 0,5 nm | 2,1 % |
De verwerking van het fluorescentiesignaal dat door het substraatmateriaal wordt gegenereerd is ook belangrijker bij dunnere coatings. Hoewel een algemene aftrekking van het achtergrondsignaal de herhaalbaarheidsnauwkeurigheid verbetert, kan het ook fouten in de resultaten introduceren. De evaluatiesoftware WinFTMยฎ laat daarom expliciet toe om bij elke meting rekening te houden met de samenstelling van het dragermateriaal.
Uw lokale contactpersoon voor FISCHER producten helpt u graag bij het selecteren van een geschikt rรถntgenfluorescentie-instrument voor het meten van Au/Pd-coatings op printplaten - FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDLยฎ met proportionele tegenbuis, XDALยฎ met PIN-detector of XDVยฎ- SDD met SDD-detector.