Jump to the content of the page

Naarmate de elektronica-industrie gebruik maakt van steeds dunnere coatings, stellen fabrikanten steeds hogere eisen aan de meettechnologie om betrouwbare parameters voor de productbewaking te kunnen bieden. Een voorbeeld hiervan is het Au/Pd/Ni/Cu/printed circuit board systeem met coatingdiktes voor Au en Pd van slechts enkele nm. Voor de bewaking van de kwaliteit van deze coatingsystemen hebben röntgenfluorescentie-instrumenten zich gevestigd als de meetmethode bij uitstek.

Hoe dunner de coatings, hoe belangrijker het wordt om een geschikte detector te selecteren. Tabel 1 toont een vergelijking van de resultaten van FISCHERSCOPE® X-RAY instrumenten die zijn uitgerust met respectievelijk een proportionele tellerbuis, een PIN-diode en een silicium drift detector (SDD).

Verschillende soorten detectoren en de bijbehorende haalbare standaardafwijkingen en variatiecoëfficiënten.
 
50 nm Au

24 nm Pd
   

Detektortype

Standaard
afwijking

Coëfficiënt
van variatie

Standaard
afwijking

Coëfficiënt
van variatie

Proportionele
tellerbuis
(0,2 mm Diafragma)

2,2 nm

4,3 %

3 nm

13 %

PIN-detector
(1 mm Diafragma)

0,9 nm

1,8 %

1,2 nm

4,8 %

SDD-detector
(1 mm Diafragma)

0,2 nm

0,4 %

0,5 nm

2,1 %

Zoals geïllustreerd in tabel 1 hierboven, maakt de significant superieure herhaalbaarheidsnauwkeurigheid van de SDD het mogelijk om zelfs zeer dunne Au en Pd coatings betrouwbaar te meten.

De juistheid is ook beter voor instrumenten met SDD omdat de hoge energieresolutie van het bruikbare signaal minder gevoelig is voor beïnvloeding vanuit de achtergrond of aangrenzende fluorescentielijnen.

De verwerking van het fluorescentiesignaal dat door het substraatmateriaal wordt gegenereerd is ook belangrijker bij dunnere coatings. Hoewel een algemene aftrekking van het achtergrondsignaal de herhaalbaarheidsnauwkeurigheid verbetert, kan het ook fouten in de resultaten introduceren. De evaluatiesoftware WinFTM® laat daarom expliciet toe om bij elke meting rekening te houden met de samenstelling van het dragermateriaal.

Uw lokale contactpersoon voor FISCHER producten helpt u graag bij het selecteren van een geschikt röntgenfluorescentie-instrument voor het meten van Au/Pd-coatings op printplaten - FISCHERSCOPE® X-RAY XDL® met proportionele tegenbuis, XDAL® met PIN-detector of XDV®- SDD met SDD-detector.

Jump to the top of the page