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PVD ์ฝ”ํŒ… ๊ณต๊ตฌ์˜ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜

Precise Coating Thickness Measurement on PVD-coated Tools | XRF Analysis

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PVD ์ฝ”ํŒ…์€ ์ง„๊ณต๋กœ์—์„œ ๊ณต์ž‘๋ฌผ ํ‘œ๋ฉด์— ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์œผ๋กœ ๋ฟŒ๋ ค์ง‘๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋ฅผ ์œ„ํ•ด ๋„๊ตฌ๋ฅผ ์ฑ”๋ฒ„์— ์กฐ์‹ฌ์Šค๋Ÿฝ๊ฒŒ ์Œ“์€ ๋‹ค์Œ ๋น„์šฐ๊ณ  ๊ฐ€์—ดํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋‹ค์Œ์œผ๋กœ ์ „์ฒด ์„ค์ •์— ์ด์˜จ (์˜ˆ : ํ‹ฐํƒ€๋Š„ ๋˜๋Š” ํฌ๋กฌ)์ด ์Ÿ์•„์ง‘๋‹ˆ๋‹ค. TiN, CrN, TiCN ๋“ฑ๊ณผ ๊ฐ™์€ ์งˆ์†Œ ์ธต๊ณผ ๊ฐ™์€ ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์ถ”๊ฐ€ํ•˜๋ฉด ๊ณต๊ตฌ์— ๊ท ์ผํ•˜๊ฒŒ ์ฆ์ฐฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํผ๋‹ˆ์Šค ๋‚ด์˜ ์ •๊ตํ•œ ๊ณต์ž‘๋ฌผ ํ™€๋”๋Š” ๋ ˆ์ด์–ด๊ฐ€ ๋„๊ตฌ์˜ ์ „์ฒด ํ‘œ๋ฉด์— ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ํ•œ ๊ณ ๋ฅด๊ฒŒ ์ฆ์ฐฉ๋˜๋„๋กํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

์ง„๊ณต, ์˜จ๋„, ์ด์˜จ ๋น” ๊ฐ•๋„ ๋ฐ ์ง€์† ์‹œ๊ฐ„๊ณผ ๊ฐ™์€ ํŠน์ • ๊ณต์ • ๋งค๊ฐœ ๋ณ€์ˆ˜๋Š” ์ธต ์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ •์„ ๊ฒฐ์ •ํ•˜๊ณ  ํ•„์š”ํ•œ ๋‘๊ป˜๋ฅผ ์ƒ์„ฑํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋ชจ๋“  ์œ ํ˜•์˜ ์ฝ”ํŒ…๊ณผ ๋งˆ์ฐฌ๊ฐ€์ง€๋กœ PVD ๊ณต์ •๋„ ๋ฉด๋ฐ€ํžˆ ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋งํ•˜๊ณ  PVD ์ฆ์ฐฉ ์ธต์˜ ๋‘๊ป˜๋ฅผ ์ธก์ •ํ•ด์•ผํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํ‘œ์ค€ ํŒŒ๊ดด ํ…Œ์ŠคํŠธ ๋ฐฉ๋ฒ•๊ณผ ํ•จ๊ป˜ ๋น„ํŒŒ๊ดด X ์„  ํ˜•๊ด‘ ๋ฐฉ๋ฒ• (XRF)์€ ์ด๋Ÿฌํ•œ ๋ชฉ์ ์— ๋Œ€ํ•ด ํญ๋„“๊ฒŒ ์ˆ˜์šฉ๋˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ฒฌ๊ณ ํ•œ ์„ค๊ณ„ ๊ฐœ๋…์˜ FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDLM์€ ๋งˆ์ดํฌ๋กœ ์ดˆ์  ํŠœ๋ธŒ์˜ ๊ณ ๊ฐ•๋„ ๋น”๊ณผ ์ž‘์€ ์กฐ๋ฆฌ๊ฐœ ๋ฐ ํฐ ๊ฒ€์ถœ๊ธฐ ์ฐฝ์„ ๊ฒฐํ•ฉํ•˜๋ฏ€๋กœ ์ด๋Ÿฌํ•œ ์š”๊ตฌ ์‚ฌํ•ญ์— ์ตœ์ ํ™”๋˜์–ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ์žฅ์น˜์˜ ๋‘๋“œ๋Ÿฌ์ง„ ์žฅ์ ์€ ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™์Šต๋‹ˆ๋‹ค. </ p>

  • ์ƒ˜ํ”Œ์— ์†์ƒ์ด ์—†๋Š” ๋น„ํŒŒ๊ดด ์ธก์ •
  •  ๋น ๋ฅธ ์ธก์ • ์‹œ๊ฐ„
  • ์ตœ์†Œํ•œ์˜ ์ธก์ • ๋ฉด์ : 100 ยตm

์ด ๋ชฉ์ ์„์œ„ํ•œ ๊ณ„์ธก๊ธฐ์˜ ์ „๋ฌธํ™”๋Š” ๋งค์šฐ ๊ณ ๊ธ‰ ๋„๊ตฌ์˜ ๊ฐ€์žฅ ๋ฏธ์„ธํ•œ ์ ˆ์‚ญ ๋‚ ์—์„œ๋„ ๋ ˆ์ด์–ด ๋‘๊ป˜๋ฅผ ์ •ํ™•ํ•˜๊ฒŒ ์ธก์ • ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ์„ ์˜๋ฏธํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ ๋™์ผํ•œ ๊ธฐ๊ธฐ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ๊ธฐ๋ณธ ๋„๊ตฌ์˜ ์ •ํ™•ํ•œ ๊ธˆ์† ๊ตฌ์„ฑ์„ ๊ฒฐ์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ƒˆ๋กœ์šด ์ฝ”ํŒ…์ด ์ ์šฉ๋˜๊ธฐ ์ „์— ์˜ค๋ž˜๋œ ์ฝ”ํŒ…์ด ํ™”ํ•™์ ์œผ๋กœ ์ œ๊ฑฐ ๋  ๋•Œ ์ฝ”๋ฐœํŠธ ์นจ์ถœ์„ ๊ฒฐ์ •ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

FISCHERSCOPE X-RAY XDLM์—์„œ ์ธก์ • ์‹œ๊ฐ„ 10 ์ดˆ, ์ฝœ๋ฆฌ๋ฉ”์ดํ„ฐ 0.1mm๋กœ ์ธก์ • ํ•œ HSS ๊ณต๊ตฌ๊ฐ•์˜ TiN ์ฝ”ํŒ…์˜ ์˜ˆ.

HSS ๊ณต๊ตฌ์˜ TiN ์ฝ”ํŒ…

์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜

๋‹จ์ผ ์ธก์ • ํŒ๋… ๊ฐ’

3.53
 
3.62
 
3.53
 
3.48
 
3.62
 
3.54
 
3.60
 
3.49
 
3.56
 
3.61

ํ‰๊ท  (10 ํšŒ ์ธก์ •)

3.56 ยตm

ํ‘œ์ค€ ํŽธ์ฐจ

0.05 ยตm

๊ณ„์ˆ˜ f ๋ณ€๋™

1.47 %

๋„๊ตฌ์˜ ํ•˜๋“œ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜๋ฅผ ๊ฒฐ์ •ํ•˜๊ณ  PVD ์ฝ”ํŒ… ๊ณต์ •์˜ ํ’ˆ์งˆ ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋ง์„ ์œ„ํ•ด FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDLM์ด ์ตœ์ ์˜ ์ธก์ • ์‹œ์Šคํ…œ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ž์„ธํ•œ ๋‚ด์šฉ์€ ์ง€์—ญ FISCHER ๋‹ด๋‹น์ž์—๊ฒŒ ๋ฌธ์˜ํ•˜์‹ญ์‹œ์˜ค. </ strong>

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