진공, 온도, 이온 빔 강도 및 지속 시간과 같은 특정 공정 매개 변수는 층 증착 공정을 결정하고 필요한 두께를 생성합니다. 모든 유형의 코팅과 마찬가지로 PVD 공정도 면밀히 모니터링하고 PVD 증착 층의 두께를 측정해야합니다. 표준 파괴 테스트 방법과 함께 비파괴 X 선 형광 방법 (XRF)은 이러한 목적에 대해 폭넓게 수용되고 있습니다. 견고한 설계 개념의 FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM은 마이크로 초점 튜브의 고강도 빔과 작은 조리개 및 큰 검출기 창을 결합하므로 이러한 요구 사항에 최적화되어 있습니다. 이 장치의 두드러진 장점은 다음과 같습니다. </ p>
- 샘플에 손상이 없는 비파괴 측정
- 빠른 측정 시간
- 최소한의 측정 면적: 100 µm
이 목적을위한 계측기의 전문화는 매우 고급 도구의 가장 미세한 절삭 날에서도 레이어 두께를 정확하게 측정 할 수 있음을 의미합니다. 또한 동일한 기기를 사용하여 기본 도구의 정확한 금속 구성을 결정할 수 있습니다. 새로운 코팅이 적용되기 전에 오래된 코팅이 화학적으로 제거 될 때 코발트 침출을 결정합니다.