์ด ์ ํ์ ํด๋ฆฌ ๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ์ X-ray์ ์ด์ ์ ๋ง์ถ ์ ์๊ฒํฉ๋๋ค. ์ ํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ ๋ฐ๋ผ, ๊ดํ๊ณ์ ํน์ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๊ฐ ์ต์ ํ ๋ ์์๋ค. ์ํ ํ๋ฉด์์ ์์ ์คํ ํฌ๊ธฐ ๋๋ ๋์ ๊ฐ๋์ ๋๋ฌ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๊ดํ ์ถ๊ตฌ์ ์๋ฃ ํ๋ฉด ์ฌ์ด์ ์์ ๊ฑฐ๋ฆฌ๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๋ฉด ๋ ํฐ ์คํ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ๋ฐ์ํฉ๋๋ค.
| ํด๋ฆฌ์บํ๋ฌ๋ฆฌ ๋ํ ๋ ์ฆ ํด๋ฆฌ์บํ๋ฌ๋ฆฌ ๋ฏธ๋ ๋ ์ฆ ํด๋ฆฌ์บํ๋ฌ๋ฆฌ ๋ง์ดํฌ๋ก ๋ ์ฆ |
|---|
| ์์ค-์ ๊ตฌ ๊ฑฐ๋ฆฌ f1 [mm]> 40> 40> 30 |
| ๊ธธ์ด L [mm] 150-300 50-300 40-60 |
| ์ข ๋ฃ-์ด์ ๊ฑฐ๋ฆฌ f2 [mm]> 40> 10 5-25 |
| ์ ๊ตฌ ํฌ๊ธฐ Din [mm]> 5> 4> 2 |
| ์ต๋ ํฌ๊ธฐ Dmax [mm] |
| ์ถ๊ตฌ ํฌ๊ธฐ Dout [mm]> 5> 2> 1 |
| ํฌ์ฐฉ ๊ฐ๋ ฮฆ [rad] 0.05-0.2 0.04-0.15 0.05-0.1 |
| ์๋์ง ๋ฒ์ [keV] 1-30 3-30 3-30 |
| ์ต์ ์ ์์ค ํฌ๊ธฐ [ยตm]> 50 30-1000 30-50 |
| ์ด์ ํฌ๊ธฐ [ยตm]> 200 30-600 10-100 |
| ๊ฐ๋ ๊ฒ์ธ 500-4000 1500-20000 1000-7000 |
| ์ ํ๋ฆฌ์ผ์ด์ XRF, XRD ยตXRF, ยตXRD, ยตXPS ๋ฐ iMOXS-SEM ยตXRF, ยตXRD ๋ฐ ยตXPS |
