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FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ SEMI

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ SEMI

웨이퍼 미세 구조 검사를 위한 자동화 된 XRF 시스템

반도체 산업의 품질 관리를 위해 설계된 FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI는 웨이퍼의 미세 구조를 정확하게 자동 측정합니다. 전체 자동화 장비가 동봉되어 있으므로 클린 룸에서 사용하기에 적합합니다. FOUP 및 SMIF 포드는 자동으로 측정 시스템에 도킹 할 수 있습니다. XDV-μ SEMI 내부의 취급 및 측정은 전적으로 수동 개입 없이 이루어집니다. 패턴 인식 덕분에 X-RAY는 지정된 측정 위치를 정확하고 안정적으로 찾습니다. 이 자동 측정 프로세스는 수동 처리로 인한 손상과 오염을 방지하고 귀중한 웨이퍼를 검사하기위한 높은 처리 속도를 보장합니다.

특징

애플리케이션

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