
FISCHERSCOPE X-RAY XDV-ยต SERIES

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-ยต
ํน์ง
- ๊ฐ์ฅ ์์ ๊ตฌ์กฐ์ 0.1 ยตm ๋ฏธ๋ง์ ๊ฐ์ฅ ์์ ์ฝํ ์ ๋ํ ์ ํํ ์ฝํ ๋๊ป ์ธก์ ๋ฐ ์ฌ๋ฃ ๋ถ์์ ์ํ ๊ฐ๋ ฅํ ํ๋ฆฌ๋ฏธ์ ๋ชจ๋ธ
- ํ ์คํ ์๊ทน์ด ์๋ ๋ง์ดํฌ๋กํฌ์ปค์ค ํ๋ธ; ์ ํ ๋ชฐ๋ฆฌ๋ธ๋ด ๋๋
- 4์ค ํํฐ ๊ต์ฒด ๊ฐ๋ฅ
- ๋ฐ๋ง์ ๋ํ ์ต๊ณ ์ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ์ํ 20mmยฒ ๋๋ 50mmยฒ ๋ฉด์ ์ ๋งค์ฐ ๊ฐ๋ ฅํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋๋ฆฌํํธ ๊ฐ์ง๊ธฐ
- ๋์ ๊ฐ๋๋ก ์งง์ ์ธก์ ์๊ฐ์ 10ฮผm FWHM๊น์ง์ ๊ฐ์ฅ ์์ ์ธก์ ์ง์ ์ ์ํด ์์ฒด ์ ์๋ ๋ค๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ ์ฅ์น
- ๋ ๋์ ์นด์ดํธ ์๋, ์ธก์ ์๊ฐ ๊ฐ์ ๋๋ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋ ๋์ ๋ฐ๋ณต์ฑ์ ์ํ ๋์งํธ ํ์ค ํ๋ก์ธ์ DPP+
- Al(13) ~ U(92) ์์ ๋ถ์, ํฌ๋ฅจ ํผ์ง ๊ฐ๋ฅ, ์ต๋ 24๊ฐ ์์ ๋์ ์ธก์
- ๊ฐ์ฅ ์ ํํ ์ํ ํฌ์ง์ ๋ ๋ฐ ์๋ ํจํด ์ธ์์ ์ํ ํฌ์ง์ ๋ ์ ํ๋๊ฐ 5 ยตm ๋ฏธ๋ง์ธ ๊ณ ์ ๋ฐ, ํ๋ก๊ทธ๋๋ฐ ๊ฐ๋ฅํ XY ์คํ ์ด์ง, ์ต๊ณ ์ ๋ฐ๋ณต ์ ๋ฐ๋
์ผ๋ฐ์ ์ธ ์์ฉ ๋ถ์ผ
- ์ธ์ ํ๋ก ๊ธฐํ, ์ ์ ๋๋ ๋ฆฌ๋ ํ๋ ์๊ณผ ๊ฐ์ ๋งค์ฐ ์์ ํ๋ฉด ๊ตฌ์ฑ ์์ ๋ฐ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ํ ์ธก์
- ์ ์ ๋ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ๊ธฐ๋ฅ์ฑ ์ฝํ ์ธก์
- ๋งค์ฐ ์์ ์ฝํ (์: โค 0.1 ยตm์ ๊ธ/ํ๋ผ๋ ์ฝํ ) ๋ถ์
- ๋ณต์กํ ๋ค์ค ์ฝํ ์์คํ ์ ์ธก์
- ์๋ํ๋ ์ธก์ , e. g. ํ์ง ๊ด๋ฆฌ์์
- ๊ฐ๋ฒผ์ด ์์์ ์ธก์ , e. g. ๊ธ ๋ฐ ํ๋ผ๋์์ ์ธ ํจ๋(ENIG/ENEPIG) ์ธก์
FISCHERSCOPEยฎ XDVยฎ-ฮผ ๋ ์ ๋ฐํ ์ธต ๋๊ป ์ธก์ ๋ฐ ๊ฐ์ฅ ์์ ๊ตฌ์กฐ์ ์ฌ๋ฃ ๋ถ์์ ์ํด ๊ฐ๋ฐ๋ Fischer์ ๊ณ ๊ธ X์ ํ๊ด(XRF) ์๋ฆฌ์ฆ์
๋๋ค. ๋ชจ๋ ์ฅ์น์๋ X์ ๋น์ 10ฮผm FWHM์ ์ง์ค์ํค๋ ๋ค๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ ์ฅ์น๊ฐ ์ฅ์ฐฉ๋์ด ์์ต๋๋ค. ๋ค๋ชจ์ธ๊ด ๋ฐ ๋์งํธ ํ์ค ํ๋ก์ธ์ DPP+์ ์กฐํฉ์ ๋ฐ์ด๋ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ ๊ณตํ๊ณ ๋์ ๊ณ์์จ๊ณผ ๋ ๋์ ํ์ค ํธ์ฐจ ๋๋ ๋ ์งง์ ์ธก์ ์๊ฐ์ ๋ณด์ฅํฉ๋๋ค. ๋ํ ๋ค์ํ ํํฐ์ ์ ์ ๋ฐ ์ ๋ฅ ์ค์ ์ ํตํด ์ต๋ 24๊ฐ์ ์์๊ฐ ์๋ ๋ณต์กํ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ๊ฐ์ฅ ์ ํฉํ ์ฌ๊ธฐ ์กฐ๊ฑด์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
๋ชจ๋ Fischer XRF ๊ธฐ๊ธฐ์๋ ์์ฅ์์ ๊ฐ์ฅ ๋ค์ฌ๋ค๋ฅํ ์ํํธ์จ์ด์ธ ์
์ฆ๋ WinFTM ์ํํธ์จ์ด๊ฐ ํจ๊ป ์ ๊ณต๋ฉ๋๋ค. ๋ง์ ์ฐ์
๋ฐ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ์ ํฉํ๋ฉฐ ์๋ ํจํด ์ธ์, ๊ฐ์ด๋ ๊ต์ ํ๋ก์ธ์ค ๋๋ ์์ ํ ์ฌ์ฉ์ ์ ์ ๊ฐ๋ฅํ ๋ณด๊ณ ์์ ๊ฐ์ ๊ด๋ฒ์ํ ๊ธฐ๋ฅ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
์ ์ ์ฐ์ ์ ์ต์ ํ: ์๋ก์ด ์ฐจ์์์ ENIG ๋ฐ ENEPIG ์ธก์
๋์งํธ ํ์ค ํ๋ก์ธ์ DPP+๊ฐ ํ์ฌ๋ ์๋ก์ด FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-ฮผ๋ ์ฑ๋ฅ์ด ํฌ๊ฒ ํฅ์๋์ด ๋ฌด์ ํด ๋์ผ/ํํ ๊ธ(ENIG) ๋๋ ๋ฌด์ ํด ๋์ผ/ํํ ํ๋ผ๋/ํํ ๊ธ(ENEPIG) ์ฝํ ์ ์ธก์ ํ๊ธฐ ์ํ ์ต์ ์ ์๋ฃจ์ ์ ๋๋ค.
PCB? ์จ์ดํผ? ๋ฆฌ๋ ํ๋ ์? ํน์ ์์ฉ ๋ถ์ผ๋ฅผ ์ํ Fischer XRF ๊ธฐ๊ธฐ
FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-ฮผ ์ธ์๋ Fischer์ XDV-ฮผ ์๋ฆฌ์ฆ์๋ ์ ์ ๋ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ํน์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ๋ง๊ฒ ์กฐ์ ๋ ํน์ XRF ๊ธฐ๊ธฐ๊ฐ ํฌํจ๋์ด ์์ต๋๋ค.
- ์กฐ๋ฆฝ๋ ์ธ์ ํ๋ก ๊ธฐํ์ ์ธก์ ์ ์ํ FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-ฮผ LD
- ์๋ํ๋ ์จ์ดํผ ์ฒ์ด ์๋ FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-ฮผ WAFER
- ๋ฆฌ๋ ํ๋ ์์ ์ฝํ ์ธก์ ์ ์ํ FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-ฮผ LEAD FRAME
XRF ์ฅ๋น์ ๋ํด ๋ ์๊ณ ์ถ์ผ์ญ๋๊น? ์ง๊ธ ์ํ์ ๋ณด๋ด๊ฑฐ๋ FISCHERSCOPE X-RAY XDV-ฮผ ์๋ฆฌ์ฆ์ ๋ฌด๋ฃ ๋ฐ๋ชจ๋ฅผ ์ฃผ์ ํ์ญ์์ค.
FISCHERSCOPE X-RAY XDV-ฮผ LD
FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-ยต LD๋ ์ปค๋ฅํฐ ๋ฐ ์ ์ ์ ํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ ์ํ ์ ๊ณ ์ต๊ณ ์ XRF ๊ธฐ๊ธฐ์ ๋๋ค. ๊ณ ์ ํ 12mm ์ธก์ ๊ฑฐ๋ฆฌ๋ 140mm ๋์ด์ ์กฐ๋ฆฝ๋ PCB์ ๊ฐ์ ๋ณต์กํ ๋ชจ์์ ํ ์คํธ ๋ถํ์ ์ธก์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ฐ์ด๋ ์์ ์ฑ๊ณผ ๋์ ๊ฐ๋๋ก ๊ฐ์ฅ ์์ ์ธก์ ํฌ์ธํธ๋ฅผ ๊ตฌํํฉ๋๋ค. ๋๋ฉด์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋๋ฆฌํํธ ๊ฒ์ถ๊ธฐ, ์ฅ๊ฑฐ๋ฆฌ ๊ณ ์ฑ๋ฅ ๋ชจ์ธ๊ด ๋ฐ ํ์ค์ผ๋ก ํตํฉ๋ ๋์งํธ ํ์ค ํ๋ก์ธ์ DPP+๋ ๋์ ๊ณ์์จ๊ณผ ์งง์ ์ธก์ ์๊ฐ์ผ๋ก ์ ํํ๊ณ ๋ฐ๋ณต ๊ฐ๋ฅํ ์ธก์ ์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค.
ํน์ง
- 12mm์ ๋๊ธ ์ต๋ ์ธก์ ๊ฑฐ๋ฆฌ
- ์ต๋ 14cm์ ์ํ ๋์ด
- ํ ์คํ ์๊ทน์ด ์๋ ๋ง์ดํฌ๋กํฌ์ปค์ค ํ๋ธ; ์ ํ ๋ชฐ๋ฆฌ๋ธ๋ด ์๊ทน
- 4์ค ํํฐ ๊ต์ฒด ๊ฐ๋ฅ
- ๋ฐ๋ง์ ๋ํ ์ต๊ณ ์ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ์ํ 50mmยฒ ๋ฉด์ ์ ๋งค์ฐ ๊ฐ๋ ฅํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋๋ฆฌํํธ ๊ฐ์ง๊ธฐ
- ์ต์ ์ธก์ ํฌ์ธํธ 60ฮผm FWHM์ ์ํด ์์ฒด ์ ์๋ ๋ค๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ ์ฅ์น, ๊ณ ๊ฐ๋๋ก ์งง์ ์ธก์ ์๊ฐ์
- ๋ ๋์ ์นด์ดํธ ์๋, ์ธก์ ์๊ฐ ๊ฐ์ ๋๋ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋ ๋์ ๋ฐ๋ณต์ฑ์ ์ํ ๋์งํธ ํ์ค ํ๋ก์ธ์ DPP+
- S(16)์์ U(92)๊น์ง ์์ ๋ถ์, ํฌ๋ฅจ ํผ์ง ๊ฐ๋ฅ, ์ต๋ 24๊ฐ ์์ ๋์ ์ธก์
- ๊ฐ์ฅ ์ ํํ ์ํ ํฌ์ง์ ๋ ๋ฐ ์๋ ํจํด ์ธ์์ ์ํ ํฌ์ง์ ๋ ์ ํ๋๊ฐ 5 ยตm ๋ฏธ๋ง์ธ ๊ณ ์ ๋ฐ, ํ๋ก๊ทธ๋๋ฐ ๊ฐ๋ฅํ XY ์คํ ์ด์ง, ์ต๊ณ ์ ๋ฐ๋ณต ์ ๋ฐ๋
์ผ๋ฐ์ ์ธ ์์ฉ ๋ถ์ผ
- ์กฐ๋ฆฝ๋ PCB, ์ปค๋ฅํฐ, ๋ณธ๋ ํ๋ฉด, SMD ๊ตฌ์ฑ ์์ ๋๋ ์์ ์์ด์ด์ ๊ฐ์ ๊ฐ์ฅ ์์ ๊ตฌ์ฑ ์์ ๋ฐ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ํ ์ธก์
- ์ ์ ๋ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ๊ธฐ๋ฅ์ฑ ์ฝํ ์ธก์
- ํ์ง ๊ด๋ฆฌ์์์ ์๋ํ๋ ์ธก์
- ๋ณต์กํ ๋ค์ค ์ฝํ ์์คํ ์ ์ธก์
FISCHERSCOPE X-RAY XDV-ฮผ WAFER
์จ์ดํผ๋ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ธก์ ๊ธฐ์ ์ ๋ํ ๊ฐ์ฅ ๋์ ์๊ตฌ ์ฌํญ์ ์๊ตฌํฉ๋๋ค. ์ฒซ์งธ, ํ๋ฉด์ด ๋งค์ฐ ๋ฏผ๊ฐํฉ๋๋ค. ๋์งธ, ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๋๋ฌด ์์ ํน์ ์ฅ์น๋ง ๋ถ์ํ ์ ์์ต๋๋ค. FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-ยต WAFER๋ ์ง๊ณต ์จ์ดํผ ์ฒ์ด ์๋ ํ๋ก๊ทธ๋๋ฐ ๊ฐ๋ฅํ ์ธก์ ํ
์ด๋ธ๋ก ์ธํด ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์
์ ์ํด ํน๋ณํ ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค.
XRF ์ฅ์น์ ํตํฉ๋ ๋ค๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ ์ฅ์น๋ X์ ์ ๊ณ ๊ฐ๋๋ก ์งง์ ์ธก์ ์๊ฐ์ 10 ๋๋ 20 ยตm์ ๊ฐ์ฅ ์์ ์ธก์ ์ง์ ์ ์ง์ค์ํต๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ XDV-ยต WAFER๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ฉด ๊ธฐ์กด ์ฅ์น๋ณด๋ค ํจ์ฌ ๋ ์ ๋ฐํ๊ฒ ๊ฐ๋ณ ๋ฏธ์ธ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ถ์ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ฌผ๋ก ์ด๊ฒ์ ์์ ํ ์๋์ผ๋ก ์ํ๋ ์ ์์ต๋๋ค.
ํน์ง
- ์ง๊ฒฝ 6~12์ธ์น ๋ฒ์์ ์จ์ดํผ์์ ์์ ์ธต ๋ฐ ๋ค์ธต ์์คํ ์ ์๋ ์ธก์ ์ ์ํ ํน์ ๊ธฐ๊ธฐ
- ๋ชฐ๋ฆฌ๋ธ๋ด ์๊ทน, ํ ์คํ ์๊ทน ์ต์ ์ด ์๋ Microfocus ํ๋ธ
- 4์ค ํํฐ ๊ต์ฒด ๊ฐ๋ฅ
- Polycapillary optics๋ 10 ๋๋ 20 ยตm FWHM์ ํนํ ์์ ์ธก์ ์ง์ ๊ณผ ์ต์ ์ ๋ก์ปฌ ๋ถํด๋ฅ์ ํ์ฉํฉ๋๋ค.
- ์์ ์ธต์์ ์ต๋ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ์ํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋๋ฆฌํํธ ๊ฐ์ง๊ธฐ 20mmยฒ ๋๋ 50mmยฒ
- ์์ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ ๋ํ ์๋ ์ธก์ ์ ์ํ ์ง๊ณต ์จ์ดํผ ์ฒ์ด ์๋ ์ ๋ฐํ๊ณ ํ๋ก๊ทธ๋๋ฐ ๊ฐ๋ฅํ ์ธก์ ์คํ ์ด์ง
์ผ๋ฐ์ ์ธ ์์ฉ ๋ถ์ผ
- ์ ์ ๋ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ์จ์ดํผ ๊ตฌ์กฐ ์ธก์ , ์จ์ดํผ ์ง๊ฒฝ 6~12์ธ์น
- ๋งค์ฐ ์์ ์ฝํ ๋ถ์, e. g. โค 0.1 ยตm์ ๊ธ/ํ๋ผ๋ ์ฝํ
- ์๋ํ๋ ์ธก์ , e. g. ํ์ง ๊ด๋ฆฌ์์
- ๋ณต์กํ ๋ค์ค ์ฝํ ์์คํ ์ ๊ฒฐ์
FISCHERSCOPE X-RAY XDV-ฮผ LEAD FRAME
FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-ยต LEAD FRAME์ ์ฌ์ฉํ๋ฉด ๋งค์ฐ ํํํ ๋ฏธ์ธ ์ ๊ธฐ ๋ถํ์์ ๋๋ ธ๋ฏธํฐ ๋ฒ์์ ๋ฐ๋ง ๋ฐ ๋ค์ธต ์์คํ ์ ์ ๋ฐํ๊ฒ ํ ์คํธํ ์ ์์ต๋๋ค. XDV-ยต LEAD FRAME์๋ ๋ณ๊ฒฝ ๊ฐ๋ฅํ ๊ธฐ๋ณธ ํํฐ์ ์ ์๋์ง์ฉ์ผ๋ก ์ค๊ณ๋ ๋ค๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ ์ฅ์น๊ฐ ์์ต๋๋ค. ์ต์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋๋ฆฌํํธ ๊ฒ์ถ๊ธฐ(SDD)๋ ๋งค์ฐ ์์ ์ธต์ ์ธก์ ํ ๋ ๊ทธ ์ฅ์ ์ ๋ฐํํฉ๋๋ค. ์ด๋ ๊ฐ ์ธก์ ์ ์ด์์ ์ธ ์กฐ๊ฑด์ ๋ง๋ญ๋๋ค.
ํน์ง
- ๋ฆฌ๋ ํ๋ ์์ ๋งค์ฐ ์์ ๊ตฌ์กฐ ์ธก์ ์ ์ํ ํน์ ๊ธฐ๊ธฐ
- ํฌ๋กฌ ์๊ทน์ด ์๋ ๊ณ ์ถ๋ ฅ ํ๋ธ Polycapillary optics๋ 50 ยตm FWHM์ ์์ ์ธก์ ์ง์ ์ ํ์ฉํฉ๋๋ค.
- 4์ค ํํฐ ๊ต์ฒด ๊ฐ๋ฅ
- ๊ณ ์ฑ๋ฅ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋๋ฆฌํํธ ๊ฐ์ง๊ธฐ(SDD)
- ํฌ๋ฅจ ํ๋ฌ์๋ฅผ ํตํด ๋ํธ๋ฅจ์์ ์์ํ๋ ๋งค์ฐ ๊ฐ๋ฒผ์ด ์์๋ ์ธก์ ๊ฐ๋ฅ
- ์๋ ์ธก์ ์ ์ํ ํ์์ ๊ธฐ๋ฅ ๋ฐ ์ ๊ธฐ ๊ตฌ๋ Z์ถ์ด ์๋ ๋น ๋ฅด๊ณ ํ๋ก๊ทธ๋๋ฐ ๊ฐ๋ฅํ XY ์คํ ์ด์ง
- ๊ณ ํด์๋ CCD ์ปฌ๋ฌ ์นด๋ฉ๋ผ, ๋๊ธ์ด ๋ณด์ ๋ ์ญ์ํ, ์ ํํ ์ํ ๋ฐฐ์น๋ฅผ ์ํ ์กฐ์ ๊ฐ๋ฅํ LED ์กฐ๋ช ๋ฐ ๋ ์ด์ ํฌ์ธํฐ(ํด๋์ค 1)
์ผ๋ฐ์ ์ธ ์์ฉ ๋ถ์ผ
- ์ ๋ ๊ฒฝ๋ก, ์ ์ ๋๋ ๋ฆฌ๋ ํ๋ ์๊ณผ ๊ฐ์ ๋งค์ฐ ์์ ํ๋ฉด ๊ตฌ์ฑ ์์ ๋ฐ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ํ ์ธก์
- ๋ฆฌ๋ ํ๋ ์์ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ๋ค์ค ์ฝํ ์์คํ ์ธก์ , e. g. ๋๋ ธ๋ฏธํฐ ๋ฒ์์ AuAg/Pd/Ni/CuFe ๋๋ Au/Pd/Ni/CuFe
- NiP ์ฝํ ์ ์ธ ํจ๋ ์ธก์
- ์ ์ ๋ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ๊ธฐ๋ฅ์ฑ ์ฝํ ์ธก์
- ์๋ํ๋ ์ธก์ , e. g. ํ์ง๊ด๋ฆฌ์์