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반도체

초박막 다층 및 미세 구조의 고정밀 코팅 두께 측정 및 재료 분석

반도체 제조에서 최고 수준의 품질 관리 기준을 유지하면서 초박막의 복잡한 다층 시스템과 미세 구조를 안정적으로 측정하고 분석하려면 어떻게 해야 할까요?

키사이트는 실리콘 및 화합물 반도체의 정밀한 코팅 두께 측정과 재료 분석을 위한 고성능 솔루션을 제공합니다. 완전 자동화된 시스템이 필요하든 소형 벤치탑 기기가 필요하든, 전자 응용 분야에 적합한 측정 솔루션을 제공합니다!

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애플리케이션

키사이트의 측정 기술은 전 세계 반도체 및 전자 산업의 수많은 고객으로부터 신뢰를 받고 있습니다. 신뢰성, 효율성, 그리고 무엇보다도 시장을 선도하는 측정 성능 덕분에 키사이트의 계측기는 필수 불가결한 장비입니다. 웨이퍼 패키징 및 첨단 패키징부터 고출력 반도체 및 전자 애플리케이션에 이르기까지 다양한 분야에서 키사이트 솔루션이 실질적이고 측정 가능한 이점을 제공하는 다양한 애플리케이션을 확인해 보십시오.

리드 프레임

기본 패키징 공정의 필수 구성 요소인 리드 프레임은 금형과 하우징의 외부 연결부를 기계적으로 지지하고 전기적으로 연결하는 역할을 합니다. 리드 프레임은 복잡한 다층으로 코팅되는 경우가 많습니다. 여기에는 일반적으로 나노미터 범위의 두께를 가진 금과 팔라듐 층이 포함되며, 니켈 층은 일반적으로 수 마이크로미터 두께입니다. 이러한 납 캐리어의 선조 구조로 인해 측정 오류가 발생하기 쉽고 품질 관리가 복잡해집니다. 키사이트와 함께 이 문제를 해결할 수 있는 방법을 알아보세요!

랜딩 패드

반도체 패키징 기술에서는 칩의 기본 접점 역할을 하며, 예를 들어 와이어 본딩 시 와이어를 부착하거나 플립 칩 패키징 시 납땜 범프를 납땜하는 데 사용됩니다. 랜딩 패드는 알루미늄, 구리 또는 니켈과 같은 금속으로 만들어지기 때문에 일반적으로 부식 및 금속 확산을 방지하기 위해 보호 코팅 또는 패시베이션 코팅이 제공됩니다. 빠르고 안정적인 측정 솔루션을 찾고 계신가요?

BGA

볼 그리드 어레이(BGA)는 PCB에 실장하는 데 사용되는 집적 회로(IC) 및 마이크로프로세서용 하우징의 한 유형입니다. 하우징 아래에 미세한 솔더 볼 매트릭스로 배열된 고밀도 연결부를 제공합니다. 키사이트의 고급 측정 솔루션으로 어떻게 빠르고 안정적으로 BGA를 테스트할 수 있는지 알아보세요!

UBM

플립 칩 연결의 성능과 신뢰성을 위해서는 고품질 언더 범프 금속화(UBM)가 매우 중요합니다. 일반적으로 금속 패드에 적용되어 공정 후반에 납땜 범프의 납땜성과 접착력을 향상시킵니다. 또한 UBM은 금속 확산에 대한 장벽층을 형성하여 칩과 패키지 간의 연결을 개선합니다. 키사이트 솔루션이 UBM 측정을 어떻게 지원하는지 알아볼 준비가 되셨나요?

납땜 범프

플립칩 또는 웨이퍼 레벨, 2.5D 및 3D 패키징 기술과 같은 고급 패키징 공정에서는 칩을 기판 또는 기판 위의 웨이퍼에 연결하기 위해 솔더 범프, 구리 필러 범프 및 금 범프가 사용됩니다(CoWoS). 적절한 기능과 비용상의 이유로 다양한 유형의 범프에 대한 정확한 재료 구성, 특히 SnAg 농도와 코팅 두께가 중요한 역할을 합니다. 이 문제를 해결하기 위한 키사이트의 측정 솔루션을 살펴보세요!

RDL

재분배 레이어(RDL)는 특히 웨이퍼 레벨 칩 스케일 패키징(WLCSP)과 같은 첨단 기술에서 웨이퍼 레벨 패키징(WLP)의 핵심 구성 요소입니다. RDL은 칩의 연결 위치를 재분배하여 다양한 패키징 설계의 표준화된 레이아웃에 맞도록 하는 데 사용됩니다. RDL의 전도성 트랙은 대부분 구리로 만들어지기 때문에 티타늄, 크롬 또는 니켈의 얇은 층도 적용되어 절연 재료로의 구리 확산을 방지하고 더 나은 접착력을 얻을 수 있습니다. 키사이트의 측정 솔루션이 어떻게 도움이 되는지 알아보고 싶으신가요?

후면 금속화

백사이드 메탈화는 MEMS 센서와 같은 고전력 반도체 및 센서 제조의 핵심 공정 단계입니다. 레이어와 레이어의 조합 순서를 신중하게 선택하면 전기적, 기계적 및 열적 특성 측면에서 각 반도체 부품의 특정 요구 사항에 맞게 백사이드 금속화를 최적으로 맞출 수 있습니다. 백사이드 금속화를 테스트할 측정 솔루션을 찾고 계신가요?

스프링 접점 / 포고 핀

포고 핀 또는 스프링이 장착된 핀은 프로브 카드를 사용하여 웨이퍼 테스트를 위해 웨이퍼에 배치되는 전기 연결 메커니즘입니다. 이러한 방식으로 웨이퍼의 개별 다이가 칩으로 절단되기 전에 전기적 특성을 테스트합니다. 이 테스트 공정에서 절대적으로 신뢰할 수 있는 결과를 얻으려면 포고 핀의 기능성 코팅의 품질이 높아야 합니다. 이때 키사이트의 XRF 장비가 중요한 역할을 합니다. 키사이트의 고급 측정 솔루션으로 포고 핀을 쉽고 정밀하게 테스트하는 방법을 알아보세요!

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고객의 과제에 대한 솔루션

주요 응용 분야

후면 금속화, 랜딩 패드, 마이크로 패드, RoHS 스크리닝

도전 과제

  • 다양한 합금 및 복잡한 다층 측정
  • 소량 및 대규모 시료 측정
  • 매우 낮은 검출 한계에서 미량 원소 분석

제품 주요 특징

  • 최대 3mm의 다양한 콜리메이터 크기 및 범용 필터 제공
  • 최적화된 구성 요소 및 측정 지오메트리를 통한 최고의 정밀도 및 짧은 측정 시간
  • 자동 측정을 위한 프로그래밍 가능한 측정 테이블
  • 효율적인 워크플로우를 갖춘 시장 선도적인 소프트웨어

피셔스코프® X-RAY XDV®-µ

가장 작은 스팟, 최고의 정밀도.

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주요 응용 분야

리드 프레임, 얇은 전선, 납땜 범프, 마이크로 패드, SMD 부품, 포고 핀, BGA, UBM, RDL

도전 과제

  • 미세 구조 측정
  • 평면 시료 및 초박형 다층 측정

제품 주요 특징

  • 최소한의 측정 지점 및 최고의 정밀도를 위한 다양한 필터, 검출기 및 폴리카필러리 옵틱 옵션
  • 평평한 대형 시료의 손쉬운 처리를 위한 C-슬롯 하우징
  • 까다로운 측정 작업을 위한 시장 선도적인 소프트웨어

피셔스코프® X-RAY XDV®-µ LD

가장 작은 스팟, 가장 긴 측정 거리.

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주요 애플리케이션

조립된 PCB, 커넥터, 포고 핀

도전 과제

  • 다양한 시료 크기 및 복잡한 모양 처리
  • 어셈블리가 있거나 레벨이 다른 시료 측정
  • 미세 구조 측정
  • 초박형 다층 측정

제품 주요 특징

  • 측정 거리가 긴 고유한 35µm 폴리카필러리 옵틱으로 복잡한 형태의 시료에서 가장 작은 특징 측정(예: 뒤틀림 가능성이 있는 웨이퍼)
  • 평평한 대형 시료의 손쉬운 취급을 위한 C-슬롯 하우징
  • 까다로운 측정 작업을 위한 시장을 선도하는 소프트웨어

피셔스코프® X-RAY XDV®-µ 웨이퍼

웨이퍼 애플리케이션을 위한 최첨단 기술.

자세히 알아보기

 

주요 응용 분야

납땜 범프, 구리 기둥 범프, 금 범프, 작은 접촉 표면, 마이크로 패드, UBM, RDL

도전 과제

  • 직경 6''~12''의 웨이퍼에서 박막 및 미세 구조 측정
  • 뒤틀림 가능성이 있는 웨이퍼 처리
  • 클린룸 요건 충족

제품 주요 특징

  • 얇은 층에서 최고의 정밀도를 위한 다양한 검출기 및 폴리카필러리 옵틱 옵션
  • 진공 웨이퍼 척 또는 기계적 평탄화를 통한 맞춤형 웨이퍼 처리
  • 시장을 선도하는 소프트웨어로 광범위한 자동화 옵션 제공

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI

자동화된 웨이퍼 측정을 위한 첫 번째 선택.

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주요 응용 분야

납땜 범프, 구리 기둥 범프, 금 범프, 작은 접촉 표면, 마이크로 패드, UBM, RDL

고객의 과제

  • 웨이퍼 측정 프로세스 자동화
  • 높은 처리량 관리
  • 뒤틀림 가능성이 있는 웨이퍼 처리
  • 클린룸 요건 충족

제품 주요 특징

  • FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ 웨이 퍼 및 자동 웨이퍼 처리 시스템이 통합된 완전 자동화된 측정 시스템
  • 얇은 층에서 최고의 정밀도를 위한 다양한 검출기 및 폴리카필러리 광학 옵션
  • 효율성을 높여주는 업계 최고의 소프트웨어

맞춤형 솔루션

측정 작업에 적합한 솔루션.

요청에 따라 전자동 또는 반자동으로 맞춤형 시스템을 구축할 수 있습니다. 고객의 애플리케이션에 맞춰 웨이퍼의 기계적 평탄화와 같은 추가 공정 단계를 구현합니다. 현지 통합 파트너와 협력하여 긴 리드 타임을 피할 수 있습니다.

당사는 XRF 외에 다른 측정 방법도 제공합니다. 자세한 내용은 당사에 직접 문의하시기 바랍니다.