FISCHERSCOPE® X-RAY XDV-µ® WAFER
높은 정밀도를 제공합니다.
가장 작은 측정 영 크기 10 µm (FWHM)으로 우수한 성능을 보장합니다.
은 작은 구조물의 신뢰할 수 있는 측정을 지원합니다.
¹ 최대 50% 향상된 성능: 표준 편차가 크게 개선되어 측정 능력이 크게 향상되거나 측정 시간이 크게 단축됩니다.
² 자체 폴리캐필러리를 생산하는 세계 유일의 X-선 형광 측정기 제조업체인 Fischer에서 제작한 고급 캐필러리 광학 장치. 세 가지 고급 폴리캐필러리를 사용할 수 있어 각 용도에 적합한 솔루션을 제공합니다: 10µm 할로 프리, 20µm 할로 프리 또는 20µm 할로.
정확한 웨이퍼 제어를 위한 모든 요구 사항을 충족합니다.
정밀한 웨이퍼 제어를 위한 완벽한 솔루션
프로그래머블 측정 테이블과 진공 웨이퍼 척, 마이크로포커스 튜브 울트라를 갖춘 FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER는 반도체 산업의 요구에 최적화된 장비입니다. XRF 장비에 내장된 폴리캐필러리 광학은 X-선 방사선을 10 또는 20 µm의 가장 작은 측정 지점으로 집중시켜, 높은 강도로 짧은 측정 시간을 구현합니다. 이를 통해 기존 장비보다 훨씬 더 정밀하게 개별 마이크로구조를 분석할 수 있으며, 전자동으로 진행됩니다.
완전 통합형 솔루션.
고객이 선택한 웨이퍼 핸들러와 결합된 XDV®-μ SEMI
정확하고 정밀한 측정.
자동 이미지 인식을 통한 소형 구조물에서의 측정 포인트 위치 지정
모든 과제 해결.
까다로운 측정 작업에도 안정적이고 빠른 결과 제공
완전 자동화 가능.
단 한 번의 클릭으로 기기가 자동으로 작업을 수행합니다.
가장 진보된 폴리캐필러리 광학.
자체 제작한 폴리캐필러리 광학은 짧은 측정 시간으로 뛰어난 측정 결과를 제공합니다.
DPP+ 디지털 펄스 프로세서.
측정 시간 단축 또는 표준 편차 개선*.
* DPP와 비교 시
직경 6~12인치의 웨이퍼에서 박막 및 다층 시스템을 자동으로 측정하는 전문 장비입니다.
마이크로포커스 튜브 Ultra를 사용하면 여기 강도가 크게 증가합니다. 따라서 최소한의 측정 지점으로 더욱 향상된 측정 성능을 보장합니다.
폴리카필러리 광학은 특히 10 또는 20 µm FWHW의 작은 측정 스팟과 최적의 국소 해상도를 제공합니다.
시중에서 가장 강력한 애플리케이션 소프트웨어인 WinFTM®으로 측정 데이터를 실시간으로 전송, 평가 및 내보낼 수 있습니다.
특징
마이크로포커스 튜브 울트라
텅스텐 애노드를 사용하여 µ-XRF에서 매우 작은 측정 영역에서도 뛰어난 성능을 제공합니다. 선택적으로 몰리브덴 애노드 장착 가능.
DPP+ 디지털 펄스 프로세서
짧은 측정 시간에도 높은 정밀도를 보장합니다.
4중 교체형 필터
자체 제작된 폴리캐필러리 광학
작은 측정 지점을 고강도로 측정할 수 있습니다.
측정 지점 크기
약 Ø 10 또는 20 µm (FWHM)
최대 샘플 높이
5 mm까지 측정 가능합니다.
실리콘 드리프트 검출기
20 또는 50 mm²의 활성 영역으로 얇은 층에서도 최고의 정밀도를 제공합니다.
진공 테이블
150 - 300 mm의 모든 표준 웨이퍼 포맷을 지원하는 홀더 장착.
WinFTM®을 통한 광범위한 자동화 옵션
적용 사례
- 최대 12인치 직경의 웨이퍼에서 가장 작은 구조 측정
- 10nm 미만의 금/팔라듐 층과 같은 매우 얇은 코팅 분석
- 품질 관리와 같은 자동화된 측정
- 복잡한 다층 시스템 측정
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