FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
DPP+를 통한 성능
자체 생산 및 지속적인 개발²
비용 대비 편익 비율
¹ 표준 편차가 크게 개선되어 측정 능력이 크게 향상되거나 측정 시간이 크게 단축됩니다.
² 지속적으로 추가 개발되고 있는 폴리카필러리 광학. 세계에서 유일하게 자체적으로 폴리카필러를 생산하는 X-선 형광 측정기 제조업체인 Fischer가 만든 고급 모세관 광학 장치입니다.
웨이퍼의 미세 구조에 대한 정밀한 XRF 측정.
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI는 웨이퍼의 미세 구조를 완전 자동화된 방식으로 검사할 수 있는 최적의 측정 솔루션입니다. 자동화된 웨이퍼 취급 및 검사 프로세스는 매우 높은 효율성을 보장하며, 캡슐화된 검사 환경을 통해 일관된 검사 조건으로 오류 없는 웨이퍼 취급 및 측정이 가능합니다. 강력한 검출기, 마이크로 포커스 튜브 Ultra 및 미세한 측정 지점을 위한 폴리카필러리 옵틱은 뛰어난 측정 성능을 보장합니다.
자동화 솔루션은 사전 엔지니어링된 솔루션으로 제공됩니다. 기존 하드웨어 및 소프트웨어 설계의 이점을 활용하세요. 고객의 요구 사항에 따라 자동화 장치를 함께 수정하고 조정합니다.
완전 자동화.
프로그래밍이 가능하고 원활한 측정 프로세스를 위해 셀프 러너로 개발되었습니다.
사용 편의성을 위한 스마트한 디테일.
전체 취급 프로세스의 통합 CCTV 모니터링
손쉬운 유지보수.
개별 구성품에 접근하기 위한 대형 서비스 해치
DPP+ 디지털 펄스 프로세서.
측정 시간 단축 또는 표준 편차 개선*.
* DPP와 비교
클린룸 호환.
웨이퍼의 오염이 없고 측정 조건이 일정합니다.
프로그래밍 가능.
측정 포인트의 자동 인식 및 접근
시중에서 가장 진보된 폴리카필러리 옵틱.
자체 제조한 폴리카필러리 옵틱은 짧은 측정 시간으로 뛰어난 측정 결과를 제공합니다.
가장 작은 측정 지점을 위한 강력한 실리콘 드리프트 검출기와 폴리카필러리 광학 덕분에 미세 구조물 테스트에 이상적입니다.
마이크로포커스 튜브 Ultra를 사용하면 여기 강도가 크게 증가합니다. 따라서 최소한의 측정 지점으로 더욱 향상된 측정 성능을 보장합니다.
6인치, 8인치 및 12인치 웨이퍼를 취급하는 로봇 하중 측정 장치.
표준화된 FOUP 및 카세트에 웨이퍼를 자동으로 도킹 및 로딩합니다.
시중에서 가장 강력한 애플리케이션 소프트웨어인 WinFTM®으로 측정 데이터를 실시간으로 전송, 평가 및 내보낼 수 있습니다.
특징
짧은 측정 시간에도 최고의 정밀도를 제공하는 DPP+
표준화된 SECS/GEM 통신
텅스텐 양극이 있는 마이크로포커스 튜브 Ultra로 µ-XRF로 가장 작은 지점에서 더욱 높은 성능을 발휘합니다.
최고의 정밀도를 위한 실리콘 드리프트 감지기 50mm²
펠티에 냉각
10 또는 20 µm의 반폭의 매우 작은 측정 지점을 위한 다모세관 광학 장치
OHT 및 AGV를 통한 배송과 호환
4중 교체형 필터
진공 웨이퍼 척이 있는 정밀한 프로그래밍 가능 측정 테이블
적용 사례
- 나노미터 범위의 베이스 금속화
- C4 및 더 작은 솔더 볼
- 구리 기둥의 얇은 무연 솔더 캡
- 극히 작은 접촉 면적 및 기타 복잡한 2.5D 및 3D 패키징 애플리케이션
- 미세 구조의 완전 자동화된 검사
코팅 두께 측정 및 원소 분석
더 많은 애플리케이션이 있으신가요? 그렇다면 당사에 문의하세요!
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