FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
DPP+によるパフォーマンス
自社で生産し、常に開発する²。
費用便益比
¹ DPPとDPP+を比較した場合、標準偏差が大幅に改善されているため、ゲージ能力が向上、または測定時間が大幅に短縮されています。
常に進化を続けるポリキャピラリー光学系。世界唯一の蛍光X線測定器メーカーであるフィッシャー社製のハイエンドキャピラリー光学系。
ウェハー上の微細構造の精密蛍光X線測定。
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMIは、ウェーハ上の微細構造を全自動で検査するための最適な測定ソリューションです。自動化されたウェハーハンドリングと検査プロセスは非常に高い効率を保証し、カプセル化された検査環境による一貫した検査条件により、エラーのないウェハーのハンドリングと測定を可能にします。強力な検出器、マイクロフォーカスチューブUltra、最小測定スポット用ポリキャピラリー光学系が、卓越した測定性能を保証します。
自動化ソリューションは、設計済みソリューションとしてご利用いただけます。既存のハードウェアとソフトウェア設計をご利用ください。お客様のご要望に応じて、自動化装置を改造・適合させます。
完全自動化。
24時間365日の使用とスムーズな測定プロセスに最適
使いやすさを追求したスマートなディテール
完全なハンドリングプロセスの統合CCTVモニタリング
容易なメンテナンス。
個々の部品にアクセスできる大型サービスハッチ
DPP+デジタルパルスプロセッサー。
測定時間の短縮または標準偏差*の改善
*DPPとの比較
クリーンルーム対応。
ウェハーへのコンタミネーションがなく、測定条件も一定。
プログラム可能。
高度なパターン認識技術により、あらかじめ定義された構造での自動測定が可能
市場で最も先進的なポリキャピラリー光学系。
自社製造のポリキャピラリー光学系は、短い測定時間で優れた測定結果を提供します。
強力なシリコンドリフト検出器と極小測定スポット用ポリキャピラリー光学系により、微細構造検査に最適。
マイクロフォーカス・チューブ・ウルトラにより、励起光強度が大幅に向上しました。これにより、最小の測定スポットでより優れた測定性能を実現します。
ハンドリングロボットが6インチ、8インチ、12インチのウェーハを測定装置にセットします。
標準化されたFOUPとカセットにウェハを自動ドッキング、ローディング。
市場で最も強力なアプリケーションソフトウェアWinFTM®による測定データのリアルタイム伝送、評価、エクスポート。
特徴
短時間の測定でも最高の精度を実現するDPP＋。
標準化されたSECS/GEM通信
タングステン陽極を採用したマイクロフォーカスチューブUltraにより、µ-XRFの微小スポットでさらに高いパフォーマンスを実現
最高精度を誇る20または50mm²のシリコンドリフト検出器
ペルチェ冷却
半値幅10μmまたは20μmの特に小さな測定スポット用のポリキャピラリー光学系
OHTおよびAGVによる配送に対応
4つ折り交換可能フィルター
真空ウエハチャック付き精密プログラマブル測定テーブル
応用例
- ナノメートル領域でのベースメタライゼーション
- C4以下のはんだボール
- 銅ピラー上の薄い鉛フリーはんだキャップ
- 極小コンタクトエリアやその他の複雑な2.5Dおよび3Dパッケージングアプリケーション
- 微細構造の完全自動検査
コーティングの厚さ測定と元素分析
その他のアプリケーションをお持ちですか？ぜひお問い合わせください！
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パンフレット
