測定に関するよくある質問

平均値を計算する最も簡単な方法は、すべての値を合計し、この合計を値の数で割ることである。これは算術平均と呼ばれる。平均値を計算する方法は他にもあるが、ほとんど使われない。

範囲 R は、最小値と最大値の差を示します。範囲を計算するには、最大値から最小値を引きます。範囲は外れ値によって大きく影響を受けるため、測定値が少ない場合にのみ有用です。データ量が多い場合、標準偏差の方がより意味のある指標となります。

標準偏差 σ は、測定値が平均値をどれだけ散らばっているかを示します。標準偏差が大きい場合、測定値は平均値から大きく異なることを意味します。値が平均値に近ければ、標準偏差は小さくなります。平均値と標準偏差が現実をどれだけ正確に表すかは、測定値の数にも関係しています。測定点が多ければ多いほど、これらの値はより意味を持つようになります。

標準偏差の大きさは、測定値の散らばりだけでなく、値の大きさにも影響されます。平均値が高ければ、高い標準偏差が自動的に得られることになります。これに対処するために、相対的な標準偏差である変動係数 V をパーセンテージで表すことがよくあります。ここでは、標準偏差を算術平均で割って計算します。標準偏差と同様に、変動係数が高い値は測定値の大きな散らばりを示します。

原子番号11以上の元素を測定することができます。層の厚さは、周囲の媒体（空気、ヘリウム、真空）、検出器、測定スポットのサイズ、原子番号、そしてもちろん用途に応じて、約0.005〜60 µmの範囲です。

測定スポットはコリメータと測定距離によって異なります。典型的な値は30 µmから3 mmです。

測定精度は、各測定タスクによって異なります。測定時間、測定スポット、蛍光Ｘ線式測定器のキャリブレーションに使用された標準板の不確かさに依存します。

当社の卓上型蛍光X線式測定器は、ドイツの放射線防護規則に基づく型式認証済みの完全保護機器です。

エクスポートマスクの定義を使用して、どのパラメータをエクスポートするかを決定できます。エクスポート設定では、データが送信されるタイミングと場所を指定します。測定データは、その後テキストファイルとして利用可能になります。

ここでは散乱スペクトルが要求されています。散乱スペクトルは必ずしも測定する必要はありませんが、メニューで読み込んで評価することができます：General ► Load spectrum and evaluate...

スーパーソフトウェアが有効になっていないためです。

おそらく、File►メニューにあるPrint single valuesが有効になっています。この場合、各単一値がプリンターバッファに送信され、ページがいっぱいになると自動的に印刷されます。この場合、各単一値はプリンタバッファに送られ、ページが一杯になると自動的に印刷されます。「Print single values 」を無効にし、プリンターバッファをクリアしてください。

もし、ブロック内の単一値が削除された場合、その測定値の番号にダッシュが表示されます。このような測定値は、Evaluation ► Restore measured valueメニューで再表示できます。しかし、ブロックまたはアイテムのすべての測定値が削除された場合、そのデータは復元できません。

膜厚計の測定精度は、膜厚、表面状態、使用するプローブなどの要因によって異なります。理想的な条件下での精度と再現性に関する情報は、プローブのデータシートに記載されています。

ここではいくつかの測定オプションがあります。例えば、渦電流位相式を使用して、磁化できない金属を磁化できる金属に対して測定することができます。例えば、亜鉛を鉄に塗布する場合です。また、非磁性金属を電気絶縁性プラスチックに塗布することも可能です（例：銅をイソに塗布）。もう一つの測定例は、銅にニッケルを塗布する（非磁性金属に磁性金属）です。

渦電流式は、非導電性のコーティングを導電性かつ非磁性の基材に対して測定するために使用されます。例えば、アルミニウムの陽極酸化や塗装、銅の塗装、チタンのセラミックコーティングなどです

電磁式を使用して、磁化しやすい基材に対する非磁性コーティングを測定します。例えば、亜鉛を鉄に塗布する場合や、鉄に塗装する場合です。

いずれの場合も、実際のニッケルメッキされた部品とその既知の膜厚を使って校正する必要があります。ニッケルコーティングの磁気特性は大きく異なる場合があり、測定対象の部品での磁気特性が校正部品と異なる可能性があります。これにより測定誤差が生じることがあり、特に入荷検査で問題になることがあります。

まず、取扱説明書を確認して、エラーとその修正方法が記載されているか確認してください。記載されていない場合は、シリアル番号、測定機器の正確な名称、測定プローブ、Fischerプログラムのバージョン番号、エラー番号（エラーコード）、エラーメッセージの正確な文言、およびエラーが発生した状況をお知らせください。こちらからお問い合わせ先をご確認いただけます。

渦電流渦電流位相式です（規格案DIN 50994および規格DIN EN 2004-1を参照）。

MS/mはメガシーメンス毎メートル（Mega-Siemens per meter）を意味し、1,000,000シーメンス/メートルに相当します。この単位は、特定の電気抵抗率の単位であるオーム×mm²/メートルの逆数にあたります。したがって、1シーメンスは1/オームに相当します。

IACSは「国際軟銅線標準」（International Annealed Copper Standard）の略です。この単位は英米圏でよく使用されます。具体的には、100% IACSの特定の導電率は58 MS/mに相当します。この関係を使用することで、任意の導電率の値を他の単位に変換することができます。

特定の導電率は温度に直接依存します。温度が高いほど、導電率は低くなります。測定値を比較できるように、伝導率は常に20°Cを基準に指定されます。このため、Fischerの伝導率標準も20°Cの値を提供しています。

SIGMASCOPE®が実際の物理的伝導率の測定値を20°Cに変換できるようにするためには、以下の条件が満たされている必要があります：

• 測定時の温度で機器を校正すること
• 測定中および校正中に温度センサー（内蔵/外部）で測定対象物の温度を記録すること

これらの条件が満たされていない場合、系統的な測定誤差が発生する可能性があります。

FDX10およびFDX13Hの二重測定プローブを使用します。これらのプローブは、ホットディップ亜鉛の最小膜厚が70μmであることを要求します。

薄い亜鉛層には、ESG2およびESG20プローブを使用します。これらのプローブは、亜鉛と鋼の間に拡散層がない場合にのみ使用できます。これは通常、電気メッキや非常に薄いホットディップ亜鉛コーティング（自動車工学など）で見られます。重防食用のホットディップ亜鉛コーティングは、通常70μm以上の厚さがあり、鋼と亜鉛の間に顕著な拡散層が形成されることがあります。その場合、ESG2およびESG20プローブは使用できません。

金属、プラスチック、またはセラミック上の導電性金属層を測定できます。詳しくはこちら

以下の条件を満たす必要があります：清潔なコーティング表面、測定対象物へのスタンドクランプの良好な接触、膜厚に対応する除去速度の選択、適切な電解液の使用です。詳しくはこちら

影響を与える要因は、膜厚、表面状態、使用される測定セルシール、除去速度、コーティングの純度です。

転送ケーブルをコンピュータと測定機器に接続します。コンピュータに適切なドライバソフトウェアをインストールします。使用している評価プログラムで、接続されているインストゥルメントのインターフェースを選択します。測定値のグループを分けるために、測定機器でグループセパレータを設定してください。

原因として考えられるのは、適切なドライバーが管理者権限で読み込まれたか、コンピュータ上のソフトウェアで正しいインターフェースが選択されたかどうかです（デバイスマネージャーも確認してください）。

粗い表面ではゼロ点が常に確実に決定できないことがあります。そのため、可能であれば表面を研磨するべきです。空気の流れや外部の振動も、測定値に大きな変動を引き起こしたり、誤った測定結果を生じさせたりすることがあります。そのため、測定器は保護された場所に設置することをお勧めします。非常に低い力で測定する場合、閉じた測定ボックスやダンピングテーブルを使用することで外部の影響を避けることができます。

おそらくインデンターが汚れているか、摩耗している可能性があります。WIN-HCU®には定期的に実施すべき清掃手順があります。また、アプリケーションに適した力-時間の条件を選択したか確認してください。異なる試験パラメータが測定結果に偏差を生じる可能性があります。

これらの対策が役立たない場合、インデンターが摩耗している場合は形状補正を行うことができます。形状補正はFischerの専門家によってのみ行うべきです。

おそらく顕微鏡の倍率が誤って設定されている可能性があります。異なる倍率を試してみて、WIN-HCU®ソフトウェアで正しい対物レンズが選択されていることを確認してください。

ソフトウェアで適切な倍率を選択したことを確認してください（自動倍率認識がない場合）。それでも印象が見えない場合、検査力が低すぎる可能性があります。そのような場合、原子間力顕微鏡（AFM）で印象を確認できることがあります。もう一つの理由として、顕微鏡の位置と実際の測定位置との間にオフセットが大きすぎることが考えられます。設定されたオフセットは、Measuring table ► Microscope settingsで確認できます。

コーティングの断面を測定する場合は、Fischerの適切なマイクロセクションサンプルホルダーを使用することをお勧めします。適切なホルダーなしで横断面を測定すると、取り付けプロセスにより測定位置と顕微鏡位置の間に系統的なオフセットが生じます。

おそらく荷重-放出曲線が記録されていない可能性があります。設定を確認してください。また、非常に柔らかいサンプルは荷重下で変形を続ける（クリープ）ことがあるため、圧痕硬度を決定できない場合があります。圧痕クリープ（CIT）を決定するためにクリープ設定を使用してください。圧痕弾性率EITおよび圧痕硬度HITをISO 14577に基づいて決定するためには、Edit ► Application settings ► Parameters ► Straightを使用してください。

サンプルが荷重下で降伏した可能性があります。試験片がしっかり固定されているか確認してください。部品の形状に応じて、Fischerの適切なアクセサリー（HMユニバーサル試験片クランプまたはHMフィルムクランプ）を使用してください。

選択した試験荷重が膜厚に対して大きすぎる可能性があります。そのため、基板材が測定に影響を与えます。

動的測定モードは管理者としてのみ有効にできます。管理者権限があっても有効にできない場合、通常は顧客固有のセキュリティ関連のソフトウェアによってこの機能がブロックされていることが原因です。ここでの解決策としては、セキュリティ対策が低いコンピュータを使用することです。

形状補正には管理者権限が必要です。WIN-HCU®に適切にログインしてください。形状補正はFischerの専門家または資格を持つ技術者によってのみ実施されるべきです。測定が中止され、新たな測定が開始できない場合があります。また、インデンター位置が400µmを超えている場合もあります。

まず、設定(Setting) ► オプション(Options) ► ユーザー定義エクスポート(User-defined export)でユーザー定義エクスポートを定義する必要があります。その後、エクスポートを実行できます。

[WIN-HCUについて]を選択してください。ここでは、測定機器のシリアル番号やWIN-HCU®のバージョンなどの情報が確認できます。

測定値の比較には、少なくとも以下の特性値を用いるべきである：算術平均、標準偏差、個々の測定値の数。対応する標準偏差と測定値の数がなければ、平均値同士を有意義かつ真剣に比較することはできません。

DIN EN ISO 9001規格によると、トレーサビリティが必要な場合、測定機器は校正されなければなりません。あらゆる物理的測定方法は、コーティングと母材の特性の影響を受けます。例えば、部品の形状、電気伝導度、磁性、コーティングの密度、あるいは測定面などです。したがって、層や基材の特性が変わるたびに、測定器を再校正する必要があります。

平らなシート上で校正を行うと、曲面上で系統的な測定誤差が生じます。その結果、測定値が高くなりすぎてしまいます。これは、測定装置が曲面からの信号を、あたかも平面からの信号であるかのように評価するためです。そのため、部品や測定面の形状やジオメトリが変化した場合には、定期的な校正が必要です。

考えられる原因としては、校正（特性曲線）が異なる2つの測定器が使用されているか、同じ測定器を使用して異なる測定面で測定が行われていることが考えられます。測定器で得られた測定値の正しさは、常に校正標準によって保証されます。磁気誘導および渦電流測定器の場合、校正は、コーティングされていない実際の測定対象物の測定面で行わなければなりません。さらに、測定は同じポイントまたは同じ測定面で行い、意味のある平均値および意味のある標準偏差のために十分な数の測定値を記録することを保証しなければなりません。このようにして初めて、比較可能な測定結果が得られるのです。

1つの方法は、コーティングされていないワークピースにキャリブレーションフォイルを使用して測定を行い、通常5～10回の測定値を得ることです。この測定は、実際に測定を行う予定の位置で実施する必要があります。フィッシャーの標準板は、この目的には適していません。その後、ユーザーは膜の設定値と実際に測定された平均値との間で許容する偏差を決めます。この結果、測定機器が十分にキャリブレーションされているかどうかを判断します。測定機器のキャリブレーション評価には、統計的な観点や測定された膜厚の不確実性が関わり、例えば以下の規格によって確認できます：DIN EN ISO 2178:2016「磁性基材上の非磁性コーティング – 膜厚の測定 – 磁気法」（第8章）およびDIN EN ISO 2360:2017「非磁性金属基材上の非導電性コーティング – 膜厚の測定 – 渦電流法」（第8章）。

これらのデュプレックスプローブには2つの測定チャンネルがあります。電磁式チャンネルは、塗装と亜鉛を含む総膜厚を測定します。渦電流式チャンネルは、亜鉛上の塗装層の膜厚を測定します。キャリブレーションには、元の部品に対応する完全に未塗装の鋼部品と、少なくとも70μmの亜鉛メッキが施された部品が必要です。プローブの電磁式チャンネルは、未塗装の鋼部品でキャリブレーションされます。このステップで使用するキャリブレーションフォイルは、総膜厚範囲（塗装と亜鉛の両方）をカバーするように選びます。亜鉛メッキ部品は、渦電流式チャンネルをキャリブレーションするために使用され、使用するキャリブレーションフォイルは、予測される塗装層膜厚範囲をカバーするように選びます。

これらのデュプレックスプローブにも2つの測定チャンネルがあります。電磁式チャンネルは塗装と亜鉛の総膜厚を測定します。渦電流位相式チャンネルは、塗装下の亜鉛膜厚を測定します。キャリブレーションには、元の部品に対応する完全に未塗装の鋼部品と、典型的な亜鉛コーティングが施された部品が必要です。プローブの電磁式チャンネルは、未塗装の鋼部品でキャリブレーションされます。このステップで使用するキャリブレーションフォイルは、予測される総膜厚範囲（塗装と亜鉛）をカバーするように選びます。亜鉛メッキ部品では、プローブの渦電流位相式チャンネルのキャリブレーションが行われます。ここではキャリブレーションフォイルは使用せず、亜鉛層自体がキャリブレーション層となります。このステップでは、亜鉛メッキ部品でのみ測定を行う必要があります。亜鉛層の膜厚は、キャリブレーション前に参照として測定する必要はありません。亜鉛層のキャリブレーション参照値は、最初のステップでキャリブレーションされた電磁式チャンネルによって提供されます。

はい、影響を与えます。例えば、測定器が密度2 g/cm³のコーティングを施した部品でキャリブレーションされ、その後、密度1 g/cm³の部品で測定を行う場合、系統的な測定誤差が生じることがあります。その結果、測定値は実際よりも低くなります。これは、測定器が新しい部品の信号を、その層が2 g/cm³の密度を持っているものとして評価してしまうためです。

測定技術における「ノーマライゼーション」とは、測定作業を現在の設定や新しい基材に適応させることを指します。これには、一次フィルター、陽極電流、またはコリメーターが変更された場合に実施する必要があります。また、基材の合金組成が変更された場合にも、標準に基づきノーマライゼーションが要求されます。

このような場合、機器の状態を確認するためにキャリブレーション標準板を再測定することが必要です。標準では、これを「キャリブレーション」と呼びます。もし測定値と基準値に大きな偏差が見られた場合は、調整が必要となります。

基準測定とは、エネルギー軸の再キャリブレーションを指します。これにより、比例計数管を使用したXRF機器が温度の影響を補正することができます。

メニューItem►Measure calibration standardsから再測定できます。偏差が検出された場合、蛍光X線膜厚測定器は再キャリブレーションする必要があります。

これは、測定機器が校正標準でどの程度頻繁に使用されるかによります。そのため、顧客が判断できます。一般的な目安はおよそ1〜3年ごとです。

はい、可能です。一般的に、比例計数管を使用する測定機器では2〜3枚のフォイルを、PINまたはシリコンドリフト検出器を使用する測定器では1枚のフォイルを使用することができます。

いいえ、再認証は必要ありません。エレメントプレートは、飽和厚さのおかげで基準値が非常に高い安定性を持っているため、再認証する必要はありません。

ここで、WinFTM®が基材を要求します。キャリブレーションセットと測定対象の未塗装の基材を適用し、測定する必要があります。注意：ここに誤った部品を配置すると、結果の正確性に非常に大きな影響を与える可能性があります。

ISO 17025証明書付きのキャリブレーション基準は、認定機関によって定義された手順に従って測定されており、工場証明書付きのキャリブレーション基準よりも不確かさが低くなっています。

私たちフィッシャーでは、特定のメンテナンス間隔を指定していません。標準板の再校正が必要となるかどうかは、使用条件、環境および保管要因、ならびに貴社の特定の標準板への依存度や社内の検査機器要件に大きく影響されます。したがって、標準板の送付間隔を評価し決定するのに最も適しているのは、お客様ご自身またはお客様の検査機器監視チームです。一般的な目安はおよそ 1〜3 年ごとです。

個別のコンサルテーションが必要ですか？お気軽にお問い合わせください。

いいえ、証明書に固定の有効期限はありません。標準板の再校正が必要となるかどうかは、使用条件、環境および保管要因、ならびに貴社の特定の標準板への依存度や社内の検査機器要件に大きく影響されます。したがって、再校正が必要な時期を評価し決定するのに最も適しているのは、お客様ご自身またはお客様の検査機器監視チームです。

個別のコンサルテーションが必要ですか？お気軽にお問い合わせください。

はい、カスタマイズされた特別ソリューションを提供しています。技術的に可能であれば、カタログの膜厚を組み合わせてお客様の特定の要件に合わせることができます。また、技術的に可能であれば、お客様ご自身の材料から標準板を作成することもできます。ご要望については、お気軽に担当のフィッシャー代理店にご相談ください。

標準板は機械的または化学的にクリーニングしてはなりません！クリーニングを行うと、損傷、不均一性、および／または層の厚さの減少を引き起こし、校正結果が変わる可能性があります。

Al、Cu、Agの変色：これらの金属では、金属表面の酸化により酸化物層が形成され、下層の金属がさらなる酸素との反応から保護されます（不動態化）。金属によっては典型的な変色を引き起こすことがありますが、測定結果に悪影響はありません。

重要：標準板をクリーニングしないでください！摩耗により酸化物層を除去すると、校正結果が歪む可能性があります。

Fe、Zn、Zn/Feの変色：鉄の酸化（錆）や亜鉛の酸化（白錆）の場合、腐食は標準板に破壊的な影響を与えます。腐食が発生した場合、これらの標準板は交換のために返送する必要があります。腐食性環境は腐食プロセスを加速させるため、標準板の正しい取り扱いと保管には常に特に注意してください（次の質問も参照）。

例外：COULOSCOPE®標準板：当社のCOULOSCOPE®標準板は、クリーニングに関して例外です。これらには、酸化ニッケル層を再活性化できる「消しゴム」が付属しています。

結露する雰囲気や腐食性雰囲気で標準板を保管しないでください。過度の湿度は層を損傷させる可能性があります。

いいえ、ケースからDAkkSマークを剥がさないでください。DAkkS証明書は、ケース上の対応するDAkkSマークと組み合わせることによってのみ有効です。

ご要望に応じて、DAkkS証明書を再発行することができます。ただし、これには長いリードタイムと追加費用がかかることにご注意ください。これについては、直接担当のフィッシャー代理店にお問い合わせください。個別のお見積もりを喜んで提供いたします。

残念ながらまだですが、現在対応中です。

こちらで利用規約をご確認いただけます。

はい、可能ですが、装置に搭載されているポリキャピラリー光学系に依存します。ポリキャピラリー光学系によっては、約10～50 µmの範囲の測定スポットで測定できます。これらの非常に小さな測定スポットを使用すると、「ピンホール」などの局所的な不均一性や、粗さの高い表面での厚さの違いを可視化できます。そのため、当社の校正用標準板の単一点測定は（材料によっては）測定のばらつきが大きくなったり、校正結果が不正確になったりする可能性があります。当社のFISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ装置で測定する標準板については、常にスキャンモードを使用する必要があります。

標準板は個別のものであり、標準化の対象ではないため、適合宣言書を発行することはできません。さらに、RoHS測定や特殊コーティング用の標準板も提供しており、その中にはRoHSに準拠していない材料の使用が必要なものもあります。

当社の標準板は、指定されたコーティング厚の±20 %の製造上のばらつきがあります。これは欠陥ではなく、許容される公差範囲内です。当社は常にお客様に見積もり値にできるだけ近い標準板を提供しています。

すべての測定値にはある程度のばらつきがあります。したがって、再認証後の証明書に記載された値は、指定された測定不確かさの範囲内であれば、ラベルに記載された値と異なる場合があります。DIN EN ISO/IEC 17025:2017に従って認証された接触式フォイルの場合、システム関連の要因により、フォイルに印刷された値が証明書に記載された値と異なることもあります。常に有効な値は証明書に記載された値です。

はい、接触式標準板は一般的に接触測定による自然な摩耗を受けます。マークされた測定面内にへこみや亀裂などの損傷が見られるようになったら、標準板の交換をお勧めします。

接触式測定装置用のフォイルは使用により摩耗するため、再認証することはできません。

フォイル厚の偏差は、おそらく測定設定によるものです。フォイルは平らなスタンプで測定されたと推測されます。この方法では、フォイルの厚さを測定する際にフォイルにほとんど圧痕が残りません。したがって、フォイルの実際の厚さが測定されます。この方法で測定されたフォイル厚は、通常、Fischerが指定するフォイル厚よりもわずかに高くなります。

当社で測定された校正用フォイルは、対応する測定プローブを使用して当社の装置を校正するために使用されます。

フィッシャーの測定プローブには小さなボールチップがあり、これを校正用フォイルまたは測定対象の表面に置きます。プローブをプラスチックフォイルに置くと、このボールチップが小さな圧痕を作ります。これは、とりわけ校正用フォイルの厚さに依存します。この圧痕は、当社の校正用フォイルを測定する際に考慮されます。したがって、Helmut Fischerが製造した校正用フォイルの公称値は、常に校正用フォイルの実際の厚さよりもわずかに低くなります。校正用フォイルのこの圧痕を考慮しないと、これらのフォイルで当社の測定装置を校正した後、実際の部品で測定される層の厚さが不正確になります。