XUV

XUV® シリーズの装置に搭載される真空測定チャンバーを使うと、蛍光X線式分析 (RFA) を使って、Naからの軽元素を測定することができます。大気中では放射線を吸収するため、この方式でのNaからの軽元素の測定は、通常行うことができません。このため、この装置は、要求の厳しい膜厚測定および素材分析作業に最適です。

XUV

特徴:

  • 低い検出限度、反復可能な高い精度、広くアップグレードできる測定などにより、研究開発に特に適合します
  • 軽元素でも高い精度で測定できる真空チャンバーおよび高性能のシリコンドリフト検出器搭載
  • プログラム可能なX、Y、Z軸により自動連続試験可能
  • 交換可能なコリメーターやフィルターにより、さまざまな材料や測定条件の需要に対して調節可能

用途:

膜厚測定

  • ナトリウムからの軽元素によるnmレベルの層
  • アルミニウムおよびシリコン層

素材分析

  • 宝石の真贋や産地の決定
  • 一般的な素材分析および科学捜査
  • 高分解能微量分析

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