XDV-SDD

XDV-SDDは、フィッシャーの中でも主力の蛍光X線式測定装置です。この装置には、大面積シリコンドリフト検出器(SDD)を採用しています。50mm²の検出素子により、微小な測定スポットにおいても素早く高精度に測定が可能です。加えて、この装置では、それぞれの測定タスクにおける最適な励起条件をつくるために、いくつかのフィルターとコリメーターを搭載しています。

XDV-SDD:膜厚測定および素材分析

特長

  • 高精度な薄膜測定のための、高性能なX線源と大面積シリコンドリフト検出器(SDD)を搭載
  • 堅牢で長期安定性に優れた設計
  • プログラム可能なXYテーブルおよび電動Z軸を搭載し自動測定が可能
  • ビデオ顕微鏡とレーザーポインターによる簡単で早く測定の位置決めが可能

アプリケーション:

膜厚測定

  • 薄膜測定(例)エレクトロニクス産業や半導体産業における、≤0.1μmのAuやPd
  • 自動車製造におけるハードコーティングの測定
  • 太陽光発電産業における膜厚測定

素材分析

  • 電子部品、民生品や包装材のRoHS、WEEE、CPSIAなどの規制における有害物質検査
  • 金や貴金属などの分析
  • NiPの組成分析

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Saitama-ken/日本

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