iMOXS

モジュラーX線源のiMOXS (IfG Modular X-ray Source) を使うと、走査型電子顕微鏡 (SEM) の機能を簡単に拡張することができます。iMOXSは、電子顕微鏡の既存の検出器を利用します。そして、フランジを使うことで、現在のすべてのタイプのSEMとわずかなコストで組み合わせることができます。SEMの電子源と追加されるX線源の間で、単一の装置で蛍光X線式分析と電子線マイクロ分析を行い、サンプルを調査することができます。両方の手法のメリットを生かすことで、極めて高い分解能で、わずかな濃度の元素を検出することができます。

iMOXS

特徴:

  • モジュラー設計: X線管およびX線光学装置を特定の要件に簡単に調節可能
  • シンプルな操作: SEMモニターを通して、測定位置を簡単に調節して表示可能
  • フランジを利用して現在のすべての原子間力顕微鏡に取り付け可能
  • 最高10 µmの構造分析に適合: 高い品質のポリキャピラリー光学装置を使ってX線を小さな測定領域に集中。
  • 表面下の検査: 表面のはるか下の材料も測定可能

用途:

  • SEMマッピング: サンプルの元素組成を迅速に確認。SEMから見えない元素を確認
  • 故障分析。材料の不具合や疲労の試験
  • SEMでの直接素材分析。アルミニウム合金中のシリコンや亜鉛の割合決定など
  • 科学捜査分析
  • ppmレベルの微量元素の検査
  • 重金属の検出 (Z > 18)

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