電気抵抗式

DIN EN 1457に従った電気抵抗式測定法です

測定原理

プローブが、電極を4つ使って試料表面に接触します。外側の2つの電極が皮膜に電流を与えます。内部2つの電極間の銅皮膜は、電気抵抗器として機能し、ここで電圧低下が測定されます。

Schematic diagram of the Micro-resistance measuring method.
Schematic diagram of the Micro-resistance measuring method.

これは、間接的に銅皮膜の厚さと比例しています。測定信号は、プローブ固有のプローブ信号と膜厚の間の関数的相関関係を使用して、測定装置で膜厚値に変換されます。銅皮膜の導電率は温度から影響を受けます。これにより、温度補償が必要になる場合があります。

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