測定原理

接触方法: 励起電流が周波数の高い磁界を生成し、基材に渦電流を誘導します。渦電流の強度は、測定プローブと基材の間の距離に対応します。渦電流の磁界は元の磁界とは逆方向に、測定信号が生み出されます。特有のプローブ出力関数、つまり測定信号と膜厚の間の関数的相関を使って、装置で測定信号が膜厚値に変換されます。