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汎用性の高い蛍光X線式膜厚測定・素材分析器

FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL®は、薄膜、微小構造や金属メッキを測定に適した測定器です。また、切替可能なコリメーターと一時フィルターを搭載しています。

 

測定対象が複雑であるほど、検出器の選択は重要な要素となります。FISCHERSCOPE X-RAY XDALは、3種類の半導体検出器から選択できます。
 

シリコンPINダイオードの検出器により、比較的大きな測定エリアにおける多層膜測定に適しています。CrNやTiNなどの硬質材料皮膜の分析などにも使用されます。

シリコン・ドリフト検出器(SDD)は、シリコンPINダイオードよりも高分解能を有する検出器です。電子部品産業や半導体産業における機能膜の測定などに適しています。また、薄い合金層または金とプラチナなどといった近似する元素の分析にも適しています。ENIGやENEPIGといったアプリケーションにおいて信頼性の高い品質管理ができます。

Fischerでは、より大きい面積のシリコン・ドリフト検出器(SDD)を搭載した測定器も提供しています。ナノメートル領域の薄膜の測定にも適しています。これらのXDAL測定器により、高い信頼性を必要とするスズウィスカー防止のためのはんだの鉛含有量を分析できます。

特長

  • DIN ISO 3497 and ASTM B 568に準拠
  • 3種類の検出器(PIN、SDD 20 mm²、SDD 50 mm²(オプション))
  • 3種類の一次フィルター
  • 4種類の切替可能なコリメーター
  • Z軸移動幅最大140 mm
  • 電動式測定ステージ
  • 両サイドがスリット上に開口しており、大型のフラット形状の試料(プリント回路基板など)の測定に最適
  • ドイツ放射線防護法に準拠した装置 

アプリケーション

  • メッキの膜厚測定や合金分析(薄膜や微量元素分析)
  • 電子部品産業における、ENIG や ENEPIG
  • コネクターやコンタクトピン
  • PCB製造における金やパラジウム層の薄膜測定
  • 微量元素の分析
  • メッキ中のPb分析
  • 硬質材料皮膜の分析

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