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太陽光発電モジュールの蛍光X線式測定器による自動測定

FISCHERSCOPE® X-RAY 5000は、太陽光発電モジュールなどの大きな測定エリアの薄膜の膜厚測定を連続して測定が行うことができる測定器です。この測定器は、非常にコンパクトな測定ヘッドの設計になっており、標準のフランジを使用して製造ラインに直接組み込むことができます。X-RAY 5000は、大気中あるいは真空中でも利用できます。

 

製品が動くか、作業中に膨張して膨らむ場合には、測定結果も変わってしまいます。この理由から、フィッシャーのWinFTMソフトウェアには距離補償のための組み込み機能があります。それは、さらなる距離センサーを必要とすることなく1cmまでの変動を補正します。

特長

  • 生産システムと接続して、生産プロセス中での連続測定
  • 柔軟に使用: 真空または空気中、最高表面温度 400 °C
  • オプションで、水冷が利用可能
  • 厳しい条件下での持続可能な高精度測定に対応した頑丈な設計と構造
  • 大きな表面積を持つ製品の膜厚測定や素材分析に最適
  • 目的別にカスタマイズする仕様:X線源、検出器、一次フィルターは目的に応じて選択式
  • DIN ISO 3497 and ASTM B 568に準拠した測定システム

アプリケーション

  • 太陽光発電(CIGS, CIS, CdTeおよびCdS)の膜厚測定
  • 金属ストリップ、金属箔、プラスチック箔上の厚さ数µmの薄膜層
  • 太陽光発電のCIGS、CIS、CdTe、CdS層の組成
  • 継続的な生産プロセス上での金属皮膜分析
  • スパッタおよび電気メッキプラントのプロセス監視

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