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Rivestimenti Au / Pd nella gamma nm sui circuiti stampati

Dal momento che l'industria elettronica fa uso di rivestimenti sempre più sottili, le tecnologie di misura utilizzate per il monitoraggio e il controllo del prodotto richieste dai produttori sono sempre più severe. Un esempio è il sistema di circuiti stampati Au/Pd/Ni/Cu/ con spessori di rivestimento per Au e Pd di pochi nm. Per il monitoraggio della qualità di questi sistemi di rivestimento, il metodo di misura preferito sono gli strumenti a fluorescenza da raggi X.

Più sottili sono i rivestimenti, più importante è la selezione del rilevatore adatto. La tabella 1 confronta i risultati degli strumenti FISCHERSCOPE® X-RAY dotati rispettivamente di contatore proporzionale, diodo PIN e rilevatore Silicon Drift Detector (SDD).

Diversi tipi di rilevatori, deviazioni standard corrispondenti e coefficienti di variazione ottenibili.
  50 nm Au   24 nm Pd  
Tipo di rilevatore Deviazione
standard
Coefficiente
di variazione
Deviazione
standard
Coefficiente
di variazione
Contatore
proporzionale
(apertura 0,2 mm)
2,2 nm 4,3% 3 nm 13%
Rilevatore PIN
(apertura 1 mm)
0,9 nm 1,8% 1,2 nm 4,8%
Rivelatore SDD
(apertura 1 mm)
0,2 nm 0,4% 0,5 nm 2,1

Come illustrato nella Tabella 1 qui sopra, il livello di precisione di ripetibilità molto superiore del SDD consente la misura affidabile anche di rivestimenti Au e Pd molto sottili.

Il livello di precisione è migliore anche per gli strumenti con SDD perché la risoluzione ad alta energia del segnale utilizzabile è meno suscettibile all'influenza dello sfondo o delle linee di fluorescenza adiacenti.

Anche per i rivestimenti più sottili la corretta gestione del segnale di fluorescenza grande importanza. Sebbene la sottrazione generale del segnale di fondo migliori la precisione di ripetibilità, è tuttavia responsabile di errori nei risultati. Il software di valutazione WinFTM® consente di tenere conto della composizione del materiale del substrato ad ogni misura.

Il tuo referente locale per i prodotti FISCHER sarà lieto di aiutarti a scegliere lo strumento di fluorescenza da raggi X adatto per la misura dei rivestimenti Au/Pd su circuiti stampati - FISCHERSCOPE® X-RAY XDL® con contatore proporzionale, XDAL® con rilevatore PIN o XDV®- SDD con rilevatore SDD.

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