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Elevata precisione di ripetibilità e accuratezza delle misure dei rivestimenti Au/Pd sui circuiti stampati

Dal momento che l'industria elettronica fa uso di rivestimenti sempre più sottili, le tecnologie di misura utilizzate per il monitoraggio e il controllo del prodotto richieste dai produttori sono sempre più severe. Nella galvanica dei circuiti stampati i sistemi di rivestimento più frequentemente utilizzati sono Au / Pd / Ni, con materiale di supporto in CuFe2 (CDA 195). Gli spessori tipici del rivestimento sono compresi tra 3-10 nm Au e 10-100 nm Pd. Per il monitoraggio della qualità di questi sistemi di rivestimento, il metodo di misura è quello degli strumenti a fluorescenza da raggi X.

Per determinare le capacità degli strumenti a fluorescenza da raggi X entro gli intervalli menzionati sono stati eseguiti una serie di test comparativi che impiegano altri metodi di misura fisica. I campioni sono stati misurati con il metodo della fluorescenza da raggi X utilizzando il modello FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD, retrodiffusione di Rutherford e raggi X assoluti, basati sulla radiazione di sincrotrone.

Per spessori di rivestimento Au di circa 4, 6 e 9 nm, i risultati degli strumenti a fluorescenza da raggi X rientravano in quelli degli altri due metodi, con deviazioni nell'intervallo sub-nm, confermando non solo la dispersione ridotta ma anche l'accuratezza delle misure eseguite con strumenti a fluorescenza da raggi X. Per assicurare la tracciabilità dei risultati delle misure sono disponibili gli standard di calibrazione FISCHER, sviluppati specificamente per questa applicazione di misura. Il semplice utilizzo degli strumenti a fluorescenza da raggi X consente inoltre una facile scansione del campione per determinare l'omogeneità dello spessore del rivestimento (vedere Fig. 2).

La tecnologia all'avanguardia del rivelatore unita al potente software di analisi, WinFTM®, consente misure affidabili e accurate degli spessori di rivestimento anche con intervalli inferiori a 10 nm. Per l'uso sui circuiti stampati, gli strumenti FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD sono consigliati in caso di campioni di dimensioni relativamente normali; per strutture molto piccole si consiglia il modello XDV®-µ, con la sua speciale ottica a raggi X, garantisce un punto di misura di soli 20 µm sul campione.

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