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Revêtements Au/Pd de l'ordre du nm, sur circuits imprimés

Alors que l'industrie électronique utilise des revêtements de plus en plus minces, les fabricants augmentent leurs demandes en technologies de mesure pour fournir des paramètres fiables pour la surveillance des produits. Un exemple est le système de carte de circuit imprimé Au/Pd/Ni/Cu/circuit imprimé avec des épaisseurs de revêtement de Au et Pd de quelques nm seulement. Pour contrôler la qualité de ces systèmes de revêtement, les instruments de fluorescence X se sont imposés comme la méthode de mesure de choix.

Plus les revêtements sont fins, plus il devient important de choisir un détecteur approprié. Le tableau 1 montre une comparaison des résultats des instruments FISCHERSCOPE® X-RAY équipés respectivement d'un détecteur de type compteur proportionnel, d'un PIN Diode et d'un détecteur de dérive au silicium (SDD).

Différents types de détecteurs, leurs écarts types réalisables correspondants et leurs coefficients de variation.
 
50 nm Au
 
24 nm Pd
 

Type de détecteur

Ecart
type

Coefficient
de variation

Ecart
Type

Coefficient
de variation

Compteur
Proportionnel
(0,2 mm d'ouverture)

2,2 nm

4,3 %

3 nm

13 %

Détecteur PIN
(1 mm d'ouverture)

0,9 nm

1,8 %

1,2 nm

4,8 %

Détecteur SDD
(1 mm d'ouverture)

0,2 nm

0,4 %

0,5 nm

2,1 %

Une gestion appropriée du signal de fluorescence généré par le matériau du substrat est également plus importante avec des revêtements plus minces. Si une soustraction générale du bruit de fond améliore la précision de répétabilité, elle peut également introduire des erreurs dans les résultats. Le logiciel d'évaluation WinFTM® permet donc explicitement de prendre en compte la composition du substrat à chaque mesure.

Votre interlocuteur local pour les produits FISCHER se fera un plaisir de vous aider à choisir un instrument de fluorescence X adapté pour mesurer les revêtements Au/Pd sur les circuits imprimés - FISCHERSCOPE® X-RAY XDL® avec tube compteur proportionnel, XDAL® avec détecteur PIN , ou XDV®-SDD avec détecteur SDD.

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